【課題】半導体素子のバンプ形成などに用いられる厚膜レジストパターンなどの製造に有用であり、当該レジストパターンが裾引きの発生が極めて抑制されたものである化学増幅型フォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ）及び
式（Ｘ）


（式（Ｘ）中、
Ｒは、水素原子、アルキル基、アリール基などを表す。
２つのＲ^'は、水素原子、アルキル基、アリール基などを表すが、２つのＲ^'が互いに結合し、これらが結合する炭素原子とともに環を形成する。）
で表される化合物（Ｘ）を含有する化学増幅型フォトレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ用またはＥＢ用として有用なレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分（Ａ）を含有するＥＵＶ用又はＥＢ用レジスト組成物であって、前記基材成分（Ａ）が、下記一般式（ａ０−１）又は（ａ０−２）で表される基を含む構成単位（ａ０）を有する高分子化合物（Ａ１）を含有し、前記基材成分（Ａ）に加えて、光反応型クエンチャー（Ｃ）を含有することを特徴とするＥＵＶ用又はＥＢ用レジスト組成物。式中の基−Ｒ^３−Ｓ^＋（Ｒ^４）（Ｒ^５）は、全体で芳香環を１個のみ有するか又は芳香環を有さない。Ｍ^ｍ＋は、芳香環を１個のみ有するか又は芳香環を有さない。
（もっと読む）

【課題】導電性高分子を用いた熱電変換材料であって、導電性を飛躍的に向上させることで、熱変換効率をより高めた熱電変換材料を提供する。
【解決手段】導電性高分子、カーボンナノチューブ、及びオニウム塩化合物を含有し、導電率異方性が１．５〜１０である熱電変換材料。オニウム塩化合物の共存下において特定の外部エネルギーを付与すると、オニウム塩化合物が酸を発生して優れたドーパントとして機能する結果、熱電変換特性を高めた材料が得られる。 （もっと読む）

【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位含有高分子化合物及び酸発生剤又はヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位と露光により酸を発生する繰り返し単位含有高分子化合物と、パーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のスルホニウム塩又はヨードニウム塩と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後高エネルギー線でレジスト膜を露光し、加熱処理後有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】ヒドロキシ基の水素原子を酸不安定基で置換した繰り返し単位含有高分子化合物と酸発生剤とパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のオニウム塩を含むフォトレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢの無害化処理を効率よく連続的に行うことができるＰＣＢの無害化処理方法を提供する。
【解決手段】固定環状体２０と回転円盤１０を有する処理チャンバ１内に不活性ガス４を供給しながら、ＰＣＢ液と灯油が重量比で１０：９０〜８０：２０である混合液、およびＰＣＢ中の塩素と同当量で平均粒径１μｍ〜３μｍの金属ナトリウムを浮遊分散させている処理液を該チャンバに底部より供給し、該回転円盤を１０，０００ｒｐｍ〜１８，０００ｒｐｍで回転させると共に１５０℃以上２５０℃以下に昇温する。 （もっと読む）

【課題】貴金属系触媒を用いなくても、芳香族化合物とボロン酸類とのカップリング化合物を効率よく製造できる方法を提供する。
【解決手段】過酸化物、および非貴金属系遷移金属元素を含む触媒の存在下、芳香族化合物と有機ボロン酸類とを反応させる。このような方法により、芳香族化合物および有機ボロン酸類が、芳香族化合物の芳香環に結合した水素原子と、有機ボロン酸類の誘導体化されていてもよいジヒドロキシボリル基との間で分子間脱離して炭素−炭素結合を形成したカップリング化合物が得られる。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢ混入絶縁油など油中のハロゲン化合物を金属ナトリウムで無害化し、得られる脱ハロゲン油に含まれる未反応の金属ナトリウムを少ないエネルギーで効率的に除去することができるハロゲン化合物含有油の無害化処理方法及び無害化処理装置を提供する。
【解決手段】反応槽１５でＰＣＢ混入絶縁油と金属ナトリウムとを反応させ、ＰＣＢを脱塩素化し処理済油を得た後、静電吸着機２１を用い、処理済油に含まれる反応生成物、未反応の金属ナトリウムなどの固体状の不純物を分離し、分離しきれずさらに残存する未反応の金属ナトリウムを固体クエンチング剤４３を用いてクエンチングする。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢ混入絶縁油など油中のハロゲン化合物を金属ナトリウムで無害化し、得られる脱ハロゲン油に含まれる未反応の金属ナトリウムを少ないエネルギーで効率的に除去することができるハロゲン化合物含有油の無害化処理方法及び無害化処理装置を提供する。
【解決手段】反応槽１５でＰＣＢ混入絶縁油と金属ナトリウムとを反応させ、ＰＣＢを脱塩素化し処理済油を得た後、ろ過器１９を用い、処理済油に含まれる反応生成物、未反応の金属ナトリウムなどの固体状の不純物を分離し、分離しきれずさらに残存する未反応の金属ナトリウムを固体クエンチング剤３５を用いてクエンチングする。 （もっと読む）

【課題】少ないエネルギーで十分に未反応の金属ナトリウムが除去された脱ハロゲン油を得ることができるハロゲン化合物含有油の無害化処理方法及び無害化処理装置を提供する。
【解決手段】油中のハロゲン化合物を金属ナトリウムで脱ハロゲン化し得られる脱ハロゲン油を、クエンチング装置１９に導き、ここで表面に水酸基を有し油に不溶な固体からなる固体クエンチング剤３３ａと接触させ、脱ハロゲン油に残存する未反応の金属ナトリウムと固体クエンチング剤３３ａの水酸基とを反応させ、金属ナトリウムをクエンチングする。 （もっと読む）