【課題】残留歪の多少に拘らず作用端と固定電極間の距離が一定に保たれ、再現性や信頼性の優れた機構を有する圧電駆動型ＭＥＭＳアクチュエータを提供する。
【解決手段】第１のアクチュエータ１の固定端１１は基板に固定し、他端１２は第２のアクチュエータの一端２１に接続されて、端折り返し梁構造とする。この端折り返し梁構造の圧電駆動アクチュエータを２個平行に線対称に配置し、作用端２２、４２付近で接続した構造を有している。 （もっと読む）

【課題】横モードによる不要振動の発生を防いでスプリアスを抑制することができると共に、応力集中による信頼性低下を回避した圧電薄膜を有するデバイスを提供する。
【解決手段】本発明による音響共振器は、基板１０５と、基板１０５の上に形成された支持部１０４と、支持部１０４の上に形成された下部電極１０３と、下部電極１０３の上に形成された圧電体１０１と、圧電体１０１の上に形成された上部電極１０２とからなる。下部電極１０３、圧電体１０１、及び上部電極１０２は、振動部１０７を構成する。振動部１０７を支持する支持部１０４は、垂直断面の少なくとも１箇所が曲率を有した形状となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】電極部が配置された梁部の引っ張り応力を緩和でき、かつ電極部の引き剥がし力を増大できるＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】第１の固定端１１に第１の圧電型アクチュエータ１３−１の一端が接続され、第２の固定端１２に第２の圧電型アクチュエータ１３−２の一端が接続されている。圧電型アクチュエータ１３−１と圧電型アクチュエータ１３−２との間に、これら圧電型アクチュエータ１３−１，１３−２により可動される電極部１４が配置されている。電極部１４から圧電型アクチュエータ１３−１を介して第１の固定端１１に至る形状と、電極部１４から圧電型アクチュエータ１３−２を介して第２の固定端１２に至る形状とが非対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの非動作時における流体収納室内での導電性流体と絶縁性流体との接触面の位置を所定の位置に設定できる接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置１は、半導体基板３及び絶縁基板５を用いて形成され、導電性流体Ｌ１、及び当該導電性流体Ｌ１と混合されない絶縁性流体Ｌ２が収納されるとともに、一対の接点６ａ，６ａが露設される流体収納室２ｄを有する本体部２と、本体部２を部分的に変形させることで導電性流体Ｌ１を移動させ、一対の接点６ａ，６ａ間の導通状態を切り換えるアクチュエータ７とを備え、本体部２には、アクチュエータ７の非動作時における流体収納室２ｄ内での導電性流体Ｌ１と絶縁性流体Ｌ２の接触面Ｐ１の位置を所定の位置Ｐ２に設定するための副収納室２ｅが設けられている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で常開接点、常閉接点およびトランスファ接点として使用可能な接点開閉装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板１に設けた注入用孔２０ａからはチャンバ２２とチャンネル２３の一部に導電性流体６ａが、注入用孔２０ｂからはチャンネル２４の一部とチャンネル２５の一部にかけて導電性流体６ｂが注入され、導電性流体６ａ，６ｂ間には非導電性流体５が、チャンネル２４の残部には圧縮性流体１９が配置される。チャンネル２３には、圧電アクチュエータ８の非動作時は非導電性流体５と導電性流体６ａとの界面３９ａよりもチャンネル２５側であって、動作時は界面３９ａよりもチャンバ２２側となる位置に接点３２ａ，３２ｂが配置される。チャンネル２５には、非動作時は非導電性流体５と導電性流体６ｂとの界面３９ｂよりもチャンネル２４側であって、動作時は界面３９ｂよりもチャンネル２３側となる位置に接点３４ａ，３４ｂが配置される。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、且つ省電力化が図れる接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置１は、導電性流体Ｌ１及び該導電性流体Ｌ１と混合しない絶縁性流体Ｌ２が収納される収納凹所３ｂが設けられた半導体基板３、及び半導体基板３に接合される絶縁基板５から構成され、絶縁基板５により後面開口が閉塞された収納凹所３ｂからなる収納室２ａを有する本体部２と、絶縁基板５において収納凹所３ｂを閉塞する部位に設けられて収納室２ａ内に露設される一対の接点６ａ，７ａと、本体部２の厚み方向における収納室２ａの壁部である収納凹所３ｂの底壁部３ｃを変形させて収納室２ａ内で導電性流体Ｌ１を移動させ、一対の接点６ａ，７ａ間の通電状態を切り換えるアクチュエータ８とを備え、収納凹所３ｂは、半導体基板３の厚み方向における断面が円形状に形成され、底壁部３ｃは、全面に亘ってダイアフラム状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】導電性流体用の流体注入口から導電性流体が流出することを抑制できる接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置１は、半導体基板３及び絶縁基板６を用いて形成され、導電性流体Ｌ１が流動自在に収納されるとともに一対の接点７ａ，８ａが露設される流体収納室２ｄ、及び該流体収納室２ｄに導電性流体Ｌ１を注入する流体注入口３ｆを有する本体部２と、流体収納室２ｄ内に収納された導電性流体Ｌ１を流動させ、一対の接点７ａ，８ａ間の導通状態を切り換えるアクチュエータ９とを備え、流体収納室２ｄにおいて流体注入口３ｆと連通する部位である第１チャンネル２ｂは、流体注入口３ｆの開口の大きさ以上の大きさに形成され、流体注入口３ｆの内面には、流体流入口３ｆの内面よりも導電性流体Ｌ１に対する濡れ性が良好な金属材料製の薄膜からなる流出防止部４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】収納部内に注入する導電性流体の位置を制御しやすくする。
【解決手段】溝部２ｂ内壁面を粗面とすることでぬれ性を低下させ、もって溝部２ｂ内壁面への導電性流体３の付着を抑制することで接点４の開閉の信頼性を向上することができる。一方、溝部２ｂだけでなく収納部２全体、特に容積の大きい空洞部２ａの内壁面を粗面化した場合、導電性流体３を収納部２に注入する際に導電性流体３の位置（先端の位置）が制御し難くなる。そこで、溝部２ｂ以外の収納部２、つまり空洞部２ａと注入用溝部２ｃの内壁面を平滑面のままとしてぬれ性を高くしておけば、導電性流体３の注入時における導電性流体３の位置を精度よく制御することができる。 （もっと読む）

