【課題】圧電膜に対する張力を所望の状態に管理することができる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】圧力検出装置１は、圧電膜４０を間に挟んで上ケース２０と下ケース３０とを互いに突き合わせることにより、圧電膜４０によって仕切られた一対の圧力室２１，３１を形成する本体部１０と、弾性部材で形成されるＯリング５０と、を有する。ここで、上ケース２０に形成される上側溝部２２は、上側溝部２２の内径ＤciがＯリング５０の内径Ｄriと対応して設定されるとともに、上側溝部２２の深さＬｃがＯリング５０の太さＤｄよりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】検出流体の圧力が周期的に変動するよう場合であっても過渡的な圧力変動を精度よく検出する。
【解決手段】圧力検出装置１は、隔壁１１によって互いに隔てられた前室１０Ａ及び後室１０Ｂを備える本体ケース１０と、隔壁１１の連通口１１ａを覆うように配置されて前室１０Ａと後室１０Ｂとを仕切る圧電膜２０と、隔壁１１の連通口１１ｂを覆うように配置されて前室１０Ａと後室１０Ｂとを仕切る抵抗板３０と、を有しており、抵抗板３０は、この抵抗板３０を貫通する一つ以上の貫通孔を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶板の発振周波数の変化として捉える。また水晶板２の先端部の破損を抑えるために、水晶板２が過度に撓んだ際に水晶板２の先端部が容器１の内壁に衝突する前に水晶板２の胴体部にて接触するように突起部７を設ける。 （もっと読む）

【課題】 圧力の急激な変化に正しく応答する圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明の圧力センサは、電極層２と圧電体層３とが複数積層され、各電極層２に第１の電極２１および第２の電極２２を備え、隣り合う電極層２の第１の電極２１と第２の電極２２とが圧電体層３を介して対向するように配置され、隣り合う電極層２の第１の電極２１の端部同士が積層方向に重なるとともに第１の電極２１の端部同士が接続部４を介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】圧力検出部の気密性を維持すると共に、出力用リードピン周りの構造上の脆弱性を改善した圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子２１を有する圧力検出部２と、圧力検出素子に接続され、圧力検出部の外部に突出する出力用リードピン３３と、出力用リードピンが外部出力用リード線３２に電気的に接続可能に固定される配線基板３１とを備える圧力センサ１において、圧力検出素子に接続され、圧力検出部の外部に突出する調整用リードピン３６（３６Ｂ、３６Ｃ）を配線基板に固定した。出力用リードピンだけでなく、電圧補正用等として用いられる調整用リードピンも合わせて配線基板へ固定したため、出力用リードピン、配線基板及び調整用リードピンの全体構造の強度が高まり、出力用リードピン周りの構造上の脆弱性が改善される。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成のセンサを提供すること。
【解決手段】平板状に形成された圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面に接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、圧電性基板及び封止基板のうちの少なくとも一方に形成され、引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極と、圧電性基板の他方の面に接合されたプレート基板６１と、を備え、圧電性基板は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、プレート基板には、変位部を露出させる開口部Ｅが形成される。 （もっと読む）

【課題】温度上昇によって抵抗値が大きく低下することのない圧力センサ素子を提供すること。
【解決手段】圧力センサ素子は、上面と下面とを有する圧電素子と、前記上面と前記下面との少なくとも一方を少なくとも部分的に覆う高抵抗材料膜とを備えており、高抵抗材料膜の電気抵抗値は圧電素子の電気抵抗値よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴う測定値の誤差を減少させる。
【解決手段】容器と、容器の一部を構成し、力を受けて容器の内側または外側に変位する受圧手段と、感圧部と感圧部の両端に接続された一対の基部と、基部同士を結ぶ線と平行な検出軸と、受圧手段の変位方向と検出軸が平行となるように配置され、受圧手段の変位により圧力を検出する感圧素子とを有する圧力センサーであって、感圧素子を間に挟み受圧手段の周縁部または容器の受圧手段側に接続された一対の緩衝部と、緩衝部の先端同士を連結する梁部からなる門型のフレームを有し、感圧素子は、基部の一方が受圧手段に、基部の一方の反対側の他方が梁部の長手方向の中央部に接続され、感圧素子の長さＬ_Ａ、感圧素子のヤング率Ｅ_Ａ、感圧素子の断面積Ｓ_Ａ、緩衝部の長さＬ_Ｂ、緩衝部のヤング率Ｅ_Ｂ、緩衝部の断面積Ｓ_Ｂとし


の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で歩留まりが高く、かつ機械的強度に優れた圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２にセンサーチップ３を搭載してなる。センサーチップ３は、平面視形状が矩形をなし、下面３２には、互いに離間した第１の接合部３２１、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３が設定されている。第１の接合部３２１は、下面３２が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、第２の接合部３２２は、第１の接合部３２１が設定された角部とＹ軸方向に隣り合う角部に設定され、第３の接合部３２３は、Ｘ軸方向の第１、第２の接合部３２１、３２２と反対側の端部でかつＹ軸方向の中央部に設定されている。また、下面３２のＸ軸方向の長さをＬｘとし、Ｙ軸方向の長さをＬｙとしたとき、Ｌｙ／Ｌｘが、０．６以上１．０以下である。 （もっと読む）

バリア特性及び圧電特性を有する少なくとも１層から成る壁を含む高圧媒体貯蔵容器。 （もっと読む）