幾何的歪を補正するためにイメージングシステムの校正を調整する装置（１０）は、記録媒体（１７）を受ける回転ドラムと、複数のアドレス指定可能なイメージングチャネルを備えるイメージングヘッド（１６）をそれぞれ含む複数のキャリッジ（１８）と、他のイメージングヘッドの位置に基づいてあるイメージングヘッドのイメージングになされるべき補正のための調整に関連する解析的関係若しくはアルゴリズム、ルックアップテーブルを備えてプログラムされたコントローラとを含む。解析的関係若しくはアルゴリズム、ルックアップテーブルを得るための方法が開示される。本方法は、大型のイメージングシステムに関連する。
（もっと読む）

本発明は、幾何学的歪に係る調整が施されるよう記録装置（１０）を再校正する方法に関する。本方法は、媒体支持器（１２）上に記録媒体（１７）を配置するステップと、個別作動可能な記録チャネル（２３）を複数個有する記録ヘッド（１６）を作動させることで、媒体支持器上に存する記録媒体上に画像特徴を１個又は複数個発生させるステップと、媒体支持器上での記録媒体の姿勢を画像特徴記録時の第１姿勢（５０Ａ）とは別の第２姿勢（５０Ｂ）に変化させるステップと、第２姿勢で媒体支持器上に存する記録媒体から画像特徴の歪を検出するステップと、歪の検出結果に従い一部の記録チャネルの作動タイミングを調整するステップと、を有する。
（もっと読む）

【課題】 例えばロール・ツー・ロールで搬送される帯状の感光性基板の可撓性を利用しつつ、感光性基板へのパターンの転写にかかるスループットの向上を達成する。
【解決手段】 円筒面（ＲＬａ）を有し、感光性の基板（ＳＨ）を円筒面に沿って保持した状態で円筒面の軸線（ＲＬｂ）の方向に沿って移動する移動機構（ＲＬ）と、パターンを有する平面状のマスク（Ｍ）を保持し、基板の軸線の方向への移動に同期して、軸線の方向に対応する走査方向に沿って移動するステージ機構と、マスク上に照明領域（ＩＲ）を形成する照明光学系と、照明領域内のパターンの投影像を楕円弧状に延びる結像領域（ＥＲ）に形成する投影光学系（ＰＬ）とを備えている。円筒面の軸線は、結像領域が基板上においてマスクのパターン面とほぼ平行な面に沿って形成されるようにパターン面に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複雑な立体形状を有する金型であっても、密着性のよいフォトマスクが容易に作成でき、しかも繰り返し露光を可能とする再現性の高い位置決め精度を有する露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱間プレス成形用金型の表面に成膜したレジスト膜に、露光により所定のパターンを転写する真空圧空成形露光装置であって、レジスト膜が表面に成膜された成形用金型を気密に収容する気密容器と、前記成形用金型を載置する台座と、所定のパターンが形成されたシートを加熱して軟化する加熱機構と、軟化したシートを金型に被せた際にシート下面を台座に吸着させる吸引部と、前記吸引部に接続された吸引機構と、軟化したシートを前記成形用金型に吸着させた状態で当該シートにおける前記パターンをレジスト膜に露光する露光機構と、前記気密容器内を加圧する気体を供給する気体供給部と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】版材の特性の違いによる彫刻形状に生じるバラつきを回避し、所望の彫刻形状を形成することを可能とする製版装置及び印刷版製造方法を提供する。
【解決手段】版材のロットが変わった場合や版の経時変化が予想されると補正プロファイルを作製するモードへ移行する。先ず、使用している版材の種別やロットなどの識別情報が入力されると、識別情報からベースとなるプロファイルが読み出され試験彫刻が行われる。次に、試験彫刻が測定され測定結果が入力され、入力された測定結果に基づいて補正プロファイルが作製される。補正プロファイルは識別情報と関連付けされて所定の記憶部に記憶される。補正プロファイルが作製されると該補正プロファイルを用いた本番彫刻が行われるので、版材の固体差による彫刻形状のバラつきの発生が回避された好ましい印刷版が作製される。 （もっと読む）

