【課題】立ち消え検出用の炎口の加工を容易にする。
【解決手段】内部に形成されたガス通路Ｐ１を通じて供給されるガスを燃焼させることにより加熱対象物を加熱するガスバーナ本体３０と、前記ガスバーナ本体３０の立ち消えを検出するためのサーモカップル７０と、前記ガスバーナ本体３０に取り付けられると共に、立ち消え検出用の炎口６３から前記ガスバーナ本体側から分岐したガスを噴出して前記サーモカップル７０を加熱する補助ガスバーナ６１と、前記サーモカップル７０の非加熱状態に対応して前記ガスバーナ本体３０に対するガスの供給を遮断する電磁式の安全弁を備えたガスコック装置８０とを備え、前記補助ガスバーナ６１を前記ガスバーナ本体３０とは別部材とした。 （もっと読む）

【課題】全一次燃焼式バーナの上面の燃焼板３上に臨む温度センサ５を備え、温度センサの出力から空気過剰率を検出してバーナに供給する一次空気量や燃料ガス量を調節する燃焼装置であって、燃焼板に、温度センサの直下に位置する部分を含む所定範囲に亘り、炎孔３ａを形成しない無炎孔部３２を設けるものにおいて、火炎リフトによる空気過剰率の検出精度の悪化を防止できるようにする。
【解決手段】無炎孔部３２に隣接する複数の炎孔３ａが形成された温度センサ加熱用炎孔形成部３３のＹ軸方向（温度センサ５の長手方向に直交する方向）外側に位置させて、炎孔３ａを形成しない第２の無炎孔部３４を設ける。更に、第２の無炎孔部３４のＹ軸方向外側に位置する外側炎孔形成部３５上に臨ませて、炎孔３ａからの噴出ガス流が衝突する障害物を設ける。好ましくは、障害物を点火電極６やフレームロッド７で構成する。 （もっと読む）

【課題】全一次燃焼式バーナの燃焼板３上に臨むように燃焼板の外縁よりも外方から内方に突出させた温度センサ５を備え、温度センサの出力から空気過剰率を検出してバーナに供給する一次空気量や燃料ガス量を調節する燃焼装置であって、燃焼板に、温度センサの直下に位置する部分を含む所定範囲に亘り無炎孔部３２を設けるものにおいて、温度センサの突出量のばらつきによる空気過剰率の検出精度の悪化を防止できるようにする。
【解決手段】温度センサ５の長手方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向として、無炎孔部３２のＸ軸方向内方の端部３２ａからＸ軸方向外方にのびる無炎孔部３２の部分を、端部３２ａよりもＹ軸方向幅を狭めた幅狭形状部分３２ｂに形成する。また、幅狭形状部分３２ｂに隣接する複数の炎孔３ａが形成された温度センサ加熱用炎孔形成部３３のＹ軸方向外側に位置させて、炎孔３ａを形成しない第２の無炎孔部３４を設ける。 （もっと読む）

【課題】熱電対の温接点を淡炎口に対して確実に位置決めできる燃焼装置を提供する。
【解決手段】燃焼装置の取付板７には、熱電対４０が濃淡バーナ９の長手方向に対して平行に配置されている。熱電対４０は熱電対支持部材２０によって支持されている。熱電対支持部材２０は、濃淡バーナ９の炎口部７０の一部を塞ぐ閉塞部２４を備えている。閉塞部２４の前端部には、熱電対４０の温接点４５を淡炎口に露出させる凹部３１が設けられている。凹部３１の両側部位で濃淡バーナ９の濃炎口を塞ぐ。閉塞部２４を平面視で見た場合に、熱電対４０の温接点４５が凹部３１の内側に配置されている。従って、熱電対４０の温接点４５を淡炎口に対して確実に位置決めできる。 （もっと読む）

【課題】グリル庫１の側壁内面に、下火バーナ６の上方位置で横方向内方に張出す二次空気案内板１３が設けられ、二次空気案内板の横方向内端に曲成した下方に屈曲する垂下板部１３ａに、その下縁から上方に凹入する凹欠部１３ｂが下火バーナの複数の炎口６１に対応させて複数形成されるグリルであって、下火バーナの前部の炎口に臨む熱電対６４を備えるものにおいて、点火初期に熱電対を臨ませた熱電対炎口６１ａが酸欠状態になることを防止して、熱電対の出力の安定化を図ることができるようにする。
【解決手段】熱電対炎口６１ａが下火バーナ６の前から１番目の炎口でない場合には、垂下板部１３ａに、熱電対炎口６１ａの前隣りの炎口６１に対応する凹欠部１３ｂの前側に連続して切欠き部１３ｃを形成する。熱電対炎口が前から１番目の炎口である場合は、垂下板部に、熱電対炎口に対応する凹欠部の前方に位置する切欠き部を形成する。 （もっと読む）

