本発明は、少なくとも１つの圧電測定素子（５）を収納する環状ハウジング（２）と、このハウジングに、円環状の内側及び外側膜領域（１２，１３）を介して接続、好ましくは、溶接、される圧力伝達要素とを有する力測定リング（１）に関する。本発明に拠れば、前記力測定リング（１）の前記内側及び外側ダイアフラム領域（１２，１３）は、前記少なくとも１つの圧電測定素子（５）によって規定される対称面（ε）の両側に位置する。
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【課題】 特に、下地膜を改良して、圧電体膜の圧電定数ｄ３１を高めることが出来る圧電素子及び角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコン基板１１上に下から第２下地膜２１、第１下地膜１２、Ｒｕ膜３１、下部電極１３、圧電体膜１４及び上部電極１５の順に積層される。第２下地膜２１はＴａで形成され、第１下地膜１２は、ＮｉＦｅ、ＮｉＣｒ、ＦｅＣｒあるいはＮｉＦｅＣｒで形成される。また、下部電極は、例えば、Ｐｔで形成され、圧電体膜１４は例えばＰＺＴで形成される。これにより従来に比べて効果的に圧電体膜１４の圧電定数ｄ３１を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】挟み込み時の検知性能の部位ばらつきが生じにくいケーブル状感圧センサを提供すること。
【解決手段】中心電極４ａと圧電体４ｂと外側電極４ｃと被覆層４ｄの４層から成り可撓性を有する同軸状の圧電センサ４と、圧電センサ４の外側を保持する支持部７とを備え、被覆層４ｄの外周形状を非円形形状とし、支持部７の保持部形状を被覆層４ｄの形状に対応する構成とすることにより、検知性能の部位ばらつきの生じにくいケーブル状感圧センサを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】芯電極と抵抗体との間、外側電極と前記抵抗体の間を非導電性接着剤により強化して、圧電センサ回路の動作保証を確立する。
【解決手段】圧電効果を有する材料を含む線状の圧電体３の芯部分と外周とに芯電極２、および外側電極４をそれぞれ配置した圧電センサ１と、前記芯電極２と外側電極４との間を回路接続する抵抗体６と、前記芯電極２と外側電極４の間に出力される信号を伝達するための信号伝達回路と、この信号伝達回路からの信号を増幅する増幅回路と、機器の動作を制御する制御回路とを具備し、前記芯電極２と前記抵抗体６との間、外側電極４と前記抵抗体６の間をそれぞれ第１、第２の導電性接着剤８，１１で覆うとともに、これら第１、第２の導電性接着剤８，１１にまたがって共通の非導電性接着剤１２を塗布して被覆した。 （もっと読む）

【課題】高温領域において、時定数が向上した圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１０は、基板１上に電極２ａ、薄膜圧電体３および電極２ｂが、この順序で形成されている圧電素子であって、電極２ａおよび薄膜圧電体３の間、並びに、電極２ｂおよび薄膜圧電体３の間のうち少なくとも一方の間に誘電体４が積層されており、誘電体４の静電容量は、薄膜圧電体３の静電容量以下であり、誘電体４の時定数は、薄膜圧電体３の時定数よりも大きいものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、パラレル型バイモルフ素子のように高出力を得、かつシリーズ型バイモルフ素子のように差動アンプ回路での同相ノイズの除去が容易な、圧電素子を提供する。
【解決手段】複数の電極層と圧電体とから構成される２つの積層体の間に、絶縁性の材料からなるシム材を挟んで固着することで、電荷の取り出し面を広く確保する。また、侵入したノイズが電気的に２個の極性間で等しくなるような電極構造とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の振動の過剰な抑制を防止し圧力レベル及び押し圧力の微細な変化を検出可能な圧電振動子の駆動回路と出力検出回路を提供する。
【解決手段】駆動パルス発生回路１より供給されるパルス波で発振回路２がパルス時間のみ発振回路が動作する。この時動作時間はパルス時間より遅延された時間で動作する。この事で発振回路のバイアス動作電圧の駆け具合により、押し圧力の変化に応じた微細な変化を検出する事を可能とした。 （もっと読む）

【課題】高い動的周波数及び高い固有振動数での高負荷にも適している圧電測定の原理に基づいて、実験室内のタイヤ試験台で及び移動試験車輌でのホイール力及び／又はモーメントを検出する荷重変換器を提供する。
【解決手段】荷重変換器は、ベース・プレート２及びこのベース・プレート３と、これらのプレート間に薄層状に配列された板状水晶センサ５とを含む。ベース・プレート２及びカバープレート３は、細長い形状に設計されて、プレート間に２個以上の上記板状水晶センサ５を含む。水晶センサは、プレート２、３の長手方向に整列して配置されると共に、プレート２、３により予め荷重が掛けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、室温の動的圧電定数ｄ₃₃に対する１５０℃の動的圧電定数ｄ₃₃の変化の小さい圧電センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電磁器からなる基体の対向する一対の表面に集電電極を備える圧電センサであって、前記圧電磁器は、１５０℃における体積固有抵抗Ｒ（１５０℃）が２５℃における体積固有抵抗Ｒ（２５℃）より低く、１５０℃における圧電定数ｄ₃₃（１５０℃）が２５℃における圧電定数ｄ₃₃（２５℃）より高く、かつ５０Ｈｚの振動で測定した動的圧電定数ｄ₃₃の温度特性が正である。 （もっと読む）

【課題】 厚さが１ｍｍ程度の薄いシート型ずれ応力センサと、それを複数配置した分布型ずれ応力センサを提供することである。
【解決手段】 圧電材料からなる圧電薄板１１を上側伝達板１６及び下側伝達板１７で挟み込み、圧電薄板１１の上面の一部と上側伝達板１６の下面とを上接着層１３で接着し、圧電薄板１１の下面の一部と下側伝達板１７とを下接着層１４で接着する。そして、上下の接着層１３、１４は実質的に重畳しないように配置する。ずれ応力によって上側伝達板１６及び下側伝達板１７にそれぞれ逆向きに加わる力を、上下の接着層１３，１４を介して圧電薄板１１に伝え、圧電薄板１１を圧縮又は伸張させて電荷を発生させる。この電荷を電極膜１２ａ、１２ｂを介して出力することでずれ応力を検出する （もっと読む）