【課題】被測定物体の動作による温度変化を高い時間分解能で測定する。
【解決手段】電気信号により駆動可能な被測定物体である電子デバイス１００の表面に、発光特性が温度依存性を有する発光物質を含有する感温材料層１１０を形成し、この層１１０にパルス光を照射して得られる発光光と、温度依存性とに基づいて、電子デバイスの表面温度を測定する。光源制御部３１０が電子デバイスの電気的な駆動と同期させて、光源３１２の発光タイミングの制御を実行し、電子デバイスの駆動タイミングから所定時間経過後に光源３１２を発光させ、光検出部３３０が、パルス光によって励起された感温材料層の発光光を検出する。演算部３５０は、電子デバイスの所定の駆動タイミングから所定時間経過後に、感温材料層から得られた光と、発光物質の温度依存性とから電子デバイスの表面温度を算出する。これにより、電子デバイスの駆動によって生ずる過渡的温度変化を測定する。 （もっと読む）

【課題】熱電対や白金測温抵抗体等のように、測定部位に比較的大きな空間を必要とする接触式の温度センサではなく、また、放射温度計のように測定対象物に応じて放射効率を補正することの必要がない、高精度で所定部位の温度の測定が可能な温度センサ付き軸受装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内輪と、前記内輪の半径方向外方に配置され、前記内輪に対して相対回転可能な外輪と、前記外輪若しくは前記内輪に装着された蛍光体を有する蛍光式温度センサと、を備える軸受装置。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明の実施態様は、大まかに言えば、その場ウエハー温度測定方法並びに装置を提供することにより従来技術の問題を解決するものである。その場ウエハー温度測定方法並びに装置は、ウエハーの温度情報を即時に与えることによって、エッチング処理の連続的な監視を可能にする。また、その場ウエハー温度測定方法並びに装置は、即時の基板温度制御を可能にし、ウエハー間やチャンバ間の処理のバラつきを抑制する。適用例としてクラスターツールシステムを挙げる。クラスターツールシステムは、基板温度を示す信号を出力可能な基板を保持するための基板保持ステーションと、基板保持ステーションから投入される基板を受け取り、基板を内部に保持した状態で処理プロセスを実施する処理チャンバと、を備える。クラスターツールシステムは、さらに、処理チャンバにおいて処理プロセスが進行する際に基板から出力される基板温度を示す信号を受信・検出する信号検出器を備える。 （もっと読む）

【課題】感温色素がバインダであるフッ素系ポリマーに均一に分散し且つ溶媒が揮発すると表面が滑らかな薄膜を形成する感温塗料を提供する。
【解決手段】発光性を有するローダミンＢ誘導体RhoB-MAを、フッ素系ポリマーを構成するメタクリル酸イソブチル、及びメタクリル酸2,2,2−トリフルオロエチルエステルに共重合させてフッ素系ポリマーを構成する単量体の原子団または官能基を成すようにする。そして、そのフッ素系ポリマーをトルエンに溶解して感温塗料を作製する。 （もっと読む）

【課題】風洞実験における模型の表面温度場を精度よく計測することができる感温塗料を提供する。
【解決手段】ユーロピウムイオンＥｕ³⁺と酸素原子とにより四核架橋構造を成した中心金属に対し、配位子として光増感機能を有する２ヒドロキシ４オクチロキシベンゾフェノン（2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone）を配位したユーロピウムＥｕ四核錯体を生成する。そして、色素となるユーロピウムＥｕ四核錯体に対し、溶媒としてジクロロメタンを、ポリマーとしてＰＭＭＡを加えて混合し感温塗料を生成する。 （もっと読む）

【課題】目的とする温度を検知して蛍光を発する蛍光性温度プローブおよび共存物質存在下や界面においても高感度センシングが可能な蛍光性温度プローブを提供する。
【解決手段】温度応答性を有する蛍光性温度プローブであって、該蛍光性温度プローブは２つ以上のセグメント鎖から構成されるブロックポリマーあるいはグラフトポリマーである。好ましくは、上記ブロックポリマーあるいはグラフトポリマーのうち、１つ以上のセグメント鎖中に下限臨界共溶温度を有する感熱部位と蛍光性を有する蛍光部位の両方を含有する。蛍光性温度プローブと検出手段を含み構成される温度センサーであって、該蛍光性温度プローブは２つ以上のセグメント鎖から構成されるブロックポリマーあるいはグラフトポリマーである。 （もっと読む）

【課題】 マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能な温度測定装置を実現する。
【解決手段】 測定領域に注入した蛍光物質が光源の出力光の照射によって発光する蛍光の強度を用いて測定領域の温度を測定する温度測定装置において、光源と、この光源の出力光が入射され蛍光物質が注入された被測定流体が流れるマイクロチャネルと、このマイクロチャネルの温度を変調する温度変調手段と、マイクロチャネルで発生した蛍光を検出する光検出手段と、この光検出手段で検出された蛍光強度から変調成分及び直流成分を求め、変調成分を直流成分を除算し検量線に基づき温度を計算する信号処理手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】蛍光の温度変化による温度の決定を環境等の発光効率以外の影響を受けずに、低温における２次元の温度分布をリアルタイムで画像化することを可能にした感温蛍光材料を提供する。
【解決手段】蛍光の発光効率が温度依存する蛍光材料１と、同じく蛍光の発光効率が温度依存するが蛍光材料１とは異なった温度依存性を持つ蛍光材料２を混合させ、蛍光材料１からの蛍光１と蛍光材料からの蛍光２の強度の比が温度計測に用いることのできる蛍光材料。 （もっと読む）

第1型の発光及び第2型の発光(L2)を供するように備えられた温度計(101)が表面(106)上に供されている。温度計(101)は、前記第1型の発光を供する発光ダイオード(108)、及び前記第2型の発光(L2)を供する電気化学電池(109)を有する。発光電気化学電池(109)は、第1電極(120)、第2電極(121)、及び第2発光層(113)を有する。前記第2発光層(113)は、第1電極(120)と第2電極(121)との間に挟まれ、かつ母体を有する。イオンは前記母体中を移動することが可能で、前記イオンの前記母体中での移動度は温度依存する。電源(105)が、AC電圧で電池(109)を駆動させるように備えられている。電源(105)の周波数は、表面温度がある特定の温度を超えるときに電池(109)が前記第2型の発光(L2)を供するように調節されている。
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【課題】 雰囲気温度を正確に検知することができる温度センサを提供する。
【解決手段】 温度センサ１０においては、紫外線ＬＥＤ１３が発した紫外線をモニタ用フォトセンサ２３が受光する一方で、紫外線ＬＥＤ１３が発した紫外線を受光して蛍光ガラス板２４が発した蛍光をモニタ用フォトセンサ２６が受光する。このとき、モニタ用フォトセンサ２３の出力値に基づいて、モニタ用フォトセンサ２６の出力値が雰囲気温度と一対一に対応するように紫外線ＬＥＤ１３の発光量を制御回路２７が制御するため、モニタ用フォトセンサ２６の出力値に基づいて、温度センサ１０の雰囲気温度を検知することができる。このように雰囲気温度の検知に紫外線や蛍光といった光を利用することで、外部からの電磁誘導ノイズが発生し難くなり、雰囲気温度を正確に検知することが可能になる。 （もっと読む）