【課題】マルチスポットウエハ検査用照射サブシステムを提供する。
【解決手段】照射光ビーム３４を複数の光ビームに分離する回折光学素子３２と、前記複数の光ビームの光路に配置された補償回折光学素子４０であって、前記補償回折光学素子は、前記回折光学素子と同じ回折角度で符号が反転した回折次数を有する、補償回折光学素子と、前記補償回折光学素子から出る前記複数の光ビーム３６の光路に配置され、前記複数の光ビームのそれぞれの焦点を検査用ウエハ４６に個別におよび同時に合わせる、１つまたは複数の屈折光学素子４４と、を含む照射サブシステム。 （もっと読む）

【課題】ねじれビームを出射する小型の回折光学素子、並びに、小型の測距装置、及び小型の回折光学素子を用いた測距方法を提供する。
【解決手段】回折光学素子１３０は、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸からなる座標空間において、前記ｘ軸と平行な偏平面を形成しながら前記ｚ軸の方向へ進行する平行光の進行方向を、前記ｚ軸の方向へ所定の距離だけ進行した位置において、前記偏平面の前記ｘ軸と成す回転角度が所定の角度となるように変更する第１回折格子が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の色素からの蛍光を取得する場合において、各色素による蛍光のスペクトルが重なっている場合にも、それぞれの蛍光を取得することができるレーザ走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】レーザ光の波長を切り替える音響光学素子２０１と、音響光学素子２０１により切り替えられた波長のレーザ光が標本５に照射されることにより、標本５において発生した蛍光をスペクトル成分に分光する分光素子１１８と、分光素子１１８により分光されたスペクトル成分をそれぞれ検出する複数のセルを有する複数セル光検出器１１９と、音響光学素子２０１によるレーザ光の波長の切り替えに同期して複数セル光検出器１１９のゲインを切り替えるＣＰＵ１２２とを備えるレーザ走査型顕微鏡１を採用する。 （もっと読む）

【課題】 構造色による表示色について、高い色濃度が得られる表示部材の提供。
【解決手段】 表示部材は、構造色を発現する、球体およびマトリックスよりなる第１の周期構造体層と、この第１の周期構造体層において発現される構造色と同じ色域の構造色を発現する、球体およびマトリックスよりなる第２の周期構造体層とが、粒子配列による構造色を発現しない中間層を介して積層されてなる表示層を有することを特徴とする。この表示部材においては、前記第１の周期構造体層および前記第２の周期構造体層が、各々、反射スペクトルについて、｛（ベースライン強度）／（ピーク強度）−（ベースライン強度）｝×１００で表される白濁度が５０％以下であることが好ましい。 （もっと読む）

１つのパターンを投影する装置（１０）であって、１つの０次光線（３２）を有する第１の回折パターン（２３）を１つの表面（２４）の第１の区域（２２）に生成するために１つの入射光（２０）を回折するように構成された第１の回折光学素子（ＤＯＥ）（１２）を有する。第２の回折光学素子（ＤＯＥ）（１４）は第２の回折パターン（２９）を上記表面の第２の区域（２７）に形成するために上記０次光線を回折するように構成される。ここにおいて第１の区域と第２の区域は共同して上記表面（２４）を少なくとも部分的に覆う。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、スペクトルビーム結合のシステムおよび方法を提供するものであり、複数の分散素子をそれぞれ使って空間チャープ（揺らぎ）を複数の入力ビームレットの各々に適用し、前記空間チャープを取り除くように構成された分散素子を使用して前記空間チャープ済みのビームレットを単一の平行（コリメート）出力ビームへと結合するシステムおよび方法である。ある実施形態においては、各分散素子はレンズと組み合わされた回折格子であり、前記レンズは、前記回折格子に焦点を共有し、且つ光線スペクトル成分の横方向分散が生成されるフーリエ面にも焦点を共有する。最後のレンズ−回折格子ペアはレンズと回折格子を含み、前記レンズは前記回折格子に焦点を共有し、且つ前記フーリエ面にも焦点を共有するものである。
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【課題】波長変動が発生しても、複数の光束を安定して出射する。
【解決手段】光源装置２３ａは、３個の光源（ＬＤ１、ＬＤ２、ＬＤ３）、平面ホログラム素子ＰＨ１、及び３個の体積ホログラム素子（ＶＨ１，ＶＨ２，ＶＨ３）を有している。光源ＬＤ１からの光は、平面ホログラム素子ＰＨ１で回折された後、体積ホログラム素子ＶＨ１のみで回折される。光源ＬＤ２からの光は、平面ホログラム素子ＰＨ１で回折された後、体積ホログラム素子ＶＨ２のみで回折される。光源ＬＤ３からの光は、平面ホログラム素子ＰＨ１で回折された後、体積ホログラム素子ＶＨ３のみで回折される。そして、波長変動が発生しても平面ホログラム素子の回折角変動と各体積ホログラム素子のブラッグ角変動とが相殺されるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法でデザイン性やセキュリティ性に優れたホログラムを作製する方法を提供する。
【解決手段】 計算機を用いた演算により所定の記録面上に振幅情報と位相情報を記録してなる計算機合成ホログラム１を作製し、計算機合成ホログラム１に再生照明光３を照射して、計算機合成ホログラム１から再生像Ｏ’を再生させ、再生像Ｏ’近傍にホログラム記録材料２１を配置して反射型あるいは透過型の体積型ホログラム２１として記録することを特徴とする。 （もっと読む）

エレクトロホログラフィックディスプレイシステム５００が、コヒーレントコリメート光ビームを発生させるコヒーレント光源１３０と、光ビームを変調する空間光変調器（ＳＬＭ）１２０と、ホログラフィック画像が投影される画像面５８０とＳＬＭ１２０との間の光経路における光学ユニット３５０、４５０とを含む。一対の凸レンズ４６０、４７０を含んでいてもよい光学ユニット３５０、４５０は、ＳＬＭ１２０の画素２１０のピッチ２２０を実効的に減少させるように動作する。これにより、エレクトロホログラフィックディスプレイシステム５００は、画素ピッチ２２０が、ともすれば所望の回折範囲のために必要とされる画素ピッチよりも大きくなるＳＬＭ１２０を含むときでさえも回折の所望の範囲を表すことは可能になる。

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ブラッグ則に従って照射を回折するすかしを物品にマークする方法が開示される。この方法は、規則的で周期的な粒子のアレイを物品にマークする配置で、この物品に塗布する工程を含む。このすかしは、マトリックス中に固定された規則的で周期的な粒子のアレイを含む。このすかしは、視角により色を変化し得、ある視角では消え、他の視角ではまた現れたりし得、またはある角度での検出によって検出可能な目に見えない照射を回折し得る。 （もっと読む）