【課題】処理液の取り替えサイクルを長くしたり、基板処理効率の低下を防止したり、基板処理コストを抑えることができる基板処理装置などを提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、貯留槽１１と基板処理機構１２と間で処理液を循環させる第１処理液循環機構２０と、基板処理機構１２における基板処理によって処理液中に含まれるようになった金属イオンを吸着する２つの吸着塔３２，３３と、貯留槽１１内の処理液を吸着塔３２，３３のいずれか一方に選択的に供給して循環させる第２処理液循環機構３４と、処理液の供給される吸着塔３２，３３が所定時間間隔で交互に切り換わるように第２処理液循環機構３４の作動を制御する制御装置２８とを備える。 （もっと読む）

【課題】シュウ酸とＩｎを含むシュウ酸エッチング液中に含有されている不溶性のＩｎ化合物を捕捉するフィルターから、その不溶性のＩｎ化合物を除去するとともに、そのＩｎ、Ｉｎ合金、Ｉｎ化合物等を回収する方法と装置に関し、Ｉｎとともにシュウ酸イオンが含まれているシュウ酸エッチング液を循環させる流路内に配置されるフィルターで捕捉される不溶性Ｉｎ化合物を好適に除去することができるとともに、そのフィルターを再生することもでき、しかもＩｎ、Ｉｎ合金、Ｉｎ化合物等を有価物として好適に回収することができる回収方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】シュウ酸とＩｎとを含有するシュウ酸エッチング液中の不溶性Ｉｎ化合物を捕捉したフィルターから、無機酸によって前記不溶性Ｉｎ化合物を溶解させて除去し、無機酸に溶解したＩｎ若しくはＩｎ合金、又はＩｎ化合物を回収することである。 （もっと読む）

【課題】塩化第二鉄エッチング廃液から、有価物であるＩｎを合金或いは金属単体等として回収する方法と装置に関し、水酸化インジウムの状態で回収する必要がなく、或いは他の金属との合金として回収する場合に、合金中のＩｎの濃度が低くなることがなく、高濃度Ｉｎとして回収することができ、しかも、処理後に塩化第二鉄を水処理用凝集剤として再利用する場合にも、不都合を生じさせることのないＩｎの回収方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液のｐＨが０〜４の範囲内となるように、該Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液に鉄からなるｐＨ調整用金属を溶解させ、且つ水を添加し、次に、アルミニウムからなる析出用金属を添加して、アルミニウムとインジウムとのイオン化傾向の差異により、前記Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液中に含有されるＩｎを前記析出用金属の表面に析出させることによってＩｎを回収することである。 （もっと読む）

【課題】複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から簡便に金属イオンを除去して精製リン酸を得る方法及び装置の提供、更には、金属エッチング工程で排出される高濃度のリン酸を含む混酸水溶液廃液に応用することにより、回収した精製リン酸を再利用するシステムの提供。
【解決手段】〔１〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒（以下、貧溶媒という）を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、〔２〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等を高精度でエッチングでき、メンテナンスの必要性を低減できるエッチング方法およびエッチング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理部材をエッチング液に浸漬させてエッチング処理を行うエッチング槽１０からエッチング液を取り出して循環させる循環ライン３０を形成する。そして、循環ライン３０を流れるエッチング液を、浸漬膜２１を備える濾過槽２０内に導いて、浸漬膜２１による吸引濾過を行い、ＳＳが除去された濾液を循環ライン３０に戻す。 （もっと読む）

【課題】リン酸を含むエッチング廃液中のＭｏ成分及びＡｌ成分を除去して再生する、エッチング廃液の再生方法及び再生装置を提供する。
【解決手段】エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽４と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液をそのｐＨが０．５〜０．９となるように希釈する希釈部５と、官能末端基がＨ基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂が装填された吸着塔１４，１５と、官能末端基がＯＨ基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填された吸着塔２０，２１と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液を吸着塔１４，１５に供給する廃液供給部８と、吸着塔１４，１５と吸着塔２０，２１とを接続する接続管１６，１７と、吸着塔２０，２１から流出する希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸イオン含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決の手段】リン酸イオン含有水をカチオン交換後、アニオン交換樹脂３ａに接触させてリン酸イオンを吸着させ、リン酸イオンを吸着したアニオン交換樹脂３ａをアルカリで再生してリン酸塩を溶離させ、溶離したリン酸塩溶液を電解装置７で電解して、陽極１１側からリン酸を回収するとともに、陰極１２側からアルカリを回収してリン酸塩溶離工程へ循環し、リン酸を回収する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの清浄化のために消費された、ＨＦ、ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳｉＦ₆及びＨＮＯ₂を含有する水性のエッチング混合物から簡単に廉価に酸回収する。
【解決手段】消費されたエッチング混合物を、段階的に蒸留するにあたり、第一の留分において、約２０〜５０質量％の消費されたエッチング混合物を希酸として留去し、その際、該希酸は、ヘキサフルオロケイ酸として溶解されたケイ素９０質量％より多くを含有し、かつ消費されたエッチング混合物中の含水率は、約１０〜３０質量％だけ低下し、そしてこの水が少ない混合物を、消費された水性エッチング混合物の出発量の約１〜５質量％の残留物を残して蒸発させ、そしてここで留去された第二の留分を、１つの容器中に受容し、そして引き続き残留物を廃棄処理する。 （もっと読む）

【課題】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置の提供。
【解決手段】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置であり、それはパネルが垂直直立を呈する状態で、密封された作業タンク中に設置される。次にそのパネル上に、らせん状を呈してスプレーするエッチング液スプレーを使用してエッチングを行う。エッチング液が霧化することで、らせん状のスプレー気流となることにより、エッチング液をエッチングしたい表面全体へ均一にスプレー散布することができる。そのためエッチングの均一化を促進し、且つ連続的にエッチング表面へ新鮮なエッチング液がスプレーされるのを利用し、エッチング速度を増進するものである。 （もっと読む）

【課題】アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３)の析出を回避し、ＮａＣＯ_３及び重金属の蓄積を回避しつつ、小型な装置で、アルミニウムのアルカリエッチング液に含まれるアルカリを回収する方法を提供する。
【解決手段】第一工程としてアルミニウムのアルカリエッチング液を第一電解槽に導き、イオン交換膜を通してＮａ^＋を陰極側に分離し、前記Ｎａ^＋を陰極反応で生成されるＯＨ⁻と結合させてＮａＯＨを得る。次いで第二工程として、前記第一工程における陽極側の液を中和槽６に供給し、併せて第二電解槽９の陽極液を前記中和槽に供給して中和槽において第一電解槽の陽極液中のＡｌＯ_２⁻イオンを前記第二電解槽の陽極反応で生成されるＨ^＋イオンで中和してＡｌ_３＋イオンをＡｌ（ＯＨ）_３として分離した後、この液を第二電解槽に導き、イオン交換膜を通してＮａ＋を陰極側に分離し、前記Ｎａ＋を陰極反応で生成されるＯＨ⁻と結合させてＮａＯＨを得る。 （もっと読む）