本発明はa）環状オレフィン単量体または環状オレフィン単量体とエチレンを重合させて環状オレフィン高分子溶液を製造する段階と、b）前記環状オレフィン高分子溶液に非溶媒を徐々に滴加する方式で添加して環状オレフィン高分子を沈殿させる段階と、 c）沈殿した環状オレフィン高分子をろ過及び乾燥する段階とを含む環状オレフィン高分子の製造方法及び、これによって製造された環状オレフィン高分子を提供する。本発明の方法は環状オレフィン高分子溶液からバルク密度が高くて球形を有する環状オレフィン高分子を容易に沈殿させて分離することができる。
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【課題】 耐水性に優れるレジスト膜を形成可能な液浸露光用フォトレジスト用高分子化合物を提供する。
【解決手段】 液浸露光用フォトレジスト用高分子化合物の製造法は、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性機能を発現する基を有するモノマー単位を含むポリマーを有機溶媒による沈殿に付した後、さらに水性溶媒による再沈殿、リンス又はリパルプ操作に付すことを特徴とする。沈殿に付すポリマーとして、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性機能を発現する基を有するモノマー単位と基板密着性機能を有するモノマー単位を含むポリマーを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 通常の脂環式構造重合体の持つ良好な透明性等の光学特性、耐熱性、耐薬品性、電気特性および低吸水性等を保持しながら、優れた低複屈折性を有する脂環式構造重合体、およびこれを用いた光学材料を提供する。
【解決手段】 下記一般式（１）または式（２）で表される重合単位を少なくとも１種含む脂環式構造重合体である。
式中ｎは０〜２であり、Ｘは−ＣＨ＝ＣＨ−または−ＣＨ_２−ＣＨ_２−を表す。Ｒ_１〜Ｒ_５は水素、ハロゲン元素、または一価の置換基（ただし、芳香環（複素芳香環を含む）又は脂環を有する基を除く。）を表し、それぞれ同じでも異なっていてもよい。
【化１】
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【課題】ビニル付加ポリマー組成物、当該組成物の形成方法、エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスを形成するための当該組成物の使用方法を提供する。
【解決手段】ノルボルネン型モノマーから得られる二つ以上の種類の区別される型の反復単位を有する主鎖を持ったビニル付加ポリマーからなり、第一型の反復単位は、式１に表わされるグリシジルエーテル置換ノルボルネンモノマーから得られ、第二型の反復単位はアラルキル置換ノルボルネンモノマーから得られる。


［式中、Ｘは−ＣＨ_２−，−ＣＨ_２−ＣＨ_２−および−Ｏ−Ｏ−から選択、ｍは０〜５，Ｒ^１，Ｒ^２，Ｒ^３およびＲ^４の少なくとも一つはグリシジルエーテル含有基］ （もっと読む）

【課題】ヒドロキシル基および／またはアセチルオキシ基を含有する環状オレフィンの付加重合活性に優れた環状オレフィン付加重合触媒及び環状オレフィン付加重合体の製造方法、環状オレフィン付加重合体を提供。
【解決手段】カルベン化合物を配位子とする、周期表第１０族遷移金属の錯体、好ましくは一般式（１）で表されるカチオン錯体を重合触媒として用いる。


（式中、Ｌ^１はカルベン化合物配位子、Ｌ^２は中性の電子供与性配位子を示す。Ｌ^１とＬ^２は互いに結合して多座配位子を形成していてもよい。〔Ｙ^１〕⁻は一価のアニオンを表す。） （もっと読む）

本発明は、深紫外線液浸リソグラフィを用いてトップコートを利用して深紫外線（deep uv）フォトレジストを像形成する方法に関する。本発明は更に、約−９〜約１１の範囲のｐＫａを有する少なくとも一種のイオン化可能な基を有するポリマーを含むトップコート組成物に関する。また本発明は、環境汚染物からのフォトレジストの汚染を防ぐために、トップバリヤコートを用いてフォトレジストに像形成する方法に関する。 （もっと読む）

式：［（（Ｒ）_３Ｅ）_ａＰｄ（Ｑ）（ＬＢ）_ｂ］_ｐ［ＷＣＡ］_ｒ［式中、（（Ｒ）_３Ｅ）は、第１５族電子ドナー配位子であり、Ｑは、アニオン配位子であり、ＬＢは、ルイス塩基であり、ＷＣＡは、弱配位性アニオンを表す、ａは１、２、又は３であり、ｂは０、１、又は２であり、この場合、ａとｂの合計は１、２、又は３である、ｐとｒの各々は、分子電荷が零になるような整数である］；或いは、［（Ｅ（Ｒ）_３）（Ｅ（Ｒ）_２^＊）Ｐｄ（ＬＢ）］_ｐ［ＷＣＡ］_ｒ［式中、Ｅ（Ｒ）_２Ｒ^＊は、第１５族中性電子ドナー配位子を表し、この場合、Ｒ^＊は、Ｐｄに結合し、該Ｐｄ中心に関してβ水素を有するアニオンヒドロカルビル含有部分である］による、パラジウム化合物組成物を提供する。このような化合物組成物は、多環状オレフィンの存在下で潜在性重合活性を示す。 （もっと読む）