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国際特許分類[C08F220/28]の内容

国際特許分類[C08F220/28]に分類される特許

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【課題】高い放射線感度を有し、低温での硬化が可能な感放射線性樹脂組成物から絶縁膜を形成してアレイ基板を提供し、そのアレイ基板を用いて液晶表示素子を提供する。
【解決手段】[A]同一または異なる重合体分子中に下記式(1)の基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、および[B]光酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物を用いて低温の加熱硬化によって絶縁膜12を形成し、低温硬化により配向膜10を形成してアレイ基板1を製造する。アレイ基板1から液晶表示素子を構成する。
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【課題】 密着性、硬度、耐熱性・耐光性に優れた硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の少なくとも1種、ならびに、(a2)オキセタニル基を含む不飽和化合物の少なくとも1種を共重合して得られる共重合体(A)と蛍光体(X)を含む、硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が高く、電気的安定性の高い層間絶縁膜を形成可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(a1)で表される構成単位と、式(a2)で表される構成単位と、式(a3)で表される構成単位及び/又は式(a4)で表される構成単位とを有する共重合体、(成分B)発生酸のpKaが4以下である光酸発生剤、並びに、(成分C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
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【課題】高解像性と共に、良好なパターン形状を与えることができるポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物を使用した、保護膜を形成して行う液浸リソグラフィーにおけるパターン形成方法の提供。
【解決手段】(A)酸不安定基として、3級炭素にアダマンチルを含むメタアクリル系繰り返し単位及び3級炭素が環状構造を形成してるメタアクリル系繰り返し単位を有し、酸によってアルカリ溶解性が向上する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)下記一般式(3)で表される化合物、及び(D)溶剤を含有するポジ型レジスト組成物。
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【課題】CD均一性が良好で、かつ欠陥が少ないレジストパターンを製造できるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し式(I)で表される構造単位を含まない)及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】高感度、良好なパターン形状、良好なラフネス特性、及び残渣欠陥の低減を達成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いた感活性光線性又は感放射線性樹脂膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を生成する基を含有する繰り返し単位(A)と、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解度が増大する基を含有する繰り返し単位(B)とを含んだ樹脂(P)と、下記一般式(1−1)又は(1−2)により表される化合物(Q)とを含有している。


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【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)で、欠陥の発生数も少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、式(II)で表される化合物に由来する構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】特定の構造を有するアクリル系共重合体、およびこの共重合体を用いることにより、放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性を有する樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式で表される繰り返し単位を含むアクリル系共重合体およびこの共重合体を用いた感放射線性樹脂組成物。
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【課題】特定の構造を有するアクリル系共重合体、およびこの共重合体を用いることにより、放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性を有する樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式で表される繰り返し単位を含むアクリル系共重合体およびこの共重合体を用いた感放射線性樹脂組成物。
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【課題】高感度、良好なラフネス特性、良好なパターン形状、及び現像欠陥の低減を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法を提供すること。
【解決手段】フッ素原子を含有する繰り返し単位を含む樹脂(Aa)と、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂であって、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位を備えた繰り返し単位(B)を含む樹脂(Ab)を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


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