【課題】運転終了後のポストパージが完全に終了しない状態で給電を停止し、すぐに次の運転を開始した場合において、温風暖房装置の内部が通常以上に昇温されていた場合であっても、温風暖房装置の内部の各機器の温度変化や動作状態に関する情報に基づいた制御を正確に実施可能な温風暖房装置の提供。
【解決手段】バーナと、送風機と、運転スイッチと、記憶手段と、制御装置とを有した温風暖房装置において、ポストパージ開始及び終了に関する運転状況情報を前記憶手段へ書き込み、運転終了後の給電停止時においても記憶手段が運転状況情報を保持する。そして、運転動作が開始されたとき、以前の運転でポストパージが開始されてからポストパージが終了するまでの間に給電が停止されたか否かを判別し、判別結果に基づいてバーナの点火前に送風機を運転させる送風運転を実施する。 （もっと読む）

【課題】使用中にバーナの加熱量が変更されたときにも、不完全燃焼による燃焼不良を適切に検出でき、バーナの加熱量の大小による早切れや遅切れのない燃焼制御装置を提供する。
【解決手段】燃焼炎温度検出手段と、熱交換器の周囲温度を検出して排気ガスの閉塞状態を検出する排気閉塞状態検出手段と、燃焼炎温度検出手段と排気閉塞状態検出手段の検出出力に基づいてバーナの燃焼を制御するコントローラとを備え、燃焼炎温度検出手段により検出される第１検出温度が設定値より低くなったときにバーナの燃焼が停止され、かつ、バーナにより加熱される熱交換器の周囲温度である第２検出温度が高いときにはバーナの加熱量が大きく、また、第２検出温度が低いときにはバーナの加熱量が小さいと判定するように構成されている燃焼制御装置において、第２検出温度の値が大きく、バーナの加熱量が大きいほど、第１検出温度の設定値が大きい値に設定されるようにする。 （もっと読む）

【課題】失火対処回路３２が、熱電対１４から失火を検知して、バーナ１２からのガスを止める湯沸かし器１０において、前回のガス燃焼時の余熱が熱電対１４に残っていても、失火対処回路３２の診断シーケンスを適切に行う。
【解決手段】ガス弁１３はコイル２２の通電に応じてガス供給路１１を開閉する。失火対処回路３２は通常はＦＥＴ２１を導通状態にしている。診断シーケンスは、点火スイッチ３８の押下に伴い、点火シーケンスに先立ち実施される。診断シーケンスでは、マイコン３７はＳ３，Ｓ４によりＦＥＴ２３，２９をそれぞれ導通及び遮断の状態にして、炎検知回路２８に炎無しのＳ５を出力させる。失火対処回路３２は、正常作動中であれば、Ｓ５から失火を判断して、Ｓ７によりＦＥＴ２１を遮断状態にする。もし作動不良状態であれば、ＦＥＴ２１は導通状態のままとなる。マイコン３７はＳ２が"Ｈ"であれば、点火シーケンスの実行を中止する。 （もっと読む）

【課題】排ガスの燃焼する燃焼室内の温度を正確に測定ができる除害装置およびその除害装置を成膜装置に取り付けた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】排ガス２を除害する除害装置１０を、排ガス２を内部で燃焼させる燃焼室１と、燃焼室１内に設けられ、燃焼室１内の温度を測定する熱電対７と、熱電対７を内部に配置する管状のカバー１５とを有して構成する。カバー１５には、カバー１５内部にブローガス１７を供給するガス供給路１６を接続する。ガス供給路１６からカバー１５内部へ供給されたブローガス１７は、熱電対７の先端から噴き出すように構成される。この除害装置１０を成膜装置３１に取り付けて、成膜装置３１からの排ガス２を除害するようにして半導体製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】熱電対による燃焼状態の検知が不能な状態で、バーナの燃焼運転が行なわれることを抑制した燃焼装置を提供する。
【解決手段】
対応するバーナの燃焼炎を検知する複数の熱電対２４ａ〜２４ｆから出力される検知信号を入力し、選択信号Ｓ1〜Ｓ6に応じていずれか一つの熱電対の出力信号を選択して出力する選択回路３１と、選択回路３１から出力される検知信号を増幅する増幅回路３２と、複数のバーナのいずれかが燃焼中であるときに、選択信号Ｓ1〜Ｓ6を選択回路３１に出力して、熱電対２４ａ〜２４ｆの検知信号を選択回路３１及び増幅回路３２を介して順次入力し、燃焼中のバーナに対応した熱電対の検知信号のレベルが失火判定範囲内であるとき、及び、消火状態にあるバーナに対応した熱電対の検知信号のレベルが故障判定範囲内であるときに、燃焼中のバーナを消火する燃焼中監視処理を行う熱電対監視部４３とを備える。 （もっと読む）