本発明はハウジング（６）を備えた能動制御バルブ（１）に関する。前記能動制御バルブ（１）は、通路開口（４ａ）を有し、かつ移動可能に支持されたバルブプレート（４）と、前記ハウジング（６）に固定して配置され、かつ通路開口（２ａ）を有するカウンタープレート（２）とを備える。前記バルブプレート（４）は前記カウンタープレート（２）に対して摺動可能に支持され、前記通路開口（２ａ，４ａ）は開閉される通路（２４）を形成する。前記能動制御バルブ（１）は前記バルブプレート（４）を駆動する駆動装置（８）を備え、前記バルブプレート（４）は駆動バネ（７）によって前記駆動装置（８）に連結され、前記バルブプレート（４）の位置を固定するために、駆動可能な挟持装置（１０）が設けられる。
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【課題】ターボ機械の性能を最適化するため、空間をあまり占有せず比較的軽量である冷却空気供給手段を提供すること。
【解決手段】ターボ機械において冷却を制御しているシステムのためのゲートバルブ１０であって、軸１６を中心として通気オリフィスを閉鎖する位置とオリフィスを開放する位置との間を枢動できるように取り付けられたゲート２０、および軸１６を中心としてゲート２０を回転させる手段１２、１４、１８を備え、これらの手段が、カム面４０、４６を介して互いに協働する２つの重ね合わせられた同軸な回転部材１４、１８を備え、カム面４０、４６が、第１の回転部材１４が閉鎖位置から回転することによって、回転軸１６に沿った第２の回転部材１８およびゲート２０の平行移動が生じ、続いてこの軸を中心としたこの部材１８およびゲート２０の回転が生じるように設計されているゲートバルブ。 （もっと読む）

【課題】揺動形のゲートバルブにおけるバルブプレートを揺動させるための揺動装置を、構造が簡単で耐久性に勝れると共にハウジングに省スペース的に付設することができるようにする。
【解決手段】バルブプレート２を揺動させる揺動装置８を、ハウジング１の側面に配設されたアクチュエータ２８と、該アクチュエータ２８から延出して先端部が上記ハウジング１の内部に進入し、上記アクチュエータ２８でバルブプレート２と平行な方向に直線的に往復駆動される操作ロッド３３と、上記バルブプレート２に形成されたカム溝３８と、上記操作ロッド３３に取り付けられて該カム溝３８内に変位自在なるように嵌合し、該カム溝３８と協同して上記操作ロッド３３の直線運動をバルブプレート２の揺動運動に変換するカム軸３９とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を行うチャンバーに用いられる圧力制御バルブにおいて、シール部材の長寿命化を達成することができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】 チャンバー１１側と排気装置５３，５４側とを連通する開口６１ｂを備えた弁ボディ６１と、前記開口を閉止する封止用弁体６２と、該封止用弁体に設けられたシール部材６２ａ及びその外側の保護シール６２ｂと、前記開口６１ｂを所定の開度だけ開口するシール部材を持たない制御用弁体６３と、を設け、プラズマ処理をする場合は、開口を制御用弁体で所定の開度にし、封止用弁体６２は、弁退避部に退避させておく。弁退避部では、保護シールの内側にシール部材が密封されるので、シール部材はプラズマやラジカルに曝されない。 （もっと読む）

【課題】振り子式圧力コントロールバルブにおいて摺動するＯリング等から発生する微粒子の拡散を防止する。
【解決手段】シールリング８を作動するためのシャフト１４のシャフト摺動面及び流路壁面とシールリング８との間の摺動面にそれぞれ付設されたＯ−リング１０、１１から発生する微粒子及び各摺動面に使用される真空グリースから、真空プロセスチャンバ雰囲気を遮断するために枠体壁面とシールリングとの外壁面に上記Ｏ−リングを挟む位置に２本の耐食性材料からなる環状保護バンド１２、１３を配置する構成とする。 （もっと読む）

