【課題】構造が簡易で製造がしやすく、コンパクトな構成にでき、かつ情報信号や電流のオン、オフがノイズに影響されにくく、確実にオン、オフ切り替えを行えるＲＦ−ＭＥＭＳスイッチとする。
【解決手段】カンチレバー部２を取り付ける下部基板３と固定側ＲＦ入、出力信号伝送路４、５があるカバー側の上部基板を組み立ててなるスイッチである。下部基板３が備えるカンチレバー部２は圧電アクチュエータを構成し、一端を下部基板３に固定し、コンタクト部６を上面に備えた他端が上下方向に揺動可能である。カンチレバー部２が上方へ曲がるとコンタクト部６も上方へ移動し、上部基板にあるＲＦ入力信号伝送路４と出力信号伝送路５の双方へ当接し、両伝送路４、５を導通させる。またカンチレバー部２の揺動部分の下側には下部基板３が存在せず、空間となる構造とする。 （もっと読む）

【課題】駆動部の反りに起因する構造のバラツキの抑制が可能で、安定した電気特性を有するとともに、低消費電力化にも有効な圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ１０は、圧電体層１６の表裏にグランド（下部電極）１４及び上部電極１８が形成された対向する一対のカンチレバー２０，２２が、基板１２に片持ち梁状に支持された構造である。短いカンチレバー２２上には、信号線３６と接点電極２４が形成される。長いカンチレバー２０上に形成された信号線３４は、接点電極２４と接触可能な長さに延設される。信号線３４は、第１のカンチレバー２０の反りに従うため、無電圧負荷状態において接点電極２４を押さえつけてスイッチＯＮ状態を維持し、電圧印加状態では初期状態と反対方向に反るカンチレバー２０に追随するため、接点電極２４から離れてスイッチＯＦＦ状態となる。 （もっと読む）

ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳデバイス（２００）の可動構造（２０３）は、第１熱応答特性と第１機械応力応答特性とを有する機械層（２０４）を備えた機械構造と；第２熱応答特性と第２機械応力応答特性とを有する作動構造（２０２）と；第３熱応答特性と第３機械応力応答特性とを有する第１補償層（２０６）と；第４熱応答特性と第４機械応力応答特性とを有する第２補償層（２０７）とを有する。第１補償層（２０６）と第２補償層（２０７）とは、可動構造（２０３）の運動が温度変動に依存しないように、機械構造（２０４）と作動構造（２０２）とによる熱効果を補償するように構成される。かつ第１補償層（２０６）と第２補償層（２０７）とは、ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳデバイスが非アクティブ状態のとき可動構造が所定量だけ歪むように、機械構造（２０４）と作動構造（２０２）とによる応力効果を調整するように構成される。
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半導体基板（２１０）上に形成されたマイクロまたはナノ電気機械トランスデューサデバイス（２００）は、作動構造の作動に応答して運動可能に構成された可動構造（２０３）を有する。可動構造（２０３）は、第１熱応答特性を有する少なくとも１層の機械層を備えた機械構造（２０４）と、第１熱応答特性とは異なる第２熱応答特性を有する作動構造（２０２）の少なくとも１層と、少なくとも１層の熱補償層を備えた熱補償構造（２０６）とを含んでいる。熱補償構造（２０６）は、少なくとも１層の作動構造（２０２）とは異なり、可動構造（２０３）の運動が実質的に温度変化には依存しないように、機械層（２０４）と作動構造（２０２）とによって生み出される熱効果を補償するように構成されている。
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【課題】電極と接点部材との接触抵抗を低減する。
【解決手段】スイッチは、基板１１上に設けられた電極１４と、基板１１上に設けられたアンカー１５と、アンカー１５に支持され、かつアンカー１５から第１の方向に延在するように電極１４の上方に設けられ、かつ導電体からなり、かつ下方向に動く可動構造１６と、可動構造１６の外周部に設けられ、かつ導電体からなり、かつ電極１４に向かって反っている接点部材１７とを含む。 （もっと読む）

