【課題】 高周波信号の切り替えを行うマイクロマシンスイッチにおいて、スイッチ機構の構成が簡単で且つ高周波信号を効率良く遮断することで、低消費電力且つ高信頼性を実現することを目的とする。
【解決手段】 基板上に形成された信号線路導体１２と、高周波信号の通過を遮断する駆動短絡機構１５と、制御信号を与えることにより駆動短絡機構１５を変位させる駆動手段である圧電体１６とを備え、圧電体１６に制御信号として電圧を印加することで、信号線路導体１２と接地導体１３とが駆動短絡機構底面の導電層１７を介して短絡し、高周波信号を効率良く遮断することができる。 （もっと読む）