【課題】弁箱から弁板を取り出し可能にした開口側からの操作で弁板を簡単に着脱でき、弁ロッドの弁板取付部における基端及び先端側で強固に固定し、弁板の姿勢を安定化させたゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁ロッド９の弁板取付部１０に弁板６を固定して開閉動作させるゲートバルブにおいて、弁板に弁ロッドを挿入する取付孔８を設け、該孔内において相互に密接する弁板と弁ロッドの接合平面８ａ，１０ａを接合させ、上記弁板取付部１０の基端側の傾斜面１１によるくさび効果で弁板の基端側において弁板と弁ロッドの上記接合平面を相互に圧接させ、弁ロッドの先端部９ａと弁板の先端側端面６ｃとにねじ１５，１６で連結板１４を固定して、それらを連結すると共に、両接合平面を相互に圧接させる連結板の圧接機構により、弁板と弁ロッドの先端側においても上記接合平面を相互に圧接させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であり、かつ、コスト面で経済的な真空扉機構を提供する。
【解決手段】閉塞要素（１）一又は複数のロッド（９）（９’）（９”）に固定され、開口部（２）を開放する開位置、開口部（２）を覆う一方で開口部を取り囲むシート（７）から離れている中間位置、及びシート（７）に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される。傾動アクチュエータ（２５）（２５’）（２６）（２６’）の内部空間（２７）を画定する一又は複数のウォール（３９）が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成されている。傾動アクチュエータは、扉本体（１０）の当接面（３８）と、チャンバウォール（３）の当接面（３７）若しくはチャンバウォール（３）に保持されている固定部材（２１）と、のうち一方又は両方に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

【課題】処理チャンバーとバルブハウジングとの間をシールするシール部材の交換を、該バルブハウジングを処理チャンバーに接続したまま簡単に行うことができるゲートバルブを得る。
【解決手段】処理チャンバー２に接続されるバルブハウジング７の第１側壁７ａに、該処理チャンバー２に通じる連通孔５と、該第１側壁７ａと上記処理チャンバー２の室壁２ａとの間をシールするシール部材１３とを設け、上記弁室９内に配設した弁板６で上記連通孔５を開閉するようにしたゲートバルブ１において、上記連通孔５とシール部材１３とを、上記第１側壁７ａに着脱自在のシート部材１４に形成し、該シート部材１４を、上記弁室９からバルブハウジング７の上端の開口部２１を通じて該バルブハウジング７の外部に取り出し可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、材料の噛み込みによる開閉不良を防止することができる開閉弁装置を提供すること。
【解決手段】
位置固定されている固定管２４、固定管２４に対して進退自在に対向配置されている進退管２５、および、固定管２４と進退管２５との間に進退自在なパッド３４を備え、パッド３４を固定管２４と進退管２５との間から退避させてから、固定管２４と進退管２５とを接続して、開状態に切り替え、進退管２５を固定管２４から退避させた後、固定管２４と進退管２５との間にパッド３４を進出させて進退管２５を閉鎖して、閉状態に切り替える。 （もっと読む）

【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）

【課題】できる限り正確にバルブ駆動部の少なくとも１つの推進ロッドに取付けることが可能で、自己整合ができ、短時間で手間無く再び取り外すことが可能で、真空バルブの動作中に真空空間内で発生する自由材料粒子の存在を低く抑えることのできる、真空バルブの閉鎖板を提供する。
【解決手段】流路Ｆの気密封止のための真空バルブ１に関し、前記真空バルブ１は、円筒形接続部を有する少なくとも一つの推進ロッド７と、前記推進ロッド７に脱着自在に設けられ、前記接続部に対応した少なくとも一つの第一ロッド凹部を有する閉鎖板１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構を簡単化したゲートバルブを提供する。
【解決手段】 弁体が、支持アームに、回転軸を中心とした回転方向に移動可能に支持される。弁体が開口の正面からずれた位置から、開口の正面まで移動するように、回転軸支持体が、回転軸を昇降させる。移動部材が、昇降可能に支持されている。弾性体が、移動部材と回転軸支持体とを弾性的に接続し、上下方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形する。駆動機構が移動部材を昇降させる。変換機構が、回転軸支持部材と移動部材との相対位置関係の変化を、回転軸の回転方向の運動に変換する。回転軸支持体を昇降させて弁体を開口の正面に位置させたとき、ストッパが、回転軸支持体のさらなる上昇を禁止する。駆動機構は、回転軸支持体の上昇が禁止されている状態で、移動部材をさらに上昇させる。変換機構は、移動部材のさらなる上昇を、弁体が前記開口を塞ぐように回転軸を回転させる回転力に変換する。 （もっと読む）

【課題】直線作動型のゲートバルブを、バルブプレートを駆動する駆動装置がハウジングから該バルブプレートの移動方向に大きく突出することがないように構成する。
【解決手段】ガス通路３を開閉するバルブプレート２と、このバルブプレート２をハウジング１の主ハウジング部分６と収納ハウジング部分７とに直線的に移動させるエアシリンダ２９及びシャフト２８とを有し、上記エアシリンダ２９は、ハウジング１の第１側面１ａ側の位置に上記バルブプレート２の移動方向と平行に配設され、上記シャフト２８は、上記バルブプレート２と重なる位置に上記移動方向に配設されていて、該シャフト２８の先端が、上記バルブプレート２の移動方向前端部寄りの位置に連結されている。 （もっと読む）