【課題】過酷な環境下でも機能し得る、信頼性があり費用効果が高いＭＥＭＳおよびＭＥＭＳアレイ。また、既存の集積回路製造設備と適合する技術を用いて製造可能なＭＥＭＳアレイ。
【解決手段】電気部品１００は、開位置と閉位置との間で互いに移動可能な少なくとも２つの電気接点１０２，１０６を備え、電気接点１０２，１０６のうちの少なくとも１つは仕事関数が約３．５ｅＶ未満である材料からなり、閉位置での電気接点間の間隔は０ｎｍ〜約３０ｎｍである。また、前記電気接点１０２，１０６は、セシウム、カリウム、ナトリウム、バリウム、カルシウム、窒化ガリウム、マグネシウム、アルミニウム、銀、シリコン、二酸化チタン、ダイアモンド状炭素（ＤＬＣ）、金、ルテニウム、またはそれらの組み合わせからなる材料を含む。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構造により、オン状態からオフ状態に切り換えたときに接点間が短絡するのを防止可能な接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置は、ベース基板１の一表面側に形成されたチャンネル形成用溝部１ｂの内面とカバー５とで囲まれた空間からなるチャンネル２ｂの一部、および上記一表面側に形成されたチャンバ形成用凹部１ａの内面とカバー５とで囲まれた空間からなるチャンバ２ａに液体金属３が収納されるとともに、チャンネル２ｂ内においてチャンバ２ａ側とは反対側の端部側に非導電性の気体が収納されている。そして、チャンネル２ｂ内において上記端部とチャンネル形成用溝部１ｂの延長方向に離間して設けられた一対の隣り合う接点４１，４２の間の部位でチャンネル２ｂに連通する側路１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】配線の寄生容量を低減することで、容量比または絶縁特性を向上し、また、気密性試験の精度を向上するＭＥＭＳ装置を提供する。
【解決手段】微小電気機械システムが設けられた基板と、前記基板に接合され微小電気機械システムを気密封止する封止キャップであって、微小可動構造体１１３を主構成要素とする微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）１３０に対向する第１主面側に設けられ、前記微小電気機械システム１３０を収容する第１凹部２０８と、前記微小電気機械システムの電極と接続され、前記第１主面に対して略垂直な方向に延在する複数の埋め込み電極２０７と、前記第１主面側において、隣接する前記埋め込み電極２０７どうしの間に設けられ第１凹部２０８と連通した第２凹部２０９と、を有する封止キャップと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】材料の応力による反りを抑制し、電気特性のばらつきを小さくすることが可能なMEMSスイッチを提供する。
【解決手段】スイッチは、一端又は両端が基板に固定された板状の弾性体と、弾性体の上面に形成される下部電極と、下部電極の上面に形成される圧電体と、圧電体の上面に形成される上部電極とを有する駆動部８ａ，８ｂと、駆動部の一部に形成された接点８ｃと、少なくとも一端が基板に固定され且つ接点上に延伸している信号線３ｂと、駆動部８ａ，８ｂを支持するように基板に接合され且つ絶縁体で構成された係止部９とを有する。駆動部８ａ，８ｂが接点８ｃを介して信号線３ｂと接することができるようになっており、係止部９が信号線３ｂと反対の側から駆動部８ａ，８ｂを支持するようになって。例えば穴、切り欠き部などにおいて、係止部９が駆動部８ａ，８ｂを支持するような構成となれば、材料の応力による反りを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】材料の応力による反りの影響を抑えることができるMEMSスイッチを提供する。
【解決手段】本願のMEMSスイッチは、開口部を有する基板と、圧電体層と当該圧電体層の上下に電極層とを有する圧電駆動部が一方の面に形成され且つ少なくとも一端が基板に固定された駆動アームと、信号線と当該信号線の下部の一部に駆動アームと同じ層とを有し且つ少なくとも一端が基板に固定された固定アームとを有する。そして、駆動アーム及び固定アームが、基板の開口部の一部を覆っており、固定アームにおける信号線が、駆動アーム上に延伸しており、駆動アームと重なる部分において駆動アームと接することができるようになっているものである。このように固定アームが駆動アームと同じ層を有するような構成となれば、駆動アームの反りと同程度の反りが固定アームにも生じるため、材料の応力による影響を抑えることができる。 （もっと読む）