【課題】ディップ式による絶縁層の表面粗化にて、基板の両面に形成された絶縁層を、同時に均一に低コストで粗化処理を行う、基板絶縁層の表面粗化装置を提供する。
【解決手段】処理槽２内の処理済みエッチング液１を電解再生槽６内に導いて再生し、再生後のエッチング液１を処理槽２内に戻し、エッチング液１を循環させながら粗化処理を行う表面粗化装置にて、処理槽２は複数の供給口４１、４２、及び１以上の排出口８０を有し、エッチング液の循環経路を供給切替バルブ９０で切り替えて基板３の絶縁層の表面を粗化する。 （もっと読む）

【課題】排出される使用済みエッチング液の量を最小限にしつつ、長時間にわたり安定したエッチング速度が得られる銅および銅合金用の塩化鉄（III）エッチング液の再生方法を提供する。
【解決手段】Ｆｅ²⁺およびＦｅ³⁺と非水溶性の塩を形成せず、かつＣｕ²⁺と非水溶性の塩を形成するアニオンを塩化鉄（III）エッチング液に含有せしめ、分離工程、酸化工程、アニオン補給工程の３工程を含む再生方法により再生する。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板のエッチングにおいて、ファインピッチのエッチングでも細かい制御ができ、高精度のエッチングが可能なエッチング方法を提供する。
【解決手段】プリント配線板のエッチングにおいて飽和直前の濃度に維持された塩化銅エッチング液を用いるので、時間をかけたエッチングが可能であり、より薄く精密なプリント配線板のエッチングでも細かい制御ができる。また、エッチング液に塩素ガスを補給して再生するので、再生時に水成分が追加されず比重を維持しやすく、比重調整水を加えることで容易に塩化第二銅エッチング液の濃度を飽和直前の濃度に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素の分解速度を制御しながら安全に分解し、貴重な銅をきわめて効率よく高純度の金属として有効的に回収することができる設備を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む銅エッチング廃液を、排ガス処理設備を有する過酸化水素電解処理槽４に送液し、銅エッチング廃液中の過酸化水素を制御しながら緩やかに分解させ、所望の過酸化水素濃度にした後、該廃液を銅回収槽９に移送し、電気分解により高純度の銅金属として回収する。 （もっと読む）

【課題】使用時に反応エリア内で鉄粉外層に形成される銅がまた廃液に酸化される現象の発生を減少し、銅の回収率を向上することができる、銅イオンと第一鉄イオンを含む廃液の処理に用いる廃液処理方法の提供。
【解決手段】本発明の銅イオンと第一鉄イオンを含む廃液の処理に用いる廃液処理方法は、保護性陰極を設けた出力端と、相対陽極を設けた投入端を含むメインリアクターに前記廃液を提供する、実質上還元態の鉄粉を前記メインリアクターと前記廃液に提供し、反応させて銅粒子を発生させる、及び前記銅粒子と反応を経た後の前記廃液を分離する、という手順を含む。このほか、本発明は塩化鉄系廃液の処理方法、塩化鉄系廃液処理装置及び塩化鉄系廃液処理システムも提供する。 （もっと読む）

【課題】より低コストで且つより効率的に、リン酸を含むエッチング廃液中のＭｏ成分及びＡｌ成分を除去して再生するエッチング廃液再生装置などを提供する。
【解決手段】エッチング廃液再生装置１は、エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽４と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液をそのｐＨが０〜１．０となるように希釈する希釈部５と、リン酸基がＨ型であるアミノリン酸型キレート樹脂が装填された吸着塔１４，１５と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液を吸着塔１４，１５に供給する廃液供給部８と、吸着塔１４，１５から流出する希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】塩化鉄又は塩化銅を含むエッチング廃液を、電解液として電解槽に通液して該エッチング廃液中の低価数イオンを高価数イオンに電解酸化する方法において、アノード表面でのエッチング廃液の過剰酸化を抑制し、電解槽からの塩素ガスの発生を防止しながら、エッチング廃液を設備投資及び操業コスト上効率的に電解酸化する方法を提供する。
【解決手段】塩化鉄を含むエッチング廃液を、電解液として隔膜で仕切られているアノード室とカソード室からなる電解槽に通液して該エッチング廃液中の低価数イオンを高価数イオンに電解酸化する方法において、特定の電解槽を用いて、前記エッチング廃液を電解槽へ給液し、アノード室からの排液量の１５〜５０％を給液として循環しながら、アノード室からの排液の酸化還元電位（銀／塩化銀電極基準）の管理値を５５０〜８００ｍＶに制御することを特徴とする。 （もっと読む）

エッチングおよび回収の方法が記載される、ここでは、銅製の物品は、Ｃｕ^０からＣｕ^＋に酸化するためのＣｕ^２＋、塩素イオン、Ｃｕ^＋をＣｕ^２＋に酸化する酸化剤、およびｐＨを調節する塩酸を含有するエッチング化学薬液の酸水溶液でエッチングされる。解決されるべき技術的問題は、プロセス間で閉回路が維持される様式において、使用済みエッチング溶液の回収の間、エッチングプロセスと回収プロセスとの間でエッチング溶液を循環することを可能にすることである。このことは、使用済みエッチング溶液よりも低い量のＣｕ^２＋を含有する再生エッチング溶液が生成されること、および回収プロセスが、回収されたエッチング溶液が、Ｃｕ^２＋が有機抽出溶液中で抽出され得る銅錯体を形成する錯体形成化合物の有機抽出溶液と混合される、抽出工程を有することにおいて達成され、その後２つの混合された液体は、当該銅錯体を含有する有機抽出溶液と、再生エッチング溶液とを得るために再度分離される。方法は、１．５を上回るｐＨおよび高い銅含有量を有するエッチング溶液を用いて行われる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３)の析出並びにＮａＣＯ_３及び重金属の蓄積を回避しつつ小型な装置でアルカリを回収すること、更に加水分解防止剤が添加されたアルカリエッチング液においてもアルカリの回収を可能とすることを課題とするものである。
【解決手段】この発明は、アルミニウムのアルカリエッチング液を電解槽１に導き、イオン交換膜電解透析法により遊離アルカリの一部を分離する第一工程と、遊離アルカリの一部が分離されたアルカリエッチング液を分解槽４において加水分解してＮａＯＨとＡｌ（ＯＨ）_３とに分離してアルカリを回収する第二工程とで構成する。
第一工程において、遊離アルカリの一部を分離することにより、遊離アルカリ濃度とアルカリ金属以外の金属濃度との重量比を１以下とすること、加水分解において、種結晶を添加することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に除去してこの処理液を再生することができる処理液再生方法などを提供する。
【解決手段】基板処理を行う処理エリアにおいて、金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器１内に処理液を通液させ、この処理液中の金属成分を吸着材に吸着させて分離，除去する処理液再生工程と、処理液を通液させた可搬容器１を、処理エリアから離隔したエリアであって吸着材を再生する吸着材再生エリアに搬送する第１搬送工程と、吸着材再生エリアにおいて、処理エリアから搬送した可搬容器１内に溶離液を通液させ、吸着材に吸着された金属を溶離させてこの吸着材を再生する吸着材再生工程と、吸着材を再生した可搬容器１を吸着材再生エリアから処理エリアに回送する第２搬送工程とからなり、処理液再生工程では、吸着材再生後の可搬容器１を使用する。 （もっと読む）