【課題】酸不安定性基を有しポジ型レジストとして機能する樹脂、酸発生剤および溶剤などからなるレジスト組成物において、解像度に優れ、焦点深度余裕（ＤＯＦ）が広く、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が小さく、さらには感度が高いことから優れたパターン形状を形成できるたレジスト組成物を調製するための光酸発生剤およびそれを調製するための重合性単量体を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされる含フッ素不飽和カルボン酸オニウム塩。
【化】


（式中、Ｒ^１は、重合性二重結合含有基、Ｒ^２は、フッ素原子または含フッ素アルキル基、Ｗ^１は、二価の有機基、Ｑ^＋は、スルホニウムカチオン、またはヨードニウムカチオンを示す。） （もっと読む）

【課題】ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することであり、パターンプロファイル、パターン倒れ、スカムの諸性能が改善され、かつ液浸液の後退接触角ならびに水追随性も優れたポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）下記（ｘ）〜（ｚ）の群から選ばれる基を少なくとも１つ含有する含フッ素化合物、および（Ｆ）溶剤、を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法。（ｘ）アルカリ可溶性基、（ｙ）アルカリ現像液の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基、（ｚ）酸の作用により分解する基。 （もっと読む）

【課題】工業的生産が容易であり、優れた気体透過性を有し、且つ、高い熱安定性と機械強度、更には優れた溶解性を併せ持つ高気体透過性環状オレフィン付加重合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）パラジウムのβ−ジケトン化合物（Ｂ）イオン性ホウ素化合物（Ｃ）炭素数３〜６のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基から選ばれる置換基を有するホスフィン化合物を含む多成分系触媒を用いて、環状オレフィン官能性シロキサン、又はこれと環状オレフィン化合物とを付加重合することにより得られ、環状オレフィン官能性シロキサンに由来する構造単位の割合が、付加重合体中４０〜１００モル％であり、ＧＰＣで測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が２００，０００〜１，５００，０００である特定構造の環状オレフィン付加重合体。 （もっと読む）

【課題】過酷な高温・高湿環境下でも十分な伝送性能を長期にわたって維持することができる耐熱性プラスチック光ファイバーを提供する。
【解決手段】芯部と鞘部とによって構成される耐熱性プラスチック光ファイバーである。芯部は、脂環族ポリオレフィン樹脂を含有し、かつガラス転移温度が１５０℃以上である樹脂にて形成される。鞘部は、芯部を形成する樹脂に、屈折率調整剤としての非晶質フッ素樹脂を、鞘部の屈折率が芯部の屈折率よりも低くなるような量で含有させた組成物にて形成される。 （もっと読む）

【課題】機能性材料、医薬・農薬等の原料として、中でも感放射線レジスト材料のベース樹脂を製造するための含フッ素単量体、及び、該含フッ素単量体を極めて容易にかつ安価に製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】相当するフッ素アルコール化合物をエステル化して得られる一般式（５）で示される含フッ素単量体。


（Ｒ^１はＨ、又は炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状の一価炭化水素基を示し、この時、−ＣＨ_２−は−Ｏ−又は−Ｃ（＝Ｏ）−に置換されていてもよい。Ｒ^３、Ｒ^４はそれぞれＨ、又は炭素数１〜８の直鎖状、分岐状又は環状の一価炭化水素基を示し、Ｒ^５はＨ、Ｆ、−ＣＨ_３又は−ＣＦ_３を示す。） （もっと読む）

本発明によるメタロセン化合物およびこれを含む触媒組成物は、オレフィン系重合体の製造時に用いることができ、共重合性に優れており、高分子量のオレフィン系重合体を製造することができる。特に、本発明によるメタロセン化合物を用いると、耐熱性の高いブロック共重合体を製造することができ、オレフィン系重合体の製造時に共単量体の含量を増大させる場合にも融点（Ｔｍ）の高いオレフィン系重合体を製造することができる。
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【課題】コーナー・プロキシミティ（Corner proximity）が良好で、現像欠陥が少ないパターンを形成することが可能で、液浸液への酸の溶出が少なく、液浸液に対する追随性が良好である感活性光線又は感放射線樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基を有する繰り返し単位を含有し、かつ、フッ素原子及びケイ素原子の少なくともいずれかを含有する樹脂、および、（Ｄ）下記一般式（１）で表される含窒素ヘテロ環を有する含窒素有機化合物を含有することを特徴とする感活性光線または感放射線樹脂組成物。（一般式（１）の各符号は明細書に記載の意味を有する。）
【化１】
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【課題】効率良くかつ簡便に製造できる新規ノルボルネンの提供。
【解決手段】下記式（１）


（式中、Ｂ¹〜Ｂ³は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１２のアリール基、炭素数１〜１０のアルコキシル基から選ばれる基を示し、、ｍは０又は１の整数を示す。）
で表される化合物。 （もっと読む）

【課題】高屈折性、低分散性（高アッベ数）、耐熱性を有する光学材料用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】波長５８９ｎｍにおける屈折率ｎＤが１．３７以上であり、アッベ数νＤがνＤ≧６３およびνＤ≧４３０−２５０×ｎＤを満たし、ガラス転移温度が１００℃以上である光学材料用樹脂組成物。 （もっと読む）

【解決手段】式（１）で表される環状アセタール構造を有する含フッ素単量体。


（Ｒは、水素原子の一部がハロゲン原子で置換されていてもよく、又は、メチレン基の一部が酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、Ｚは、両端で結合するアルキレンオキシ基と共に五員環又は六員環を形成し、重合性不飽和基を含む二価の有機基）
【効果】本発明により、光機能性材料、コーティング材料等の原料として有用な、環状アセタール構造を有する新規含フッ素単量体が提供される。中でも、該単量体を用いた重合体は波長２００ｎｍ以下の放射線に対して優れた透明性を有し、また優れた撥水性を有すると共に構造の選択により撥水性、脂溶性、酸分解性、加水分解性など各種性能の調整が可能である。 （もっと読む）