【課題】バルブの封止を解除するインフラ−トシ−ルの収縮に２つの方法がある。一つは、自身の復元力に依存する方法。他方は、内部を真空に排気する方法。復元力に依存した方法では、バルブの解除スピ−ドが遅い。一方、真空排気する方法では、排気設備を別途用意する必要がある。部品点数が多く、信頼性も低い。
【解決手段】バルブ本体の隙間に設置した弁体又は弁体に対向するバルブ本体の面の内部に高圧流体の導入と排出によって膨張と収縮が可能な中空状のシ−ル材を設ける。弁体又はバルブ本体の弁体に対向する面は、中空状のシ−ル材の膨張と収縮によって２次的に厚みが変わる。バルブ閉時は、弁体又は弁体に対向する面の表に貼ったシ−ル材がバルブ本体の隙間のバルブ開口部周囲の被シ−ル部と弁体の両面の間をシ−ルする。バルブ開動作時には、中空状のシ−ル材が排出加速手段により急速に排気される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造によって強い閉塞力（＝押し付け力）が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】駆動装置は前記バルブディスク（６）の内部空間（１９）に配置された駆動ピストン（２０）をさらに備えている。駆動ピストン（２０）は出口部（３）よりも径方向外側に広がっている周辺部分を有し、当該周辺部分には出口部（３）に向けられている側にタペット（２３）が設けられている。タペット（２３）はバルブディスク（６）の内部空間（１９）から外に動かされ、バルブディスク（６）の閉位置において出口部（３）の横領域でバルブケース（１）に当接し、バルブディスク（６）をバルブシート（１３）に押し付ける。また、タペット（２３）はバルブディスク（６）を閉位置から中間位置に動かすために駆動ピストン（２０）が動くことによりバルブケース（１）から離反可能である。少なくとも１つのバネ要素（３１）がシャフト（８）の軸方向に動かすことによってバルブディスク（６）を中間位置に動かす。 （もっと読む）

【課題】供給される流体の圧力が脈動する場合であっても十分なシール性が確保されるディスク式バルブユニットを提供すること。
【解決手段】ケーシングを構成するバルブボディ１とキャップ２の間に、順に、可動ディスク３、固定ディスク４、パッキン５が内蔵されている。ケーシングを構成するキャップ２とパッキン５との間には、パッキン５の端面をバルブボディ１に向かって付勢する第１の弾性手段６が設けられている。キャップ２と可動ディスク３との間には、可動ディスク３の端面を固定ディスク４の端面に向かって付勢する第２の弾性手段７が設けられている。固定ディスク４が第１の弾性手段６により常時付勢されているため、ユニットへの流体供給圧力が脈動して、流体供給圧力が固定ディスク４を介してパッキン５をバルブボディ１側に付勢する圧力が減少しても、パッキン５における十分なシール性が確保される。 （もっと読む）