【課題】流体の流路となる溝部を封止するガラス基板の割れを防止した接点開閉装置を提供する。
【解決手段】接点開閉装置は、流体の流路となる溝部２および溝部２と連通する液溜め部３が一面に形成されるとともに、液溜め部３の裏面側にダイアフラム４が設けられたシリコン基板１と、溝部２及び液溜め部３内に移動自在に配置された導電性流体６と、シリコン基板１の一面に接合されたガラス基板７と、少なくとも一部を溝部２に臨ませた状態で設けられた接点部２５ａ，２５ｂと、ダイアフラム４の上面に設けたピボット４ａを押動することによってダイアフラム４を変形させて導電性流体６を移動させる圧電アクチュエータ８を備える。シリコン基板１の一面には、各接点部２５ａ，２５ｂに電気的に接続された電極パッド２１ａ，２１ｂを設けてあり、各電極パッド２１ａ，２１ｂにはガラス基板７の貫通孔２３に挿通された金属細線２４がワイヤボンディングされる。 （もっと読む）

【課題】開閉動作がスムーズに行える接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置１は、半導体基板３及び絶縁基板４を用いて形成されて、一対の接点５ａ，５ａが露設される第１流体収納室２ａと、第１流体収納室２ａにおける一対の接点５ａ，５ａ間の部位に連通される第２流体収納室２ｂとを有する本体部２と、第１流体収納室２ａに充満されて一対の接点５ａ，５ａ間を短絡する導電性流体Ｌ１と、第２流体収納室２ｂに収納され、導電性流体Ｌ１の分断に用いられる絶縁性流体Ｌ２と、第２流体収納室２ｂの容積が減少するように本体部２を部分的に変形させて、第２流体収納室２ｂ内の絶縁性流体Ｌ２を第１流体収納室２ａに移動させることで、導電性流体Ｌ１を分断して一対の接点５ａ，５ａ間の通電をオフするアクチュエータ６とを備えている。 （もっと読む）