【課題】新規な状ハイドロフルオロカーボン、この環状ハイドロフルオロカーボンを製造する方法、及び、前記環状ハイドロフルオロカーボンの製造原料である環状ハイドロフルオロオレフィンの製造方法を提供する。
【解決手段】１）下記式（Ｉ）で示される環状ハイドロフルオロカーボン、２）下記式（ＩＩ）で示される環状ハイドロフルオロオレフィンをフッ素化する工程を有する、下記式（Ｉ）で示される環状ハイドロフルオロカーボンの製造方法、３）下記式（ＩＩＩ）で示される環状パーフルオロオレフィンをアルキル化又はフルオロアルキル化する工程を有する、下記式（ＩＩ）示される環状ハイドロフルオロオレフィンの製造方法。
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【課題】 含ハロゲノフッ素化シクロアルカン、及び含水素フッ素化シクロアルカンの製造方法を提供する。
【解決手段】含フッ素シクロアルケンをアルカリ金属フッ化物存在下にｎ−Ｙ結合（Ｙは、塩素原子又は臭素原子である）を持つハロゲン化剤と処理することにより、ｇｅｍ−ハロゲノフッ素化シクロアルカンに変換することが可能になる。また、ｇｅｍ−ハロゲノフッ素化シクロアルカンを水素化することで、１Ｈ，１Ｈ−含フッ素シクロアルカンを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】クロロヘプタフルオロシクロペンテンの貴金属触媒下での気相水素化反応などによる、１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンを製造する際に副生する１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンタンからモノハロゲノヘプタフルオロシクロペンタン、及び１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンの製造方法を提供する。
【解決手段】ラジカル発生源存在下、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンタンをハロゲン化剤に接触させて、ハロゲノヘプタフルオロシクロペンタンを製造する。これをさらに、アルカリ性化合物と接触させることにより、脱ハロゲノ水素化反応が起こり、１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンへ変換することができる。 （もっと読む）

【課題】 ３Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンと４Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンを異性化する方法を提供する。
【解決手段】 ３Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテン及び／又は４Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンを金属フッ化物に接触させると、１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンに異性化できる。これを応用することで、より高純度の１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンを得ることができる。具体的には１Ｈ，２Ｈ−オクタフルオロシクロペンタンを脱フッ化水素化し、得られた１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテン中の３Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテン及び／又は４Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンを異性化後に、更に精留を行うことで高純度の１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンが得られる。 （もっと読む）

【課題】パーフルオロシクロオレフィンの−ＣＦ＝ＣＦ−基の一つのフッ素原子を水素に温和な条件で、且つ、簡便に置換する方法の提供。
【解決手段】式（１）で示される含フッ素ハロゲン化合物をトリアルキルホスフィンと含水エーテル系溶媒下に、−１０〜３０℃の温度範囲で接触させて、−ＣＦ＝ＣＦ−基の一つのフッ素原子を水素で置換した含水素フルオロオレフィン化合物。


（式（１）中、ｎは０〜３の整数である。） （もっと読む）

【課題】優れたエッチング選択性及び微細加工性を示し、高密度プラズマ下においてもエッチング速度とエッチング選択性のバランスに優れたドライエッチングが可能であり、また、加熱処理を施しても応力緩和の小さいフルオロカーボン膜を成膜可能なプラズマ反応用ガスを提供すること。
【解決手段】パーフルオロ−(３−メチレンシクロペンテン)を含有してなるプラズマ反応用ガス。 （もっと読む）

【課題】ポリフルオロシクロペンテンの塩素原子を効率良くフッ素原子に置換する方法を提供する。
【解決手段】式（１）で示される含フッ素ハロゲン化合物を金属フッ化物、及びアルキルスルホン酸塩と接触させて、式（１）のＸをフッ素に置換した含水素フルオロオレフィン化合物を得る。


ただし、式（１）中、ｎは０〜３の整数であり、Ｘは塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子。 （もっと読む）

【課題】
地球環境への負荷が小さく、かつ、発泡性に優れる発泡剤組成物、発泡可能なポリマー又は発泡可能なポリマー前駆体を含有する発泡体用組成物、及び発泡体の効率のよい製造方法を提供する。
【解決手段】
下記式（１）で示されるフッ素化環状不飽和炭化水素を１５重量％以上含有することを特徴とする発泡剤組成物；前記発泡剤組成物と、発泡可能なポリマー及び／又は発泡可能なポリマー前駆体とを含有する発泡体用組成物；並びに、発泡可能なポリマー及び／又は発泡可能なポリマー前駆体の存在下に、前記発泡剤組成物を蒸気化させる発泡体の製造方法。
【化１】


（式中、Ｘ、Ｙ及びＺはそれぞれ独立して、水素原子又はフッ素原子を表す。ただし、Ｘ、Ｙ及びＺの少なくとも１つは水素原子である。ｎは２又は３である。） （もっと読む）

【課題】Ｃ_５Ｃｌ_８を原料としてＶＩＳＩまたはＵＬＳＩ用に使用できる高純度のＣ_５Ｆ_８ドライエッチングガスを連続工程で製造する方法の提供。
【解決手段】オクタクロロシクロペンテンとＫＦとを反応させる際に、両者が交差接触反応するようにすることにより、反応を連続反応に保持させ、オクタフルオロシクロペンテン含量５０〜８０容量％の粗生成物を得る工程、得られた粗生成物を低沸物蒸留塔でオクタフルオロシクロペンテンより沸点の低い低沸物有機物を分別蒸留によって除去し、得られた反応物を高沸物蒸留塔で分別蒸留してオクタフルオロシクロペンテンをガス状に回収して、高純度オクタフルオロシクロペンテンを得る第２過程とを連続工程にし、Ｃ_５Ｆ_８９９．９９５容量％以上、窒素ガス５０容量ｐｐｍ以下、酸素ガス５容量ｐｐｍ以下、水分５重量ｐｐｍ以下、金属成分５重量ｐｐｂ以下の半導体製造用ドライエッチングガスを連続的に製造する。 （もっと読む）

【課題】 工業的規模での製造に適したオクタフルオロシクロペンテンの製造方法を提供する。
【解決手段】
次の第一工程および第二工程によって、オクタフルオロシクロペンテンを製造する。
第一工程：一般式（１）Ｃ₅Ｃｌ_AＦ_8-A（Ａは１〜８の整数を表す。）で表されるパーハロゲン化シクロペンテンを、気相中で、クロム、アンチモン、鉄、亜鉛、コバルト、ニッケル、銅、マンガン、およびアルミニウムからなる群より選ばれたフッ素化触媒存在下、フッ化水素でフッ素化し、一般式（２）Ｃ₅Ｃｌ_BＦ_8-B（Ｂは０〜７の整数を表し、Ａ＞Ｂである。）で表されるパーハロゲン化シクロペンテンの混合物を得る工程。
第二工程：第一工程で得られた一般式（２）で表されるパーハロゲン化シクロペンテンの混合物を、金属フッ素化物によってフッ素化し、オクタフルオロシクロペンテンを得る工程。 （もっと読む）