【課題】圧電式アクチュエータのそり量を抑制するスイッチ装置を提供する。
【解決手段】スイッチ装置１００は、第１接点１２２ａ，１２２ｂが設けられた接点部１２０と、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２ａ，１２２ｂと接触または離間させるアクチュエータ１３０と、を備え、アクチュエータ１３０は、駆動電圧に応じて伸縮してアクチュエータ１３０のそり量を変化させる第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６と並行して設けられ、第１圧電膜１３６に駆動電圧を印加しない状態におけるアクチュエータ１３０のそりを抑える第２圧電膜１３８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】導通状態におけるスティクションの発生を抑制できると共に導通状態において安定した信号伝送を行えるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳスイッチの第１固定端子１６ａ及び第２固定端子１６ｂは、これらとは別要素である変形ガイド２５ａにより可動端子１５に向けて押圧されることによって、各々の端縁が可動端子１５に最も近づき、且つ、端縁を除く部分が可動端子１５から徐々に離れた形状に変形しており、前記可動端子１５は導通状態において第１固定端子１６ａの端縁及び第２固定端子１７ａの端縁に線接触するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】導通状態におけるスティクションの発生を抑制できると共に導通状態において安定した信号伝送を行えるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳスイッチ１０-1の第１固定端子ＦＴ１１及び第２固定端子ＦＴ１２は各々の端縁が可動端子ＭＴに最も近づき、且つ、端縁を除く部分が該端縁よりも可動端子ＭＴから離れた断面形状を成していて、導通状態において可動端子ＭＴは第１固定端子ＦＴ１１及び第２固定端子ＦＴ１２の端縁に線接触する。 （もっと読む）

【課題】ＯＮ／ＯＦＦ動作回数を重ねても擬着が発生しない接点を有するスイッチ。
【解決手段】第１接点および第１接点と接触する表面に保護導電層が設けられた第２接点を備えるスイッチ装置であって、第１接点および第２接点を接触または離間させる可動部と、保護導電層に対して保護用の金属を補う金属供給部と、を備えるスイッチ装置、試験装置、スイッチ方法、および製造方法を提供する。第２接点は、接点用の金属を含む接点層を有し、金属供給部は、第１接点とは反対側から接点層を介して第１接点側へと保護用の金属を析出させる。 （もっと読む）

【課題】圧電体を用いたアクチュエータの反りを防止し、歩留まりを向上させ、信頼性が高く、耐久性のあるアクチュエータ及びアクチュエータ構造体を提供する。
【解決手段】アクチュエータ50は、厚さ０．５μｍ以上２０μｍ以下の振動板24の第１面側に、振動板24から応力を受けている圧電体層30と、圧電体層30を挟んで対向する電極対26、33とが設けられている。また、圧電体層30が形成されている振動板24の第１面と反対側の第２面側に、圧電体層30が受けている応力と同じ方向の応力を振動板から受けている応力調整層25が設けられている。 （もっと読む）

【課題】確実なスイッチオンオフ動作を保証するとともに、高周波応答性に優れ、信頼性の高いＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】本発明による圧電ＭＥＭＳスイッチ(10)は、ベース基板(12)に対して空隙(24)を介して対向して配置される振動板(20)と、振動板(20)の第１面（20A）に第１下部電極(32)、第１圧電体(34)、第２上部電極(36)が積層形成されて成る第１圧電駆動部(30)と、振動板(20)の第２面(20B)に第２下部電極(42)、第２圧電体(44)、第２上部電極(46)が積層形成されて成る第２圧電駆動部(40)と、ベース基板(12)の空隙(24)側に設けられた固定電極(14)と、固定電極(14)に対向して振動板(20)に固設され、当該振動板(20)の変位に伴い固定電極(14)に接離する可動電極(18)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡易で歩留まり低コスト化を可能とする圧電駆動型ＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】第１の基板１０の可動部１６となる領域上に可動部１６の一部として設けられた圧電体膜２２と、圧電体膜２２を挟むようにして配設された一対の電極２１、２３とからなる圧電駆動部２０により駆動されて凸状に変位する可動部１６を一部に備え、該可動部１６の表面中央部に可動電極２５が設けられてなる第１の基板１０と、第１の基板１０に接合された、可動電極２５と所定間隔で対向する固定電極３５を支持する第２の基板３０とから、圧電駆動型ＭＥＭＳ素子１を構成する。 （もっと読む）

【課題】接点間を開成する際におけるアークの発生を防ぐことのできる液体金属リレーを提供する。
【解決手段】固体金属から成る２つの互いに異なる抵抗値を有する第１の固定接点１ａ，１ｂを備えた第１の固定接点部１と、固体金属から成る２つの互いに異なる抵抗値を有する第２の固定接点２ａ，２ｂを備えた第２の固定接点部２と、各固定接点部１，２と接離する液体金属から成る可動接点３と、可動接点３が両固定接点部１，２と接触導通する位置と可動接点３が両固定接点部から離間する位置との間で可動接点３を進退自在に移動させる駆動素子４とから成り、各固定接点１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂを、固定接点部１，２間を開成する際に抵抗値の低い固定接点から順に可動接点３から離れるように配設した。 （もっと読む）

【課題】接点間を開成する際におけるアークの発生を防ぐことのできる液体金属リレーを提供する。
【解決手段】液体金属から成る固定接点２と、固定接点２に接離する固体金属から成る可動接点１と、可動接点１を固定接点２に対して接離自在に移動させるアクチュエータ３とを備え、可動接点１は、固定接点２から離れた側に設けられて接点間の閉成時に固定接点２と接触導通する低抵抗部１０と、低抵抗部１０よりも固定接点２に近い側に設けられて低抵抗部１０よりも高い抵抗値を有する高抵抗部１１とから成る。 （もっと読む）

【課題】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子の、バリキャップのＱ値の増加、又はスイッチの通過損失の低減を目的とする。
【解決手段】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子は基板と前記基板上に梁の一方の端部を固定して、梁の少なくとも一部を中空状に保持する固定部と、下部電極膜と，前記下部電極膜上に形成された下部圧電膜と，前記下部圧電膜上に形成された中間電極膜と，前記中間電極膜上に形成された上部圧電膜と，前記上部圧電膜上に形成された上部電極膜とを有する梁と，前記梁の下部電極膜及び上部電極膜と，中間電極膜との間に電圧を印加する電源部と，前記梁の固定部とは反対側の端部と電気回路を構成する基板上に配置された固定電極とを備え，前記下部電極膜，前記中間電極膜，前記上部電極膜のうちいずれか１つ又は２つの電極膜が他の前記電極膜より厚いことを特徴とする。 （もっと読む）