【解決手段】式（１）で示されるスルホン酸塩。
ＣＦ₃−ＣＨ（ＯＣＯＲ）−ＣＦ₂ＳＯ₃^-Ｍ⁺ （１）
（Ｒは置換もしくは非置換の炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、又は置換もしくは非置換の炭素数６〜１４のアリール基を示す。Ｍ⁺はリチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、アンモニウムイオン、又はテトラメチルアンモニウムイオン）
【効果】本発明のスルホン酸は、分子内にエステル部位を有しているため、嵩の低いアシル基から嵩高いアシル基、ベンゾイル基、ナフトイル基、アントライル基等の導入が容易であり、分子設計の幅を大きく持つことができる。 （もっと読む）

【解決手段】下記一般式（１ａ）で示されるスルホン酸塩。
ＣＦ₃−ＣＨ（ＯＨ）−ＣＦ₂ＳＯ₃^-Ｍ⁺ （１ａ）
（式中、Ｍ⁺はリチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、アンモニウムイオン、又はテトラメチルアンモニウムイオンを示す。）
【効果】本発明によれば、分子内に極性基であるヒドロキシル基を有しているため、水素結合等により酸拡散長を適度に抑えることができ、これらスルホン酸を発生する光酸発生剤は、デバイス作製工程での塗布、露光前焼成、露光、露光後焼成、現像の工程に問題なく使用できる。更にはＡｒＦ液浸露光の際にウエハー上に残る水の影響も受けにくく、欠陥を抑えることができる。 （もっと読む）

本出願は式Ａ−Ｘ−Ｂの化合物に関し、ここで、（ｉ）Ａ−Ｘ−Ｂはイオン性化合物Ａｉ Ｘｉ Ｂｉを形成し、ＡｉおよびＢｉはそれぞれ個別に有機オニウムカチオンであり、Ｘｉは式Ｑ−Ｒ_５００−ＳＯ_３⁻のアニオンであるか、または（ｉｉ）Ａ−Ｘ−Ｂは非イオン性化合物Ａｃ−Ｘｃ−Ｂｃを形成し、Ａｉ、Ｂｉ、Ｑ、Ｒ_５００、Ａｃ、Ｂｃ、およびＸｃについては本明細書で定義される。この化合物は光活性物質として有用である。 （もっと読む）

塩酸から塩素を製造する方法であって、ａ）塩酸供給流Iを得、
ｂ）塩酸循環流ＩIを得、ｃ）蒸留工程において塩酸供給流Ｉと塩酸循環流ＩIとから、塩化水素流IVを分離し、ｄ）塩化水素流IV、酸素含有流V、及び必要に応じて酸素含有循環流Vaを酸化帯域に供給し、触媒の存在下に塩化水素を酸化して塩素とすることにより、塩素、未反応酸素、未反応塩化水素及び水蒸気を含む生成ガス流VIを得、ｅ）吸収工程において生成ガス流VIから塩化水素と水とを分離して気体流VIIと塩酸循環流ＩIとを得、ｆ)必要に応じて気体流VIIを乾燥させ、ｇ）気体流VIIから酸素含有流を分離し、必要に応じて酸素含有流の少なくとも一部を酸素含有循環流Ｖａとして酸化帯域に循環させ、塩素含有生成物流VIIIを残し、ｈ）必要に応じて、更に塩素含有生成物流VIIIを精製する、塩素の製造方法が得られた。
（もっと読む）