【課題】伝送損失の低減を図れ、且つ、アイソレーション特性の向上を図りながらも接圧を大きくすることができるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】ベース基板１の厚み方向の一表面上に形成され一端部が固定接点２５，２５となる一対の信号線３４，３４と、可動接点２５が一対の信号線３４，３４の上記一端部間の隙間３６に嵌入されるように可動接点２５を上記厚み方向を駆動軸方向として変位させる駆動手段とを備える。各固定接点３５，３５および可動接点２５は、駆動軸方向に直交する水平面に対して傾斜し互いに当接する傾斜面３５ａ，３５ａ，２５ａが形成されてなり、可動接点２５が隙間３６に嵌入されたときに一方の固定接点３５と可動接点２５と他方の固定接点３５とで構成される導体部における信号の伝送方向において連続的な表面が形成され、駆動手段は、静電アクチュエータ５と圧電アクチュエータ４とで構成される。 （もっと読む）

【課題】可動接点と両固定接点との間の寄生容量を低減できるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、ベース基板１の厚み方向の一表面側に形成され固定接点３５，３５を有する一対の信号線３４，３４と、ベース基板１の上記一表面側に一端部が固定され他端部に両固定接点３５，３５に接離する可動接点２５が設けられた可動板部２１とを備える。可動板部２１は、ベース基板１の厚み方向において可動接点２５と両固定接点３５，３５とが重ならず可動接点２５と両固定接点３５，３５との間の距離が規定距離となるようにベース基板１側とは反対側に凸となる湾曲した形状に形成されており、可動板部２１におけるポスト部２２以外の部位がばね部２６を構成する。駆動手段は、圧電駆動型アクチュエータ４と静電駆動型アクチュエータ５とで構成され、可動板部２１のばね部２６を変形させることで可動接点２５を両固定接点３５，３５に接離させる。 （もっと読む）

【課題】第１の接点電極と第２の接点電極との間の寄生容量を低減できるとともに駆動電圧の低電圧化を図れ、且つ、接触信頼性を向上できるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、ベース基板１の上記一表面側に設けられ第１の接点電極３５，３５を有する一対の信号線３４，３４と、第１の接点電極３５，３５の厚み方向において第１の接点電極３５，３５に重ならず且つ第１の接点電極３５，３５に対して上記厚み方向から傾いた斜め方向に配置された第２の接点電極２５とを備え、第２の接点電極２５と第１の接点電極３５，３５とが接離するように第２の接点電極２５を変位させる駆動手段として、上記厚み方向を駆動軸方向とする縦方向駆動部を構成する圧電駆動型アクチュエータ４と、上記厚み方向に直交する方向を駆動軸方向とする横方向駆動部を構成する静電駆動型アクチュエータ５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】可動接点と両固定接点との間の寄生容量を低減しつつ、より低消費電力で所望の接圧を確保することが可能なＭＥＭＳスイッチおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】構造体部２は、ベース基板１の厚み方向に直交する面内の中央部に可動接点２５が設けられ、支持部２２が平面視において可動接点２５を中心として可動板部２１を囲む仮想四角形ＶＳの４つの角それぞれに設けられ、可撓部２３が仮想四角形ＶＳの各辺のうち固定接点３５，３５の並設方向に直交する辺に沿って配置され、可撓部２３における支持部２２側とは反対側の端部が上記並設方向に沿った連結部２８を介して可動板部２１と連結され、圧電アクチュエータ４は、可動接点２５を中心として４つの可撓部２３それぞれの同じ位置に設けられ、静電アクチュエータ５は、上記並設方向において隣り合う可撓部２３，２３の間に設けられ、圧電アクチュエータ４よりも平面視の面積が大きい。 （もっと読む）

