【課題】光学部材に対して過大な力が作用することを抑制できる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及び、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に対して吸着する吸着部と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、吸着部を変位させる変位機構と、変位機構から吸着部に伝達される変位量を縮小する弾性部とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、平面に沿って配列された集光レンズアレイと、集光レンズアレイの各々の集光レンズに対応して、特定の方向から集光レンズアレイに入射する入射光の焦点面をそれぞれ鏡面とする凹面反射鏡を有する凹面反射鏡アレイとを備え、特定の方向から入射する入射光は、集光レンズアレイを透過して、凹面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、板状のベース部材の両面に対で設けられる入射側レンズと射出側レンズを有する集光レンズを配列してなる集光レンズアレイと、集光レンズの各々に対応して、集光レンズの光軸に沿った特定の方向から入射する入射光の焦点面をそれぞれ鏡面とする凹面反射鏡を有する凹面反射鏡アレイとを備え、特定の方向から入射される入射光は、集光レンズアレイを透過して、凹面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、平面に沿って配列された集光レンズアレイと、集光レンズアレイの各々の集光レンズに対応して、集光レンズのレンズ面曲率中心とは異なる位置にそれぞれ中心を有する球面反射鏡を含む球面反射鏡アレイとを備え、対応する集光レンズと球面反射鏡の光軸に沿った特定の方向から入射する入射光は、集光レンズアレイを透過して、球面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】非平面が堅いキャリア上に直接形作られることを可能にする非平面要素を製造するための方法を提供する。
【解決手段】この方法は、ハイブリダイゼイションカラムによりキャリア上に柔軟な要素を適合させる段階であって、各カラムは第１高さを有し、及び柔軟な要素及びキャリアのそれぞれに追加される半田材料に対してぬれ性の二つの表面の間に形成された半田材料の体積を含んでおり、ぬれ性の表面は半田材料に対して非ぬれ性の領域により囲まれており、ぬれ性の表面及び半田材料の体積はカラムが形成される位置でキャリアに対して柔軟な要素に求められる第２高さに応じて決定され、そのようにしてカラムは、材料の体積がその融点より高いか等しい温度に導かれるとき、第１高さから第２高さまで変化する段階と、カラムの半田材料の体積を、それを溶解するために前記材料の融点より高いか等しい温度まで加熱する段階と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】撮影した画像を浮遊立像させ、該浮遊立像の前後左右の姿を裸眼で見ることができかつ直接に触れることのできる小型の装置を提供することである。
【解決手段】放物面を形成する鏡を上下に対設しそれぞれの中心部に開口部を有する放物面鏡と、該放物面鏡下部に配設され、下部放物面鏡開口部より放物面鏡内に一部を突出させた平板状のスクリーンと、該スクリーンを包囲するように周設され、一部に開口部が形成された円筒状の円筒部と、前記スクリーンと前記円筒部とを連結させて回転する回転ドラムと、該回転ドラムの回転軸を中心とする同一円周上に均等間隔で配設した複数のプロジェクターと、撮影画像の画像歪補正処理及び同時再生処理をするコンピューターとを含む手段からなる浮遊立体表示装置システムを構成することにより実現できた。 （もっと読む）

【課題】 例えばＥＵＶ光を用いる露光装置であって、高いスループットを達成することのできる露光装置。
【解決手段】 本発明の露光装置は、光源（１）より射出された光が集光する集光点（１ａ）からの光を用いて、第１面に設置される反射型のマスク（Ｍ）を照明する照明光学系と、マスクのパターンを第２面に設置される感光性基板（Ｗ）に投影する投影光学系（ＰＯ）とを備えている。集光点から投影光学系の光軸（ＡＸ）へ導いた垂線の長さをＤｈとし、第１面と第２面との光軸に沿った距離をＤｖとするとき、０．１２＜Ｄｈ／Ｄｖ＜１．３４の条件を照明光学系と投影光学系とが満足する。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドアップディスプレイ等の表示装置に用いられるミラーユニットに関し、コスト低減を実現し得るミラーユニットを提供する。
【解決手段】 樹脂からなる基板４３の前面部４４に反射膜４４ａが形成された反射ミラー４１と、この反射ミラー４１を回転軸線ＲＡを中心として回転駆動させ、反射ミラー４１の傾斜角度を調整する駆動手段４２とを有するミラーユニット４０において、基板４３の側面部４６には、反射ミラー４１を所定の取付部材であるハウジング５０に取り付けるための取付部４７が形成されてなる。 （もっと読む）

ファセットミラー（６；１０）は、マイクロリソグラフィにおける使用に向けて役立つ。ファセットミラー（６；１０）は、ＥＵＶ照明光（３）の部分ビームを導くための照明チャンネルを予め定義する複数のファセット（７；１１）を有する。ファセット（７；１１）の少なくとも一部は、アクチュエータ（３１；３５）を有する調節デバイス（３０；３４）を用いて、ファセット反射平面（ｘｙ；ｘ’ｙ’；ｘ’’ｙ’’）に垂直な移動成分（３２；ｄｚ’；ｄｚ’’）を伴って変位可能である。これは、ファセットミラーの使用中に達成すべき望ましい照明事前定義に準拠するように作られた所定の要件が従来技術と比較して低い製造費用で達成されるファセットミラーをもたらす。 （もっと読む）

【課題】平面鏡、凹面鏡に変化させることができる性能の優れたミラーを提供にする。
【解決手段】
曲率変化が可能な一枚構成の膜状ミラーシート４の周縁を枠状ホルダー３で把持、張設してなるミラー本体１と、前記枠状ホルダーを出没自在に収納、保持するようになったアンダーカバー３とからなり、前記膜状ミラーシート４とアンダーカバー２とによって形成される空間Ｓを気密状態に保持し、かつ気密状態の空間の圧力をかえてミラー面の曲率を変化させるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）