【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用され、露光ラチチュードに優れ、且つ、ラインエッジラフネス、パターンプロファイルが改良された感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ｉ）で示される（Ａ）活性光線又は放射線の照射により、特定構造の酸を発生する化合物及び（Ｂ）特定のベンズイミダゾール骨格を有する塩基性化合物を含有する感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法。
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【課題】高信頼性が要求される半導体装置でも十分使用できる高い伸度を有するポジ型感光性樹脂前駆体組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）一般式（１）および／または（２）で表される構造単位を主成分とするポリマー、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂前駆体組成物。


（式中、ＸおよびＹは加熱により−Ｘ−Ｙ−結合を形成しうる有機基を示す。） （もっと読む）

【課題】直線性が高く、剥がれや残さのない良好なブラックマトリクスパターンを容易に形成できる様にする。
【解決手段】感光性組成物において、光重合開始剤は式（Ｉ）に示すカルバゾール骨格を有する化合物とベンズイミダゾールに代表される窒素原子を有する複素環を含み、この複素環にメルカプト基が結合している化合物とを含有する。これらの化合物を含有することで、感光性組成物は光に対する感度が高くなり、パターンの現像マージンが大きくなる。この感光性組成物が遮光材料を含有する場合でも、直線性が良く、剥がれや残さのないパターンを容易に形成できる。
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【課題】フォトレジストの塗布ムラを低減し、密着性を向上し得る薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】 フォトレジスト法を用いてパターン化された薄膜を形成するに当たり、パターン化前の薄膜２００の一面を、乳酸エステルを含有する処理液３００で処理し、その後に、フォトレジストマスクを形成する。乳酸エステルとしては、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸メチルから選択された少なくとも一種を用いることができる。薄膜２００は、一面に水酸基を含むもの、具体的には、Ａｌ₂Ｏ₃を主成分とするものが適している。 （もっと読む）

【課題】 パターンの形成条件に影響されること無く，しかも現像時間が長いなどの厳しい現像条件であっても，優れたラインのパターニング性を確保し得る感光性ペースト、及びそれを用いて形成した焼成物パターンを提供すること。
【解決手段】 本発明の感光性ペーストは、（Ａ）無機微粒子、（Ｂ）有機バインダー、（Ｃ）光重合性モノマー、（Ｄ）光重合開始剤、(Ｅ)カップリング剤、及び（Ｆ）アルキルアンモニウム塩を含有することを特徴とし、前記アルキルアンモニウム塩（Ｆ）が、アルキルカルボン酸アンモニウム塩、アルキルスルホン酸アンモニウム塩、アルキル硫酸アンモニウム塩、及びアルキル燐酸アンモニウム塩から選ばれるいずれか少なくとも１種であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの被処理膜との密着性を向上して、パターンの形状不良を防止できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に、ヘテロ環式ケトンである4−ペンタンラクタムを含むレジストからなるレジスト１０２膜を形成し、続いて、レジスト膜１０２に対して露光光１０３をマスク１０４を通して照射することによりパターン露光を行なう。続いて、パターン露光されたレジスト膜１０２を現像することによりレジストパターン１０２ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】感光性平版印刷版の露光後の感光層と支持体との接着性を良好に維持すること
【解決手段】少なくとも１つのエチレン性不飽和、少なくとも１つの親水性部位及び少なくとも１つのシリルオキシ基を有する有機化合物によって表面改質されている変性シリカ粒子を感光性平版印刷版の感光層に配合する （もっと読む）

【課題】 レジストパターン形成性、導体パターン形成性、保存安定性に優れる感光性樹脂付き積層板を提供する。
【解決手段】 絶縁性樹脂層の片面、または両面に導体箔が積層された長尺状の構造体の少なくとも片面の導体箔上に厚さが１μｍ以上２０μｍ以下の感光性樹脂からなる層が積層された感光性樹脂付き積層板であって、感光性樹脂が、（ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００以上６００以下であり、かつ、重量平均分子量が２万以上５０万以下の線状重合体を含むバインダー用樹脂、（ｂ）光重合可能な不飽和化合物、ならびに（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）下記一般式（Ｉ）で表される化合物、を含有することを特徴とする長尺状の感光性樹脂付き積層板。
【化１】
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【課題】本発明は、銅および銅合金に対して腐食反応を引き起こさず、残膜の発生を防止し、さらに、膜の密着性、膜強度、感度も良好な電子材料用の感光性樹脂膜を提供することができる感光性樹脂組成物に関する。
【解決手段】（Ａ）酸性官能基、及び／又はその誘導置換基を有する重合体と、（Ｂ）光反応性化合物と、（Ｃ）溶媒と、（Ｄ）１Ｈ−テトラゾール、およびその誘導体からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物とを少なくとも含有させて感光性樹脂組成物を構成する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光による直接描画が可能であり、特に高感度、高耐刷性と保存安定性を両立させた平版印刷版原版に関する。
【解決手段】 親水性支持体上に、（ａ）増感剤、（ｂ）光重合開始剤、（ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および（ｄ）側鎖に架橋性基を有する高分子バインダーを含有する感光層および保護層を順次積層してなる平版印刷版原版であって、感光層中に含有される（ｃ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と（ｄ）側鎖に架橋性基を有する高分子バインダーとの質量比（（ｃ）／（ｄ））が０．２〜１．１５であることを特徴とする平版印刷版原版。 （もっと読む）