【課題】温度に依存せず、迅速で堅牢に直流電圧を抑制できる、改善されたアナログセンサ信号処理方法の提供。
【解決手段】アナログセンサ信号は、オペアンプ（４０２）により増幅される。増幅されたアナログセンサ信号は、計測されると共に閾値と比較される。増幅されたアナログセンサ信号及び閾値の差の関数として、直流電圧が発生する。アナログセンサ信号及び直流電圧から、合成信号が形成される。この合成信号は増幅され、出力信号が出力される。 （もっと読む）

乾燥室（１）中に位置付けされているウェハ（２）の乾燥工程を制御するための装置および方法であって、乾燥器ガスユニット（３）が乾燥室（１）中の実測ガス濃度を測定するための気体濃度測定ユニット（４）に従って、気体状の溶剤によって充填され、その際、気体濃度測定ユニット（４）は、ウェハ（２）を乾燥させるためのアルコールの群からの気体状の溶剤の濃度を監視するＮＤＩＲ測定装置の様式に従って構成されていることを特徴とする、ウェハ（２）の乾燥工程を制御するための装置および方法。
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【課題】温度に依存せず、迅速で堅牢な直流電圧抑制が可能な、アナログセンサ信号の改善された処理方法及び被計測値処理デバイスの提供。
【解決手段】オペアンプ（７０４，７０６）の第１入力に供給されたアナログセンサ信号は、オペアンプにより増幅される。増幅されたアナログセンサ信号は、計測され、閾値と比較される。増幅されたアナログセンサ信号及び閾値間の差に依存して直流電圧を発生させる。アナログセンサ信号及び直流電圧から差信号が形成される。差信号は増幅され、出力信号が出力される。被計測値処理デバイスは、第１入力に供給されるアナログセンサ信号を増幅するオペアンプと、増幅されたアナログセンサ信号を計測し、増幅されたアナログセンサ信号を閾値と比較するコントローラ（７０８）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高温・高ダスト条件下においても、測定系特に光学系に対する影響を与えずに付着ダストの除去が容易にでき、かつ長期間安定的にダストの除去機能を維持することができる直挿式光学測定装置を提供すること。
【解決手段】 所定の長さを有する試料流路の側面の少なくともいずれかにマド部１ａ，２ａを有する光学素子（光源部１，光検出部２）を配設し、試料流路での吸光量あるいは発光量を測定する直挿式光学測定装置であって、所定の周期で回転するチョッパ３１，３２を光学素子（光源部１，光検出部２）の光変調手段とするとともに、チョッパ３１，３２によってマド部１ａ，２ａの清浄を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 測定値に対する信頼性の確保しつつ、校正ガスとして高圧の水素ガスを用いることなく、測定精度の高い元素分析方法および元素分析装置を提供すること。
【解決手段】 不活性ガス雰囲気で融解処理された試料Ｓ中の水素または水素を含む複数の元素を測定対象とする元素分析装置であって、前記処理によって得られたサンプルガス中の水素を測定するガス分析計２の感度校正用ガス流路に、水素吸蔵合金を内蔵し加熱・冷却が可能な水素処理部５を配設し、冷却状態においてサンプルガス中あるいは校正ガス中の水素を吸蔵するとともに、前記ガス分析計２の校正時に、加熱状態に切り換えた該水素処理部５に対して特定のキャリアガスＡｒを流通して前記ガス分析計２の感度校正を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 必要とされる十分な大きさの光路長を得ることができるものでありながら、小型のものとして構成することができる多重反射型セルおよびこの多重反射型セルを備え、所期のガス検知を確実に行うことのできる小型の赤外線式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】 多重反射型セルは、内部に測定室を有するセル本体を備え、当該測定室内の一端および他端において反射面が互いに対向状態で配置された２つの球面反射鏡と、測定室内の一端に配置された赤外線光源および赤外センサとを有し、２つの球面反射鏡の離間する方向に沿って延びる平面状の反射面と前記球面反射鏡の反射面とによって多重反射構造が形成されてなり、赤外線光源および赤外センサが共通の保持部材によって保持されていると共に、当該保持部材と一端側に配置される球面反射鏡とが一体に固定されている。赤外線式ガス検知器は、上記多重反射型セルを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、太さの異なる排気管の内径に対応して取り付けることができ、しかも、車両の実際の走行状態における排ガス中の排ガス成分濃度を安定して測定することができる排ガス分析装置におけるセンサユニットを低コストで提供することである。
【解決手段】本発明の排ガス分析装置は、エンジンからの排気経路にセンサユニット１１を取り付け、エンジンから排出される排ガスにレーザ光を照射し、排ガス中を透過したレーザ光を受光し、受光されたレーザ光に基づいてガス中に含まれる成分の濃度を測定する。前記センサユニット１１のセンサベース１５に形成されている開口部１６に、周面にレーザ光通過部としての小孔４１が形成されていて内周面が排ガス通過口２１となる調整リング４０が着脱自在に嵌合して装着されている。 （もっと読む）

【課題】ガス通過口が形成されたセンサベースに前記ガス通過口を挟んで一対の反射鏡が対向して配置されているセンサユニットにおいて、反射鏡をセンサベースから容易にしかも安全に取り外すことができるガス分析装置。
【解決手段】ガス通過口内にレーザ光を照射する照射部と、該挿入口にその反射面が対向するように配置されていて前記レーザ光を反射させる反射鏡と、ガス中を透過したレーザ光を受光する受光部とからなるセンサユニットが、ガスの流路に設置され、前記照射部から照射したレーザ光をガス通過口内を流れているガス中を透過させた後に前記受光部で受光し、受光されたレーザ光に基づいて前記ガス中に含まれるガス成分の濃度を分析して求める。前記反射鏡は反射鏡ホルダで保持されて反射鏡カセットに構成されており、該反射鏡カセットがセンサベースに形成されている挿入口内に挿入されて固定されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】時間的に離間した、ガスの存在又は濃度の計測値を処理する方法を提供し、及びこの方法により、設計条件を変更することなく応答の振舞いを改善すること。
【解決手段】ガスセンサ装置（１００）に使用するための本発明の方法は、指数関数により時間特性を表現できる時間的に離間した計測値を処理する方法であって、計測値フィルタ（１０９）を使用する。時間的に離間した計測値を処理する方法を特定するために、時間間隔（Δt）で記録された検出器ユニット（１０８）の計測値が、同様に指数関数に従うが変更された時定数を有する、時間的に離間した出力関数（ｚ(t)）に変換される。出力値を計算するために、第１計測値と、第２計測値及び第１計測値間の加重差との合計が計算され、この合計値は出力値として使用される。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスに対し顕著な吸収特性を有する赤外線の所要波長において、赤外線の透過をカットする光学フィルタ（干渉フィルタ型のノッチフィルタ）を使用することにより、水の影響を受け難く、防曇膜の使用を許容して、小型化を可能にし、信頼性の向上と製造コストの低減を容易に実現することができるガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線を発光させる光源１８と、エアウエイアダプタ１０を透過した赤外線を反射および透過させるビームスプリッタ１２と、ビームスプリッタにより反射された赤外線を検出する第１の光検出器１４と、ビームスプリッタを透過した赤外線を検出する第２の光検出器１６とを備え、前記ビームスプリッタと前記第１または第２の光検出器との間に、被測定ガスに対し吸収特性を有する赤外線の所要波長において、赤外線の透過をカットする干渉フィルタ型のノッチフィルタ３０を設ける。 （もっと読む）