【課題】簡単小型、保守が容易、耐高負荷、両サイドで活動可能な真空技術分野で用いられるスライドゲートバルブ。
【解決手段】第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と第一シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブプレート５と駆動部８とからなる。駆動部によってバルブプレートは本質的に第一バルブシートと平行な開位置から回転又は移動可能で、バルブプレートと第一バルブシート間の垂直距離は減らすことができる。従って、閉位置において第一シーリングリングと第一バルブシートの軸方向のシーリングコンタクトによって流路は気密封止される。バルブプレートは駆動部と接続され第一シーリングリングを垂直方向に第一バルブシートに固定する支持部９と内部周辺領域１１を有し、第一バルブシートと本質的に垂直に支持部に対して可動となるように設けられたシーリング部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】シンプルでコンパクトなデザインを有し、メンテナンスが容易で、高圧負荷にも耐えることができ、任意で両サイドで活動可能なバルブを提供する。
【解決手段】バルブは、第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と、シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブディスク５と、少なくとも一つの駆動部８からなる。バルブディスク５は回転可能又は移動可能であり、バルブディスク５と第一バルブシート４間の垂直距離は、減らすことができ、流路は気密封止される。バルブディスク５は、駆動部８と接続され、シーリングリング７を垂直方向に第一バルブシート４に固定する外部ディスクセクション９と、外部周辺領域１１を有し、第一バルブシート４と垂直に外部ディスクセクション９に対して可動となるように設けられた内部ディスクセクション１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置の試料供給に関し、供給する粉体の蒸着材料、例えばＭｇＯが粒子直径約２ｍｍ〜６ｍｍ単結晶ないし同様のサイズのペレットの場合、供給の際に材料が飛び散る乃至はくだけたＭｇＯの粉体が発生する。前記飛び散ったＭｇＯ材料もしくはＭｇＯ粉体がバルブのシ−ル面に付着して、真空が保持できなるのを防止する。
【解決手段】バルブ閉時は従来と同様の弁体部を使用し、バルブ開時は中央部に開口部を持った弁体部でシ−ル面を保護する。さらに可動シ−ルドによって、ケ−シング内に小さい粒子が飛散するのを防止する。以上の手段によってバルブのシ−ル面（ケ−シング内壁面、ケ−シング内シール面、弁体部シール面及びＯリング表面等、弁座面及びＯリング表面等を含むものとする）への異物の付着を防止し、真空が保持できないという問題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】弁閉開運動時に自由度をもつ弁板は、対向する２箇所の弁座のシート面に容易に追随して密着することができるので、弁の閉止機能を大幅に向上するとともに、調整加工を削減することで、経済的に製作できる。
【解決手段】遊星歯車４ａをリング状とし、その穴部４ｂにその一部がそれぞれが対向して設置された２枚の弁板３を構成することにより、急速開閉を実現し、かつ設置占有空間を小さく実現する遊星歯車機構を構成した。さらには従来の仕切弁の操作力の軽減や弁閉止機能確保のための調整（加工）を不要とする、弁機能とその生産性に著しい向上を実現できる弁装置を提供する。 （もっと読む）

本バルブ組立体は、出口（２０）まで延びる流路（１４）を持つハウジング（１２）と、流路内にあり且つ出口の周囲に設けられた弁座（２４）と、前記ハウジング内に配置された、弁座と接触して流路を通る流れを遮断する閉鎖位置と、流路を通る流れを許容する開放位置との間で、流路の長さ方向軸線に対して横方向に移動自在の摺動板（２６）とを含み、摺動板及び弁座の少なくとも一方が、摺動板と弁座との間に所定量の導通性を提供する少なくとも一つの通路（７６）を備えている。
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【課題】 高湿度環境化においても、最小トルクで回転する回転バルブを提供する。
【解決手段】 流体流路と接続された少なくとも1つのポート穴を表面に持つ固定子と、該ポート穴同士の接続をその回転運動により切り替えるための接続流路を表面に持つ回転子よりなり、該固定子と該回転子がそれぞれ該ポート穴を持つ面および該接続流路を持つ面を摺動面として摺動しながら回転することにより該流体流路同士の接続を切り替える回転バルブにおいて、該回転子の摺動面上に、該接続流路と接続せず、且つ摺動中に該ポート穴同士を接続しない位置に、閉鎖系の溝部を有することを特徴とする回転バルブ。 （もっと読む）

流れチャンネルを持つハウジング、閉鎖位置と開放位置との間で移動自在のスライドプレート、及び流れチャンネルを取り囲み、閉鎖位置でスライドプレートと係合し、開放位置でスライドプレートから離れるシールリングを含む弁アッセンブリを提供する。シールリングは、ハウジングの隣接した表面に形成された穴と夫々整合する複数のボアを有する。各ボアには、リップを画成するアンダーカットが設けられている。ハウジングの環状面の穴に複数のファスナが配置されており、シールリングの対応するボア内に延びる。ファスナの側壁にはスロットが設けられており、これらのスロットは、ファスナをシールリングのボアに挿入し、シールリングを回転したとき、シールリングのボアのリップを捕捉する。
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