【目的】 ボンバード処理の使用ガスの種類に依存せず、特性劣化や信頼性の低下がない光磁気記録素子、及びその製造方法を提供すること。
【構成】 樹脂基板２の一主面上に、少なくともIVＡ族および／またはＶＡ族の遷移金属を主成分とする無機質層Ｌｂ、窒化シリコンを主成分とする誘電体層Ｌ１、及び希土類−遷移金属の磁性層Ｌ２を順次積層して成ることを特徴とする。また、その製造方法は、チャンバーＣ内に樹脂基板２とIVＡ族および／またはＶＡ族の遷移金属を主成分とする電極１，１とを配設し、該電極１，１への電圧印加によりチャンバーＣ内へ導入したガスをプラズマ化して基板２の一主面をボンバード処理し、このボンバード処理した基板２の一主面上に、少なくとも窒化シリコンを主成分とする誘電体層Ｌ１、及び希土類−遷移金属の磁性層Ｌ２を順次積層することを特徴とする。 （もっと読む）

【構成】 非磁性薄膜を介して２層以上の磁性薄膜を積層して磁性多層膜を形成する。隣合う磁性薄膜の保磁力は互いに異なっており、保磁力の小さい第１の磁性薄膜の角形比およびＨｋを規制し、さらに保磁力の大きな第２の磁性薄膜と非磁性薄膜とを含めて各薄膜の膜厚を規制して第１〜第３の発明を構成する。
【効果】 第１の発明の磁性多層膜は、数Oe〜数十Oeの外部磁場で大きなＭＲ変化率を示し、０磁場で良好なＭＲ変化立ち上がり特性と高い耐熱性とをもつ。第２の発明ではさらに−１０〜１０Oeの外部磁場でヒステリシス特性とＭＲ傾きが改善され、第３の発明ではこれらに加えて−５０〜５０Oeの外部磁場での大きなＭＲ傾きと、すぐれたヒステリシス特性と、高周波磁界での大きなＭＲ傾きとをもつ。従って、高感度の磁気抵抗効果型センサや高密度磁気記録可能な磁気ヘッドが実現する。 （もっと読む）

【構成】成分組成が、Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙから選ばれる少なくとも１種の希土類元素１０〜４０ａｔ％、残部が実質的にＦｅ，Ｃｏの１種もしくは２種の遷移金属からなり、その組織が、希土類元素と遷移金属との金属間化合物ａ相と、前記金属間化合物ａと同組成の金属間化合物ａと希土類元素及び微量の遷移金属元素の固溶体とからなる微細混合相と、前記金属間化合物ａとは組成の異なる希土類元素と遷移金属との金属間化合物ｂ相とからなっている。
【効果】酸化が少なく、ターゲット組成と膜組成とのズレは非常に小さく、膜特性の劣化は生じず、さらには、膜組成の経時変化は極めて僅かである。そして、このターゲットを作製する際、合金粉末ｂを超急冷凝固法により得ると粉末の粉砕が容易に行えその結晶粒が微細となり成形に際して低温での成形が可能となる。 （もっと読む）

【目的】アルミニウム反射膜を大きな成膜速度で形成することができるスパッタリング成膜法を改良して、ＰＭＭＡ基板の面に対するアルミニウム反射膜の密着力を高くかつ一定に制御する手段を提供する。
【構成】真空中でプラスチックス基板に対向する電極に電力を供給してグロー放電させることにより該基板の表面を改質する第１工程と、ヘリウムを含有しない不活性ガス雰囲気中で該基板の表面に対してアルミニウム又はアルミニウム合金膜をスパッタリング成膜する第２工程と、ヘリウム含有不活性ガス雰囲気中で該基板の表面に対してアルミニウム又はアルミニウム合金膜をスパッタリング成膜する第３工程と、ヘリウムを含有しない不活性ガス雰囲気中で該基板の表面に対してアルミニウム又はアルミニウム合金膜をスパッタリング成膜する第４工程とを順に実施して光学反射膜を形成する。 （もっと読む）

【目的】 Ｃｏ−Ｐｔ人工格子膜あるいはＣｏ−Ｐｄ人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体の保磁力の向上を図るとともに、短波長域での良好なカー回転角を確保し、高密度記録に対応可能とする。
【構成】 記録層をＣｏ層とＰｔ層及び／又はＰｄ層が積層された人工格子膜と希土類−遷移金属膜の積層構造とする。これら人工格子膜と希土類−遷移金属膜とは、互いに交換結合される。希土類−遷移金属膜は、合金膜であってもよいし人工格子膜であってもよく、人工格子膜の場合には遷移金属層がＣｏ層と接するように積層する。 （もっと読む）