【課題】蛍光Ｘ線の検出効率を高めるために、Ｘ線を発生するターゲットから試料までの距離、試料から蛍光Ｘ線の検出器の検出素子までの距離を可能な限り小さくすると共に、蛍光Ｘ線の取り出し角を可能な限り大きくした蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置を提供する。
【解決手段】対物レンズによって電子線をＸ線発生用のターゲットに集束させ、ターゲットから発生したＸ線を試料に照射することによって試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、検出器の検出結果から蛍光Ｘ線を分析する分析部とを具備した蛍光Ｘ線分析機能付き高分解能Ｘ線顕微装置において、検出器の全部又は一部を対物レンズの磁気回路内に組み込む。 （もっと読む）

【課題】軽元素から成る微小な試料に対しても充分な高分解能、高コントラストを得ることができ、in-situの状態で試料を観察することができるＸ線顕微装置を提供する。
【解決手段】電子銃の電子源からの電子線をＸ線ターゲットに当ててＸ線を発生させるＸ線発生手段と、試料に照射されたＸ線の透過Ｘ線を撮像素子で撮像する撮像手段とを具備したＸ線顕微装置において、Ｘ線発生手段は波長０．１〜１．２ｎｍの長波長の特性Ｘ線を発生し、Ｘ線ターゲットを真空封止するＸ線透過窓基材はベリリウムで成り、Ｘ線透過窓基材の厚さが１０〜６０μｍであると共に、撮像手段の試料室が密封構成であり、試料室にガスを充填して試料の透過画像を撮像手段で得る。 （もっと読む）

【課題】放射線法を用いる投影顕微鏡法を提供すること。
【解決手段】Ｘ線顕微鏡は、広域Ｘ線源と、テスト物体３および記録手段を配置する手段とを備え、これらの間にＸ線キャピラリレンズが配置される。Ｘ線キャピラリレンズのチャネルは、記録手段に向かって発散する。テスト物体を配置する手段は、広域Ｘ線源と、Ｘ線キャピラリレンズのより小さい端面との間に配置される。デバイスは、放射を伝達するためのヤネル（１４、１６）の壁がコーティングを有するか、または、Ｘ線放射を吸収または散乱させる材料から製作され、ならびに、切頭円錐または角錐の側面形状、または円柱または角柱の形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 波動光学理論に基づく位相回復法を利用し、実際の評価で使用する硬Ｘ線を用いてミラーにより集光された集光ビームの強度分布を用いることで、ミラー上の位相誤差分布、即ち、形状誤差を求めるＸ線波面計測法を提案し、それを利用してＸ線集光光学系を最適に調節する位相回復法を用いたＸ線集光方法及びその装置を提案する。
【解決手段】 反射Ｘ線の波面を微調節可能な波面調節能を有するＸ線ミラーを備え、焦点近傍でのＸ線強度分布を測定し、Ｘ線ミラー近傍でのＸ線強度分布を測定し若しくは入射Ｘ線の既知のＸ線強度分布を用い、焦点近傍でのＸ線強度分布と反射面近傍でのＸ線強度分布から位相回復法を用いて反射面での複素振幅分布を算出し、この複素振幅分布からＸ線集光光学系の波面収差を算出し、この算出した波面収差を最小にするように波面調節能にてＸ線ミラーの反射面を制御する。 （もっと読む）

【課題】
生きたままの細胞を観察するには細胞の大部分を占める水に吸収されることのない軟X線を用いその透過像を１００nｍ程度の高空間分解能で動画として記録し、立体像を構築し、さらには可視域顕微鏡との同時観察を可能とするコンパクトな装置が必要である。
【解決手段】
短パルス電子線あるいは短パルスレーザーを金属ターゲットに衝撃させることにより発生するX線を多層膜コーティングX線ミラーで反射させることにより水に吸収をほとんど持たない水の窓波長の光としこれを用いて顕微鏡光学系を縦方向の軟X線光軸を持つようにコンパクトに組み上げるとともに生きたままの細胞を観察できるホルダー並びにホルダ内細胞をレーザー光を用いて非接触法により顕微鏡焦点に保持するとともに、これを用いて細胞を回転し、多方向より細胞透視像を取得し、立体像を構築する装置を構築した。 （もっと読む）

【課題】非破壊で試料内部の情報を高解像度で取得し良／不良の判断を行うことができ、検査時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】電子線またはＸ線を試料（１０３）に照射し、試料からの蛍光Ｘ線をゾーンプレート（１１０）を用いて集め検出器（１０５）で検出し、検出器（１０５）からの電気信号をＡ／Ｄコンバータ（１０６）でデジタル信号に変換し、不良判断部（１０７）で良／不良を判断し、不良の場合、画像処理部（１０７）で画像処理し、画像表示部（１０９）に表示する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡によって検出した分析位置におけるＸ線分析において、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを要することなくＸ線分析を行う。
【解決手段】光学顕微鏡の対物レンズと、Ｘ線分析装置のＸ線発生器とを、同一光軸上で切り換え自在とすることによって、光学顕微鏡によって検出した分析位置に対して、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを行うことなく、同じ試料位置のままでＸ線発生器からの一次Ｘ線を照射し、試料から放出される特性Ｘ線を検出しＸ線分析する。複合装置１は、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３とを備えると共に、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３が共有する回転自在のレボルバ５を備える。 （もっと読む）

【課題】 超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、ターゲット切替機能、高精度の電子プローブ制御機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの優れた機能を搭載したＸ線顕微検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、異なる波長のＸ線を発生する複数のＸ線発生用ターゲットとを具備し、検査目的に応じて前記Ｘ線発生用ターゲットを切替えて当該波長の特性Ｘ線を発生できるように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの機能を搭載する。 （もっと読む）

【課題】従来のＳｉＮ基板よりも剛性が高く、Ｘ線透過率およびＸ線照射耐性に優れた、Ｘ線光学素子用の基板を実現する。
【解決手段】Ｘ線を透過する材料からなる基板と、この基板上に形成された、Ｘ線を吸収する材料からなる吸収体とを有するＸ線光学素子において、基板材料として、Ｘ線透過率が従来のＳｉＮとほとんど同じで、ヤング率が３倍大きく、Ｘ線照射耐性が非常に高いＳｉＣを用いる。 （もっと読む）

【課題】極微細で高精度なＸ線光学素子用の吸収体パターンを実現する。
【解決手段】Ｘ線用吸収体の構成材料の少なくとも一部をＴａ化合物とする。Ｔａ化合物としては、酸化Ｔａあるいは窒化Ｔａがある。 （もっと読む）