【課題】 室内の空気を循環させることなく検査体の保管に適した環境で室内を低湿度状態に保つことができる検査体保管装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る保管装置は検体中の被検出物質と反応して発色する検査用試薬部を保持した検査体を保管する保管装置であって、前記検査体を収容する密閉室を形成するハウジングを有し、前記密閉室の内部に、室内の空気を除湿する吸湿材を配置し、前記密閉室の壁面に、前記吸湿材を乾燥させるように、固体高分子電解質膜を水を電解して酸素を発生する陽極と水を発生して酸素を消費する陰極とで挟持してなる除湿装置を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の表面に生じるパーティクルを低減する。
【解決手段】本実施形態によれば、半導体基板の超臨界乾燥装置は、半導体基板を収容し、密閉可能なチャンバ２１０と、チャンバ２１０の内部を加熱するヒータ２１２と、チャンバ２１０に二酸化炭素を供給する供給部と、チャンバ２１０から二酸化炭素を排出する排出部と、チャンバ２１０を回転させる回転部２７０と、を備えている。回転部２７０は、チャンバ２１０を水平方向に対して９０°以上１８０°以下回転させる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に含まれる溶媒を凝縮して塗布膜を乾燥させる際に、冷却板と塗布膜の膜面との間隔を均一にし、且つ、搬送風の乱れを少なくすることでムラの発生を抑制することのできる乾燥方法、乾燥装置及び凝縮液の回収方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る乾燥方法は、シート状基材４に形成された塗布膜４ａから蒸発した溶媒を冷却板１で凝縮することで塗布膜４ａを乾燥させる方法である。そして、本乾燥方法は、シート状基材４の搬送方向に沿って複数配置され、且つ、塗布膜４ａの膜面と平行になるように配置された冷却板１に塗布膜４ａから蒸発した溶媒を凝縮して凝縮液とし、その凝縮液を冷却板１間の隙間を塞ぐ多孔質体ブロック２に含浸させる工程を含むものである。なお、冷却板１のそれぞれは、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離が同じである。また、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離は、塗布膜４ａと多孔質体ブロック２との間の距離と同じである。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上の金属材料やポリシリコンのエッチングを抑制し、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止することができる半導体基板の超臨界乾燥方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の超臨界乾燥方法は、半導体基板を洗浄・リンスした後に、表面が水溶性有機溶媒で濡れた半導体基板をチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバを密閉し、前記水溶性有機溶媒を超臨界状態にする工程と、前記チャンバ内の圧力を下げ、超臨界状態の前記水溶性有機溶媒を気体に変化させて、前記水溶性有機溶媒を前記チャンバから排出する工程と、前記チャンバ内の圧力が大気圧まで下がるに伴い、前記チャンバ内へ不活性ガスを供給する工程と、前記半導体基板を冷却する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】穴に通過させるものでは、通過させるときに側面の吸水性のシートが強く擦れ、大きな摩擦が発生して傘本体が傷つきやすい。また、両側に横の回転するベルトに吸水性のシートが付いているものでは、傘の骨と傘の濡れた間の水を効率的には取ることができなかった
【解決手段】本発明の傘脱水機は、傘にあたる側面を縦に回転する吸水性のある球体の物や円形の物を使うことにより、吸水性の物と傘の間にかかる摩擦を大きく軽減する。球体や円形の凹凸が傘の骨と傘の濡れた間にはまり、水が取れやすくなっている （もっと読む）

【課題】室内を乾燥させるのに使用される乾燥装置において、換気扇だけでは乾燥に時間がかかり、加熱装置を用いると消費電力が大きいという課題を有していたため、単純な排気より乾燥が速く、加熱装置を使用していないので省エネとなる乾燥装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本体ケース１の室内側の風路６において、室内の高温高湿の空気を湿度交換素子８内に通すことで、湿度交換素子８に水を吸着させ、湿度だけを前記室外側の風路７に移動させ、吸着熱により温度が上がった高温低湿の空気を室内に返す。湿度交換素子内を室外側の風路７に移動した水分は室外送風手段１０の風により気化し、室外へ排出される。この原理によって、加熱装置を用いることなく室内の温度を上げながら室内を乾燥させることができる構成にした乾燥装置を得られる。 （もっと読む）

【課題】室内を乾燥させる乾燥装置において、換気扇では乾燥に時間がかかり、加熱装置を用いると消費電力が大きいという課題を有するため、単純な排気より乾燥が速く、加熱装置を使用しないので省エネとなる乾燥装置を提供する。
【解決手段】室内の高湿の空気を湿度交換素子２３内に通すことで、湿度交換素子２３に水を吸着させて低湿の空気を室内に返すと共に、湿度交換素子２３内に吸着した水を気化して室外へと排出する本乾燥装置は、室内側及び室外側それぞれの吸気口及び吐出口に、温度検知手段及び湿度検知手段を備え、各検知手段によって得られた温度及び湿度を元に、前記湿度交換素子２３に含まれる水分量を推定する前記水分量推定手段２７を備え、推定した前記水分量を元に、省エネで効率良く室内を乾燥させる乾燥運転を行う。 （もっと読む）

【課題】電源不要、小型で設置スペースを取らず、運搬容易な雨傘用脱水装置を提供する。
【解決手段】雨傘Ｕを先端から挿入可能な開口部１５を上部に有する中空縦長のケース１０、１００と、開口部からケース内に挿入された雨傘の外面に内面で夫々接触するようにケース内に対向配置された少なくとも一対の吸水体２０１と、各吸水体を互いに圧接させる内方向、且つ上方向に弾性付勢する付勢手段１０７と、を備え、開口部から各吸水体間に雨傘が挿入されて付勢手段の付勢力に抗して両吸水体の間隔が広がったときに両吸水体を下降させる吸水体下降手段１０８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽から引き上げた基板の下端部に液滴が残って不純物やパーティクル等が基板に残留するのを抑制することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留し、該洗浄液に対して基板を浸漬することができる洗浄槽と、前記洗浄槽の上方に配置され、前記基板を収容可能な乾燥室と、複数の基板を直立に保持し、前記洗浄槽と前記乾燥室とを往復可能に設けられる基板保持搬送部と、前記乾燥室に設けられ、前記乾燥室内へ有機溶剤の蒸気を供給する第１の供給部と、前記基板保持搬送部により前記乾燥室において保持される前記基板の下端部に乾燥ガスを供給可能な第２の供給部とを備える基板処理装置により上記課題が達成される。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に生じるパーティクルを低減すると共に、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止する。
【解決手段】本実施形態によれば、半導体基板の超臨界乾燥方法は、金属膜が形成された半導体基板を、表面がアルコールで濡れた状態でチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバ内に二酸化炭素の超臨界流体を供給する工程と、前記チャンバ内の温度を７５℃以上かつ前記アルコールの臨界温度未満の所定温度にして、前記半導体基板上の前記薬液を前記超臨界流体に置換する工程と、前記チャンバ内の温度を前記所定温度に維持しながら、前記チャンバから前記超臨界流体及び前記アルコールを排出し、前記チャンバ内の圧力を下げる工程と、を備える。 （もっと読む）