【課題】露光中にワーク表面位置の変動を検出し、膜厚にむらのあるレジストでも適正な状態でワークを露光できる露光装置を提供する。
【解決手段】この露光装置１００は、ワーク（回転体）４を軸支する支持部（支持手段）７、８と、ワーク４を回転させるモータ（回転手段）３と、ワーク４表面を露光する露光光学系１と、ワーク４表面あるいは回転体表面に塗布されたレジスト膜（機能膜）表面の位置を検出する位置検出手段５と、位置検出手段５により検出された各表面位置と露光光学系１のフォーカス位置とのずれ量を計算する制御部（ずれ量計算手段）２と、を備え、支持部７、８及びモータ３はベース６上に固定されている。また、露光光学系１と直交する位置に位置検出手段５を配置している。 （もっと読む）

【課題】シームレスに印刷・転写可能な円筒状金型または円盤状金型にサブミクロンサイズのパターンを原画に忠実に描画することが出来るレーザー描画装置を提供すること。
【解決手段】フォトレジスト層を表面に有する回転する記録媒体と、光学台と、記録レーザーと、記録レンズを光学台上に備え、記録媒体が一回転する間に光学台が一定距離移動することにより記録媒体表面をレーザー光が連続的に走査して露光し、記録媒体表面に２次元的パターンをシームレスに描画するレーザー描画装置であって、レーザービームが記録すべき2次元パターンに基づくデジタル信号により変調されており、記録媒体が一回転する間に光学台が回転方向に直交する方向に移動する距離は、記録レーザーにより記録媒体上に形成されるマークの光学台移動方向の長さより小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】離散配置されてなるレーザーダイオードのいくつかが破損等の理由によって発光しない状態が生じても、継続的に使用可能なＣＴＰ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一部のチャンネルが非発光状態である場合には、正常時に露光ヘッドを移動させる基準区間の前後に設けられた補完区間においても露光ヘッドを移動させるようにしながら、非発光状態のチャンネルの存在位置に基づいて定められた、発光状態にある特定のチャンネルを用いて露光を行うように、チャンネル別露光データを生成し、移動手段によって、基準区間および補完区間において露光ヘッドを移動させつつ、露光制御手段がチャンネル別露光データに従って前記特定のチャンネルから露光用光を出射させることによって被露光領域を形成する。 （もっと読む）

データをディスク状データ記憶媒体(23,23')に転写するシステム(21)に関する。システムは、少なくとも部分的に内面シリンダの形態を有し、データ記憶媒体を配置する収容部(22,22')を含み、データ記憶媒体のデータを受取る面は、収容部のシリンダ軸(29)の方を向き、さらに、シリンダ軸を中心として回転可能であり、データをデータ記憶媒体(23)に転写する少なくとも２つの転写手段(24,24')を有する転写ヘッド(30)を含み、収容部と転写ヘッド(30)は、互いに一方が他方に対してシリンダ軸方向にも移動可能であり、少なくとも２つの転写手段は、多ビーム技術を用いてデータを転写するためのそれぞれのアレイの光源を含む。システムの特徴として、１つの転写手段(24)のアレイの光源の波長は、他の転写手段(24')のアレイの光源の波長と異なり、異なる波長の光を発生させるため転写手段(24,24')を交互にオンオフ状態を切換える制御ユニット(40)が設けられる。 （もっと読む）

【課題】曲面上においても露光を行うことができるリソグラフィ用のマスクを製造する方法を提供する。
【解決手段】表面形状の少なくとも一部が曲面である被加工物の表面を加工するために用いられるリソグラフィ用のマスクを製造する方法であって、リソグラフィを行う際に照射する光を透過しポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等からなる基板としての透明フィルム１１に遮光層としての所定のパターンを有するニッケル膜１４を形成する工程と、ニッケル膜１４が形成された透明フィルム１１を押圧することにより変形させ、被加工物の表面の少なくとも一部の形状に沿う形状にする工程と、を含むリソグラフィ用のマスク１０の製造方法。 （もっと読む）