【課題】本発明の目的は、ＬＷＲに優れたレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、［Ａ１］放射線の照射により下記式（１）で表される化合物を発生する酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物である。式（１）中、Ｒ^１は、炭素数１〜２０の１価の有機基である。Ｒ^２は、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。上記式（１）で表される化合物は、下記式（１−１）で表される化合物であることが好ましい。式（１−１）中、Ｒ^２は、上記式（１）と同義である。Ｘは、電子求引性基である。Ｒ^３は、炭素数１〜２０の１価の有機基である。

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【課題】純度が＞９８．０％の２−スルホテレフタル酸ジメチルナトリウムを合成し、テレフタル酸ジメチルとエチレングリコ−ルの重縮合系に加えて、得られたスルホン基を有する直線状のポリエチレンテレフタレ−トの物性について検討すること。
【解決手段】テレフタル酸を３酸化イオウでスルホン化し、過剰の３酸化イオウをはじめに除去してから、ジメチルエステル化、水酸化カルシウム懸濁水溶液処理および炭酸ナトリウム飽和水溶液処理を経由して、純度が＞９８．０％の２−スルホテレフタル酸ジメチルナトリウムを合成する方法を見出した。これをテレフタル酸ジメチルとエチレングリコ−ルの重縮合系に添加してスルホン基を有する直線状のポリエチレンテレフタレ−トを合成し、これを市販の５−スルホイソフタル酸ジメチルナトリウムを代わりに用い、同じ重縮合系に添加して得た途中６０°折れ曲がるスルホン基を有する非直線状のポリエチレンテレフタレ−トと比較した。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度を有するパターンを製造することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩。［Ｒ^１及びＲ^２はフッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。Ｒ^３は、水素原子又はメチル基を表す。Ｘ^１は２価の炭素数１〜１７の飽和炭化水素基を表し、前記２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、前記２価の飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ_２−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−で置き換わっていてもよい。Ｘ^２は、炭素数１０〜１4の２価の芳香族炭化水素基を表す。Ｘ^３は、単結合、^＊１−ＣＯ−Ｏ−^＊２又は^＊１−ＣＯ−Ｏ−（ＣＨ_２）_ｋ−ＣＯ−Ｏ−^＊２を表す。Ｚ^１＋は、有機対イオンを表す。］
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【課題】 高純度の５−スルホイソフタル酸ジグリコールエステル金属塩組成物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ５−スルホイソフタル酸ジグリコールエステル金属塩１００重量部に対し、グリコール０．５〜６重量部を含有し、遷移金属含有率が０．０００１重量部以下である組成物。
【化１】


式（１）中、Ｒは炭素数２〜４のヒドロキシアルキル基、Ｍⁿ⁺はｎ価のアルカリ金属イオンまたはアルカリ土類金属イオン、ｎは１または２の整数をそれぞれ示す。 （もっと読む）

【課題】α−スルホ脂肪酸アルキルエステルアルカノールアミン塩の製造に際し、中和物を効果的に漂白し、淡色であるα−スルホ脂肪酸アルキルエステルアルカノールアミン塩水性ペーストを得る方法。
【解決手段】脂肪酸アルキルエステルをスルホン化し、スルホン化物を得る工程（１）と、前記工程（１）で得た反応生成物に低級アルコールを添加してエステル化する工程（２）と、前記工程（２）で得た反応生成物にアルカノールアミン水溶液を添加して、界面活性剤含量が２５〜４０質量％の中和物を得る工程（３）と、前記工程（３）で得た中和物を漂白する工程（４）を有することを特徴とするα−スルホ脂肪酸アルキルエステルアルカノールアミン塩の製造方法。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するレジストパターンを形成し得るレジスト組成物、並びに、このようなレジスト組成物に有用な塩を提供する。
【解決手段】本発明の塩は、式（Ｂ１）で表される塩であり、本発明のレジスト組成物は、酸発生剤として式（Ｂ１）で表される塩を含有する。


［式（Ｂ１）中、Ｑ¹及びＱ²は、それぞれ独立に、フッ素原子又はＣ_1-6ペルフルオロアルキル基を表す。Ｌ¹は、単結合、或いは直鎖状又は分枝鎖状の２価のＣ_1-17飽和脂肪族炭化水素基を表す。Ｙ¹は、置換基を有していてもよい式（Ｂ２）で表される基を表す。Ｚ⁺は、有機カチオンを表す。］ （もっと読む）

【解決手段】２００ｐｐｍ未満の硫酸塩を有する、５−スルホイソフタル酸のモノ−リチウム塩（ＬｉＳＩＰＡ）を製造するためのプロセスを開示する。プロセスは、酢酸、水、リチウムカチオン生成化合物、及び５−イソフタル酸の反応混合物を使用する。反応混合物は、還流まで過熱し、冷却し、ろ過及び洗浄を行い、２００ｐｐｍ未満の硫酸塩を有する高純度のＬｉＳＩＰＡを得る。また、２００ｐｐｍ未満の硫酸塩を有する、５−スルホイソフタル酸の高純度のモノ−リチウム塩も開示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、細孔が均一であり、非常に比表面積が大きく、耐熱性に優れ、固体酸性を有し、さらに合成が容易な多孔性材料を提供することを課題とする。また、前記多孔性材料を有する固体酸触媒の提供を課題とする。
【解決手段】特定金属元素と有機配位子の反応により得られる高分子化合物で、その主鎖の繰り返し単位が配位結合によって結合しているものが、ＢＥＴ比表面積が８００ｍ^２／ｇ以上、細孔径が均一、及び耐熱温度が１００℃以上で、固体酸量０．１ｍｍｏｌ／ｇ以上の固体酸性を有する多孔性材料となる。 （もっと読む）

【課題】新規なレジスト組成物、該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法、該ポジ型レジスト組成物用の成分、特に酸発生剤として有用な新規な化合物および酸発生剤を提供する。
【解決手段】トリフェニルメタンを骨格とする特定のフェノール化合物および該フェノール化合物における−ＯＨの水素原子の一部が有機基で置換された置換フェノール化合物からなる群から選択され、一分子中に少なくとも２つの−ＯＨを有する化合物における−ＯＨのうち、少なくとも１つの−ＯＨの水素原子が式（Ｉ）で表される基で置換され、少なくとも１つの−ＯＨの水素原子が酸解離性溶解抑制基を含む特定の基で置換されている化合物を含有するレジスト組成物。
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【課題】色調に優れた脂肪酸アルキルエステルスルホネートを安定して製造することができ、脂肪酸アルキルエステルスルホネート製造用として有用な水添脂肪酸アルキルエステルの製造方法、水添脂肪酸アルキルエステル、脂肪酸アルキルエステルスルホネートの製造方法および脂肪酸アルキルエステルスルホネートを提供する。
【解決手段】水添脂肪酸アルキルエステルを着色抑制剤の存在下でスルホン化し、つづいて熟成を行うスルホン化工程、得られたスルホン化物を中和する中和工程、および得られた中和物を漂白する漂白工程を含む脂肪酸アルキルエステルスルホネートの製造方法に使用される水添脂肪酸アルキルエステルの製造方法であって、未水添脂肪酸アルキルエステルを水添し、そのヨウ素価を０．２以下とする水添工程を含み、過酸化物価が５ミリ当量／ｋｇ以下の未水添脂肪酸アルキルエステルを選択して前記水添工程に用いる。 （もっと読む）