【課題】電気回路を電気的に安定して取付可能とする。
【解決手段】インピーダンス整合器の出力部分に設けられたソケット４０は、円筒形状に成形された金属体４０ａの中心部に、給電棒３２を嵌め込んで保持するための嵌込孔４１を備えている。嵌込孔４１の内壁には、絶縁物からなる被膜層４２が設けられており、給電棒３２との間が電気的に絶縁されている。第２の高周波電源５１にて生成された高周波電力は、誘導結合により給電棒３２に伝達される。 （もっと読む）

【課題】異常放電の発生を抑制可能とするプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】反応室αを有するように、絶縁フランジ８１を挟んでチャンバ２と電極フランジ４から構成される処理室内に、被処理体１０を載置する支持手段１５と、これを上下移動する昇降機構と、被処理体に向けてプロセスガスを供給するシャワープレート５を収容する。チャンバの側壁に、反応室に被処理体の搬出入口１２を設けると共に、支持手段に一端が接続され、チャンバに他端が接続されるプレート部材４０を設ける。該プレート部材は、支持手段の外周縁部に設けた第一部位と、チャンバの側壁部に設けた第二部位、及び支持手段の移動に伴い、第一部位と第二部位とに電気的に接続する導電性の弾性部材からなる第三部位から構成されている。シャワープレートに配置されたガス噴出口６を通して導出されたプロセスガスがプラズマ化するように印加する電圧印加手段３３を備える。 （もっと読む）

【課題】各アンテナに発生する高周波電圧のバラツキを低減できて、プラズマ発生部の大口径化、大容積化を図っても均一なプラズマを発生でき、プラズマによる薄膜形成やプラズマイオン注入を安定化できる高周波電力供給装置およびプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】２つ以上の誘導性のアンテナ１と、各アンテナ１に対して電力を供給する高周波電源２、４と、各高周波電源２、４に含まれ、各アンテナ１にそれぞれ対応する高周波電力増幅器４と、高周波増幅器４の高周波出力とアンテナ１との間にインピーダンス整合用の受動回路および配線とを有し、各アンテナ１での定在波の発生を回避するために受動回路の出力点から対応するアンテナ１の任意の点までの長さが、高周波電力が各配線および各アンテナ１を波として伝搬する際の高周波電力の波長の１／４未満である。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ汎用性のある方法で、微結晶シリコン層からなる光電変換層の表面に凹凸を設けることができる薄膜太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】この薄膜太陽電池の製造方法は、基板５０上に第１導電型（例えばｎ型）微結晶シリコン層を形成する工程と、第１導電型微結晶シリコン層上にｉ型微結晶シリコン層を形成する工程と、ｉ型微結晶シリコン層を水素プラズマで処理する工程と、ｉ型微結晶シリコン層上に第２導電型（例えばｐ型）微結晶シリコン層を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】放電空間が１つのチャンバー内に複数あり、それぞれの電極に均等に電力を導入することのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】反応容器としての密封可能なチャンバー３があり、その内部中央に、１つのアノード電極４がチャンバー３の底面に対して略垂直に配置されている。アノード電極４の左右両面には、被処理物であるガラス基板１，１が配置されている。カソード電極２，２へは、１個のプラズマ励起電源８により電力が供給される。電源８とチャンバー３との間には、カソード・アノード電極２，４および電源８の間のインピーダンスを整合する１個のマッチングボックス７が配設されている。電源８とマッチングボックス７とは１本の電力導入線１０で接続されている。電力導入線１０は、マッチングボックス７からカソード電極２までの間で２本に分岐され、分岐された部分からは対称に延びている。 （もっと読む）

【課題】被処理体に対して面内均一性の高いプラズマ処理を行うこと。
【解決手段】載置台２７と誘電体窓部材３を介して対向するようにアンテナ５を設ける。このアンテナ５は、各々長さが等しく、互いに横に平行に並べた直線状の複数のアンテナ部材５１により構成されている。このアンテナ５の一端側を高周波電源部６に電源側導電路６１により接続すると共に、その他端側を接地点に接地側導電路６２により接続する。前記電源側導電路６１及び接地側導電路６２の少なくとも一方に、アンテナ５の電位分布を調整するための電位分布調整用のコンデンサ７を設け、前記高周波電源部６から各アンテナ部材５１を介して接地点に至るまでの各高周波経路のインピーダンスが互いに等しくなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ表層の酸素濃度を高め、この表層の高強度化を図ることが可能な半導体ウェーハの表層高強度化方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの表層の一部に、酸化性ガスの雰囲気での熱処理に伴う内方拡散またはイオン注入によって酸素を導入する。その後、表層を除く部分は溶融させず、表層のみを高エネルギ光の照射により溶融させる。これにより、表層に導入された酸素が表層の全域に熱拡散し、その後、これを冷却して固化させることで、表層が高酸素濃度領域部となる。その結果、ウェーハ表層の酸素濃度を高め、この表層の高強度化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】大気圧雰囲気下での炭化水素系ガスを原料とした、従来より高硬度の非晶質硬質炭素皮膜が得られる非晶質硬質炭素皮膜の成膜方法及びその成膜装置を提供することを解決すべき課題とする。
【解決手段】保持電極に基材を保持する基材保持工程と、大気圧雰囲気下において、印加電極を有する電極体を保持電極に対向させ、電極体と保持電極との間に炭化水素系ガスを含む原料ガスを供給し、電極体と保持電極との間に直流バイアス電圧を発生させながら、印加電極に交流電圧を印加して電極体と基材の表面との間でグロー放電プラズマを発生させ、排ガスを排気して、基材の表面に非晶質硬質炭素皮膜の成膜を行う成膜工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明の一の実施形態によれば、プラズマ処理装置は、被処理体に対する工程が行われる内部空間を提供するチャンバーと、前記チャンバーの側部を囲むように配置され、前記内部空間に電界を形成して前記内部空間に供給されたソースガスからプラズマを生成するアンテナと、を含み、前記アンテナは、第１回転方向に沿って前記チャンバーの一側から前記チャンバーの他側を向いてらせん形状を形成し、前記第１回転方向に沿って電流が流れるらせんアンテナと、前記チャンバーの前記一側に位置する前記らせんアンテナの一端に接続され、前記第１回転方向と反対方向に電流が流れる延長アンテナと、前記延長アンテナと前記らせんアンテナを接続する接続アンテナと、を含む。 （もっと読む）

【課題】高周波増幅回路内の素子の損傷を未然に防止すること。
【解決手段】複数の入力側フェライト５１及び複数の出力側フェライト５２のうち、少なくともいずれか一つの温度を計測する温度計測部を設け、この温度計測部によって計測された温度が予め設定されている第１の閾値を超えた場合に、高周波電源を停止または出力低減させる高周波電源装置を提供する。 （もっと読む）