【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】ラミナー式流量計の測定対象たるガスの流れが、レイノルズ数が十分に小さい層流でない脈動流であっても、ガスの流量を正確に測定することができる脈動流の流量測定方法およびガス流量測定装置を提供する。
【解決手段】ラミナー式流量計２を用いた流量測定方法であって、測定前に、脈動周波数を複数設定するとともに、流量が一定であり、かつ、既知である複数の基準流量Ｑ_ａを設定し、各脈動周波数と各基準流量Ｑ_ａとを組み合わせた各パターンのガスの流れを、脈動振幅ｘを変化させながら、ラミナー式流量計２によって測定（測定流量ｙを取得）し、各パターンにおいて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙと脈動振幅ｘとの関係を表す関数を算出しておき、測定において、当該測定の測定条件に最も近似するパターンを各パターンから選択するとともに、選択したパターンにおける関数を用いて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙを補正する。 （もっと読む）

【課題】所望の非線形性の大部分を失うことなく、圧力低下が小さいフローリストリクタを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの導入部、少なくとも１つの導出部、及び流路を有する第１のディスクと、流路を有さない第２のディスクとを備えるフローリストリクタであって、第１のディスク及び第２のディスクは互いに積み重ねられる。また、マスフローコントローラは、入力部、出力部、流路、圧力トランスデューサ及び上記フローリストリクタを備えている。 （もっと読む）

【課題】 実用的な面から流量の数値が差圧の直線的関係数値から±１％以内の偏差に収まるような特性のラミナーエレメントを実現することが課題である。そして装置としての構造が小型で耐圧性があり、圧力センサを含めた構成が実用的に簡便なものにすることが課題である。
【解決手段】 管路の入口１７側と出口２１側との差圧を測定し、流体の物理定数、入口温度及絶対圧と流路断面積から流量を測定する層流型流量計において、層流を形成するラミナー素子２０として外側管１の内周とその内部に装着した内側管１１、１３の外周で形成する環状流路を一重または複数重用いて差圧発生に必要な一定の長さのラミナー素子として用いる （もっと読む）

【課題】飽和炭化水素ガスに他のガスが混入した混合ガスの成分測定装置であって、混合ガスの成分及び発熱量を簡易かつ高速に測定できると共に安価である成分測定装置等を提供する。
【解決手段】１種類以上の飽和炭化水素から成る第一のガスと種類が異なる成分既知の第二のガスが混合された混合ガスの成分測定装置が、前記混合ガスの差圧を検出する層流流量計と、前記層流流量計に直列に配置され前記混合ガスの差圧を検出する差圧式流量計と、前記混合ガスの密度を検出する密度計と、前記検出された差圧、前記検出された密度、前記各流量計における関係式、第一のガスの密度と粘度が反比例の関係にあること、及び、混合ガスの粘度と第一のガス及び第二のガスの粘度との関係式に基づいて、第一のガス及び第二のガスの混合比率を求める演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 レイノルズ数の小さい流体の流れを用いて極微小流量の測定を安定して行うことができる差圧流量計を提供する。
【解決手段】 レイノルズ数の小さい流体の流れを形成すると共に流体の流れに抵抗を与える差圧発生部５と、この差圧発生部５の両端における圧力差（Ｐ₁−Ｐ₂ ）を測定する圧力センサ３，４と、差圧発生部５を流れる流体Ｆの温度Ｔを一定に保つ温度調節部２Ａ〜２Ｄ，６，Ｈ₁ ，Ｈ₂ ，Ｔとを有する。 （もっと読む）

【目的】閉塞などの問題を起こすことなく極微小流量の測定を安定して行うことができると共に製造コストを削減できる差圧流量計を提供する。
【構成】液体Ｆが流通するキャピラリ５と、このキャピラリ５の両端における圧力Ｐ_１，Ｐ_２差を測定する圧力センサ３，４と、圧力差（Ｐ_１−Ｐ_２）の測定値から液体Ｆの流量Ｖを求める演算処理部６とを有する。 （もっと読む）

【課題】混合流体を構成する２種類の流体成分の体積分率および混合流体の流量を、共に応答性良く計測できる流量計を提供すること。
【解決手段】流量計１は、絞り２２を有する第１の圧力損失発生手段２、および層流形成流路３１を有する第２の圧力損失発生手段３を備えている。これにより、２種類の流体成分からなる混合流体の流量を、絞り２２での圧力損失と、各流体成分の体積分率を含んで表される混合流体の密度とを用いた式により表すことができる。また、混合流体の流量を、層流形成流路３１での圧力損失と、各流体成分の体積分率を含んで表される混合流体の粘度とを用いた式により表すことができる。従って、演算手段６は、第１および第２の圧力損失検出手段４，５によって瞬時に検出される絞り２２および層流形成流路３１での圧力損失に基づいて、各流体成分の体積分率および混合流体の流量を、共に応答性よく求めることができる。 （もっと読む）

【課題】圧力測定が高精度並びに高感度でなされ、同時に製造コストを減じることのできる新規な透過体を備えた新規なガス放出センサーを提供する。
【解決手段】夫々圧力センサーに接続され、ガスが流されるダクト２０に開口した２つのピックアップ導管２６，２８を有し、透過体４０がこれら導管間で軸に沿って延びるように外体１２内にブッシュ１６を介して配置されている。前記透過体は、前記ダクトの断面と相補的な形状の断面を有する中心部を有し、この中心部は、これの外側面に径方向で開口するように軸Ａ１を中心として径方向に延びた複数のスロット４２ｂ，４２ｃを有する。これらスロットは透過体の全長に渡って軸方向に延びている。そして、前記スロットは、異なる深さの複数のグループのスロットを有する。 （もっと読む）

【課題】層流発生部を挟む上流と下流の差圧を可及的に大きくでき、また層流発生部の長さを可能な限り短くし、さらにキャピラリー管を不要としてガスの流量を検出すること。
【解決手段】 流路を上流側と下流側とに仕切る多孔質部材からなる層流素子３０と、層流素子３０の上流側と下流側との差圧ΔＰを検出する手段１７、２６と、下流側の圧力Ｐ2を検出する手段２６と、差圧ΔＰに基づいて体積流量Ｑを
Ｑ＝Ａ＊ΔＰ＊（ΔＰ＋2＊Ｐ2＋Ｂ）
（ただし、Ａは多孔質部材の形状係数を、またＢはガスの圧縮率に対する補正値を表す。）
なる関係により算出する手段３２とにより構成されている。 （もっと読む）