【課題】ターゲット破片の影響がなく、長時間連続使用でき、小型化が可能な軟エックス線顕微鏡装置。
【解決手段】テーブル１０と；テーブルの上端に設けられ、内部に分離隔壁２２が形成されたハウジング２０と；ハウジングの分離隔壁より下側に設けられ、高圧で噴射される液体に光源を照射してプラズマを形成する光源チェンバー３０と；ハウジングの分離隔壁より上側に設けられ、生体試料が貯蔵されるホルダ部４２０の上下側に、各々第１および第２ミラー部４１０、４３０が設けられ、光源チェンバーで形成されたプラズマによって生成された軟エックス線が生体試料を照明し、生体試料を透過した軟エックス線を増幅してこれを撮像チェンバーで映像が獲得されるようにするミラーチェンバー４０と；ハウジングの上端に設けられ、ミラーチェンバーで増幅された光映像信号を増幅し、外部で識別できるように外部画面に撮像する撮像チェンバー５０と；で構成される。 （もっと読む）

【課題】 明視野・暗視野観察を容易に切替え可能で、かつシステム構成が簡便なＸ線顕微鏡及び顕微鏡の提供。
【解決手段】
Ｘ線顕微鏡１は、Ｘ線を発するＸ線源１０、照明用斜入射ミラー２０、結像用斜入射ミラー３０、Ｘ線検出器４０及び移動手段５０を備えている。照明用斜入射ミラー２０は回転楕円面２１及び回転双曲面２２を有し、Ｘ線源１０から発せられたＸ線を回転楕円面２１及び回転双曲面２２のうち少なくとも一つにより反射して試料６０に照射する。結像用斜入射ミラー３０は試料６０に照射されたＸ線のうち入射領域３５に入射したＸ線を受光面４１の位置に結像させる。Ｘ線検出器４０は結像用斜入射ミラー３０により結像されたＸ線を受光面４１において検出する。移動手段５０は明視野観察を行う第１の位置と暗視野観察を行う第２の位置との間を、照明用斜入射ミラー２０を光軸Ｌ方向に移動させる。 （もっと読む）

この単色Ｘ線源は、ある元素を有する放出原子を含む材料からなるターゲットを特に含み、前記原子は、電子線照射によって必須的に前記原子のＫ層に位置する電子が励起される。前記材料は、通常固体状態であり、前記放出原子に束縛される、１つまたは複数の元素を表す構造化原子を用いて結合され、前記構造化原子は、前記放出原子によって放出される前記Ｘ線において２．３μｍ^−１以下の吸収係数を有する。前記構造化原子の原子番号は、前記放出原子の原子番号より小さい。
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【課題】 ２．３ｎｍ−４．４ｎｍの波長を持つ水の窓領域の軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線発生装置であって、小型で安価な軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】 電子銃１、ターゲット２、回転装置３、ターゲット容器４からなる軟Ｘ線発生装置において、チタンもしくはカルシウムと酸素もしくは窒素とからなる金属−非金属化合物でターゲット２を形成し、電子銃１から４ＫｅＶ−８ＫｅＶの電子ビームを発生してターゲットに照射し軟Ｘ線を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 ＳｉとＭｏを含む物質を積層して形成される多層膜の酸化を抑制することが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 ガラス基板１の上にＭｏ層１１とＳｉ層１２が交互に成膜され、最上層のＳｉ層１２の表面が水素終端化処理Ｓｉ１３となっている。そのため、最上層のＳｉ層が酸化されにくくなり、コンタミネーションを酸化除去するために酸化剤を流した場合に、反射膜が酸化されて反射率が低下することが抑制される。なお、Ｓｉ層１２の表面の水素終端化処理は、フッ酸処理により行うのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生に基づく放射光をより効率的に取り出すことが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】コイル６Ａ，６Ｂによって、初期プラズマＰ１が生成される以前から、Ｚ軸方向に沿って磁場Ｂｚを印加する。また、磁場調整部７によって、この印加磁場Ｂｚの強度を調整する。プラズマの収縮速度が緩和されると共に、その緩和の度合いが調整可能となる。よって、プラズマの最大収縮持続時間が長くなる度合いも、任意に調整可能となる。 （もっと読む）

光を発生する装置は、プラズマ放電領域（１１２）を有し、イオン性媒体を含む室（１０４）を備える。この装置は、さらに、プラズマ放電領域（１１２）の一部を囲む磁気コア（１０８）も備える。この装置は、さらに、エネルギーの少なくとも１つのパルスを磁気コア（１０８）に供給し、プラズマ放電領域（１１２）内に形成されるプラズマに電力を送るためのパルス電力システム（１３６）も備える。プラズマは、局所的高輝度ゾーン（１４４）を有する。
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リキッドジェット型Ｘ線発生装置１の光源チャンバー１０内には、ノズル１１やミラー１５が配置されている。光源チャンバー１０の外壁部には、フランジ部材２０が設けられている。このフランジ部材２０には、ノズル１１の配管１３基端側が取り付けられており、同部材２０を取り外すことにより、ノズル１１を光源チャンバー１０外に取り出すことができる。リキッドジェット型Ｘ線発生装置１において、最も交換頻度の高い素子はノズル１１であるが、ノズル１１を交換する際にはフランジ部材２０を取り外すだけでよく、ノズル１１よりも交換頻度の低いミラー１５等を取り外す必要がない。
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本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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本発明は、光軸（５）との関係で正確な位置に配置された複数のミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）を備えた、短波長、特に波長λ＜１５７ｎｍのための投影レンズ（１）に関する。ミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）は、多層膜を備えている。熱膨張係数のゼロ転移温度周辺の温度に応じて、熱膨張係数の傾き、具体的にはその値の符号が異なる少なくとも２つの異なるミラー材料が用いられる。
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