【課題】優れたスループットを実現できる導電性素子を提供する。
【解決手段】導電性素子は、第１の波面および第２の波面を有する基体と、第１の波面上に形成された導電層とを備える。導電層は、導電パターン部を形成し、第１の波面および第２の波面が、０≦（Ａｍ１／λｍ１）＜（Ａｍ２／λｍ２）≦１．８（但し、Ａｍ１：第１の波面の振動の平均幅、Ａｍ２：第２の波面の振動の平均幅、λｍ１：第１の波面の平均波長、λｍ２：第２の波面の平均波長）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】マルチビーム露光において、安定して急峻化した凸小点形状を形成する。
【解決手段】複数の光ビームを同時に照射し、同一走査線を複数回露光することにより記録媒体の表面を彫刻するマルチビーム露光走査方法において、前記記録媒体の露光表面に残すべき目的の平面形状であって、四辺を有する矩形の平面形状の周囲の領域である第１の領域について少なくとも４回の走査を行い、それぞれ１回の走査において少なくとも前記四辺のうちの一辺に隣接する領域を露光するとともに前記一辺を順に変更することで前記第１の領域を全て彫刻するマルチビーム露光走査方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大型サイズの円筒表面に、直接ナノメートル大きさのパターンを大面積で刻むための円筒状の磁気浮上ステージ及び露光装置に関する。
【解決手段】本発明は、磁気浮上原理で円筒を浮上し、非接触で回転及び軸方向に移送しながら円筒表面に直接ナノメートル大きさのパターンを刻むことができる新しい形態のステージと、円筒表面に光を照射する光源とを具現することにより、ナノメートル大きさの誤差で位置を能動制御できるなど、機械加工による誤差及び外乱を実時間的に補正することができて、結局、大型サイズの円筒表面にナノメートル大きさのパターンを効率的に加工できると共に、ステージと組み合わされ、光源と円筒表面との間を、部分的に真空環境が保持されるようにする差動真空手段を具現することにより、Ｘ線や電子ビーム、極紫外線(EUV)のような光源を適用することができる円筒状の磁気浮上ステージ及び露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ロールを被覆するレジスト層上で隣接する露光マークの露光開始点を正確に制御し２次元的に自在な配置に大面積の露光パターンを作製可能な露光装置及び露光方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】レジスト層がロール表面を被覆してなるロール状の部材にレーザー光でパルス露光してレジスト層に複数の露光部からなる露光パターンを形成する露光装置において、ロール状部材をロールの中心を軸に回転させる回転制御部と、ロール状部材の回転方向における露光パターンをロール状部材の回転と同期した基準信号に基づいて制御し、ロール状部材の回転方向と垂直なロール長手方向に露光を繰り返す露光部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】円筒面のような立体表面に対して、円周方向に継ぎ目がなく、しかも軸方向に連続する微細凹凸構造の転写を実現する。
【解決手段】所定のマスクパターンを有する平板型フォトマスク面上に光を照射し、その透過光をすり鉢形状の開口穴を有する立体反射型ミラーによって反射させて、立体構造体の表面に塗布した光感光性材料に照射して露光させるとともに、この立体構造体を間欠的に供給することにより、立体構造体の表面上に、マスク面上のパターンを、継ぎ目が無く、しかも軸方向に際限なく連続したパターンとして転写する。 （もっと読む）

【課題】ドラムに対する刷版の供給および排出を円滑に行い、刷版に無理な力がかかったり傷めたりすることがない円筒外面走査装置を提供する。
【解決手段】ドラム４の周面からみて第１の方向に供給機構８が、第２の方向に収容機構９がそれぞれ設けられる。ドラム４への刷版３の供給および排出時にドラム４に押圧するスキージローラ１３は、ローラ移動機構１２により、第１の方向に対応した位置と、第２の方向に対応した位置との間で移動可能となっている。スキージローラ１３は、供給機構８から刷版３をドラム４に供給する際には、第１の方向に対応した位置でドラム４を押圧し、ドラム４から刷版３を収容機構９に収容する際には、第２の方向に対応した位置でドラム４を押圧させるように、ローラ移動機構１２により移動させる。 （もっと読む）

【課題】エッチング層の膜厚変動に対して露光範囲の大きさのばらつきが少なく、インプリント原版へのレーザーによる精密露光を可能とする積層構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の積層構造体は、波長３００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲における消衰係数Ｘが０．５以上１０以下である基材１１と、基材１１の上に設けられた光吸収層と、光吸収層１２の上に設けられたエッチング層１３と、エッチング層１３の上に設けられたレジスト層１４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】これらの背景に鑑みてなされたものであって、ファイバー状の細長い基体にマイクロ構造を形成するための技術を提供する。
【解決手段】 ファイバー状の細長い部材にフォトリソグラフィ技術によってパターンを転写するための露光モジュールであって、入口及び出口を有する筒状の空洞が設けられる透光性の基体と、前記筒状の空洞の壁面に設けられた遮光パターンとを有する、露光モジュールが提供される。好適には、このモジュールは、前記筒状空洞の入口及び出口付近に形成され、露光される部材を潤滑液を介して又は介さないで摺動可能に支持する部材支持部と、前記部材支持部より奥の部分に設けられ、前記部材支持部より筒径の大きな露光部とを有し、前記遮光パターンは前記露光部の洞壁面に設けられる。 （もっと読む）

記録ヘッド（１６）は、記録媒体（１７）に画像スワスの規則的なパターンを形成する。画像フィーチャーの規則的なパターンは、第１の所定値に設定されたイメージングパラメータを有して形成される第１の組の画像フィーチャー（６０Ａ）と、第１の所定値とは異なる第２の所定値に設定されたイメージングパラメータを有して形成される第２の組の画像フィーチャー（６０Ｂ）とを有する。第１の組及び第２の組における画像フィーチャーは、画像スワスの副走査空間周波数の非整数倍に等しい副走査空間周波数を有して記録媒体に配置される。スキャナ（４０）は走査パターンのデータ（４７）を生成し、スキャナによって用いられるサンプリング空間周波数の第１の整数倍は、第１の組及び第２の組の画像フィーチャーの副走査空間周波数の第２の整数倍に等しい。データは、第１の組及び第２の組の間のバンディングを表す定量値を決定するよう分析され、この定量値に基づきイメージングパラメータは調整される。
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【課題】異なる印刷機にも低コストで簡単に対応できて使い勝手がよく、また装置の破損のおそれがない版材取付装置、円筒外面走査装置、版材取付方法および画像記録方法を提供する。
【解決手段】記録ドラムに設けられる係合ピン２２，２３と、係合ピン２２，２３に係合されて位置決めされる取付補助部材１０と、前記取付補助部材１０に設けられ、刷版９に形成される嵌合孔１２と嵌合されて前記刷版９を位置決めする嵌合孔受けピン１３,１４と、取付補助部材１０を介して位置決めされた刷版９をドラムに固定する固定機構と、を備えているので、刷版９を印刷機に位置決め固定するための嵌合孔１２の位置や形状が異なる場合にも、その嵌合孔１２に対応する取付補助部材１０を用意するだけで対応できる。 （もっと読む）