【課題】バルブロッドを曲げることなくバルブプレートをバルブシートに動かすことが可能であるにもかかわらず構造が簡単であり、かつ、バルブプレートのバルブシートへの平行な変位調節が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート８は開放位置ではバルブ開口部４を開放し、閉塞位置ではバルブシート６に密接し、中間位置ではバルブ開口部４を覆う一方でバルブシート６から離れている。横変位調節ユニット１２により、バルブプレート８がバルブ開口部４の縦軸１０に対して垂直な横変位方向１６に開放位置と中間位置との間で動かされる。案内装置１８により、横変位調節ユニット１２がバルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位することができる。案内装置１８は、バルブプレート８の中間位置から閉塞位置への変位および閉塞位置から中間位置への変位により、バルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いスプリット弁を提供することを目的とする。
【解決手段】容器１に収容された粉粒体を受入容器２に移すにあたって容器１の排出口１ａと受入容器２の受入口２ａとを連通させるスプリット弁１００であって、排出口１ａを閉塞可能であり開閉ハンドル１２によって直接開閉動作されるアクティブ弁３と、受入口２ａを閉塞可能であるパッシブ弁４と、アクティブ弁３を磁化可能なアクティブ弁用電磁石１４と、パッシブ弁４を磁化可能であり磁力によってパッシブ弁４の弁体を閉弁方向に引き付けるパッシブ弁用電磁石２７とを備え、アクティブ弁３を磁化させると共にパッシブ弁用電磁石２７による磁場を取り除くことによって、パッシブ弁４の弁体を磁力にてアクティブ弁３の弁体に密着させ双方の弁体を一体動作させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路（Ｆ）を遮断するシャトルバルブに関する。
【解決手段】シャトルバルブは、流路（Ｆ）となる開口部（３）を取り囲むバルブシート（４）を有するバルブハウジング（１）を備えている。バルブディスク（５）を、回転可能に取り付けたシャフト（６）に設けている。駆動部ユニット（７）で、バルブディスク（５）を、規定した移動曲線（Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）に沿って、開位置から閉位置に旋回する。バルブディスク（５）を、第１の駆動部（９ａ，９ｂ）で、シャフト（６）のピボット軸（８）中心の回転運動（Ｒ１）で、流路（Ｆ）を遮らない開位置から旋回させ、第２の駆動部（１０ａ，１０ｂ）で、ピボット軸（８）に平行に、バルブシート（４）の方向に直線運動（Ｌ１）させ、バルブディスク（５）とバルブシート（４）間をシール接触で気密にシールし、閉位置にする。 （もっと読む）

【課題】高圧気体が長期間にわたり停止される閉塞状態が維持されうる、コンパクトで優れた真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブケース（１）を備え、バルブケース（１）の対向する壁（４）（５）には入口開口部（２）および出口開口部（３）が設けられ、入口開口部（２）の周囲にはバルブシート（６）が設けられている。調整ピストン（１５）の出口開口部（３）に対向する側に一または複数のタペット（１８）が取り付けられている。調整ピストン（１５）が待機位置から動作位置に動くとき、タペット（１８）は開閉ユニット（８）の内部空間（１６）から開口部を通じて押し出される。タペット（１８）はバルブプレート（９）をバルブシート（６）に当接させるために出口開口部（３）の近傍領域において直接的または間接的にバルブケース（１）に押し付けられる。 （もっと読む）

本体（１０１）と、流路（１０３）に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち流路（１０３）が開いている第１の位置と流路が閉じている第２の位置との間で本体内で可動であるゲート要素（１０２）と、ゲート要素（１０２）を少なくとも２つの上記位置間で移動させる手段（１０４）とを備える、ゲート弁。ゲート要素（１０２）は、ゲート部分（１０５）及び作動体（１０８）を備え、ゲート部分（１０５）は、本体壁（１０９、１１０）間の空間内で作動体（１０８）とともに移動するように配置される。 （もっと読む）