【課題】低消費電力化を図りつつ、可動接点と両固定接点との間の寄生容量を低減でき且つ所望の接圧を確保できるＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】一対の固定接点１５，１５が設けられたベース基板１１と、ベース基板１１の一表面側に固定されたポスト部１２，１２に支持され可動接点１４が形成された可撓部１３とを備える。両固定接点１５，１５を短絡する向きに可動接点１４を変位させる駆動手段として、可撓部１３におけるベース基板１１側とは反対側に設けられ互いに分極方向の異なる２層の圧電層１６ａ，１６ｂを一対の電極１６ｃ，１６ｄ間に有するバイモルフ型の圧電アクチュエータ１６と、ベース基板１１の上記一表面側において可撓部１３に対向する部位に設けられた固定電極１７ａおよび可撓部１３における固定電極１７ａ側とは反対側に設けられた可動電極１７ｂを有する静電アクチュエータ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノイズの低減を図ることができ、しかも固定接点と可動接点とを安定して接触させることができる微小電気機械スイッチを提供することにある。
【解決手段】微小電気機械スイッチは、厚み方向の一面側に可動接点２が設けられた台部１０および一端が台部１０に他端がベース基板７にそれぞれ固定された可撓性を有する支持アーム部１１を備えた可動接点支持台１と、台部１０の上記一面側において可動接点２に対向配置された一対の固定接点３と、台部１０を一対の固定接点３側に移動させる駆動部４とを備え、駆動部４は、台部１０の厚み方向の他面側において台部１０に対向する形でベース基板７に固定された可撓性を有する押圧部５と、給電されると押圧部５に台部１０の上記他面を押圧させるアクチュエータ６とを有し、押圧部５において台部１０の上記他面と対向する部位には、台部押圧用の複数の突起５１が形成される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの動作精度を高めることを目的とする。
【解決手段】表面に穴１６を有する枠体１７と、穴１６の上方に配置された伝送電極部１８と、この伝送電極部１８の両端にそれぞれの一端が連結されるとともに、他端を枠体１７に支持された駆動部２０とを備え、この駆動部２０は、下部金属層２１と、この下部金属層２１上に形成された圧電膜２２と、この圧電膜２２上に形成された上部金属層と、この上部金属層２３上に積層された弾性樹脂層２４とを有するものとした。これにより本発明は、伝送電極部１８の傾きを抑制するとともにエッチング工程において表層が浸食されても、駆動部２０全体の変位量に与える影響を小さくすることができ、結果としてアクチュエータの動作精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】梁の反りの影響を低減することにより、最大静電容量が大きく、また、最大静電容量付近での静電容量の急峻な変化を緩和したアクチュエータ及びそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】第１の固定端から第１の接続端まで延在する第１の梁と、第１の固定端と、基板と、を連結し、第１の梁を基板の主面の上方に間隙を空けて支持する第１の固定部と、第２の接続端から第１の作用端まで延在し、第１の梁と並列して設けられ、第１の作用端から第２の接続端に向けて延在した第１のスリットによって分割された第１の分割部を有する第２の梁と、第１の接続端と、第２の接続端と、を連結し、第２の梁を基板の主面の上方に間隙を空けて保持する第１の接続部と、第１の分割部の第１の作用端側の一部に対向し、基板の主面に設けられた第１の固定電極と、を備えたことを特徴とするアクチュエータが提供される。 （もっと読む）

【課題】 駆動時以外での電力消費を低減することができ、消費電力が問題となるバッテリー駆動の携帯電子機器等に適用可能なスイッチを提案する。
【解決手段】 本発明のスイッチ１は、円筒状のステータ２と、このステータ２上に回転自由に設けられた円板状のロータ３と、を有している。ステータ３は、円板状の振動子４と、この振動子４上に形成された絶縁層６と、この絶縁層６上に形成された下部電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆと、を有している。また、ステータ３の側面には、下部電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆと外部の配線とを電気的に接続するための引出導体８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆが形成されている。さらにステータ３の側面には、振動子４に駆動電圧を印加するための駆動端子５ｅ、５ｆ、５ｇ、５ｈが形成されている。 （もっと読む）

【解決手段】基板３２と、前記基板に結合された可動アクチュエータ３３と、基板接点３５と、基板電極３６と、前記可動アクチュエータに電気的に結合され、かつ前記可動アクチュエータが前記基板接点と接触することを可能にしつつ、前記可動アクチュエータが前記基板電極と接触することを防止するように構成された導電性ストッパ３９とを備えている。
【効果】導電性ストッパは可動アクチュエータが基板電極と接触することを防止する。 （もっと読む）