【課題】機械的に電気信号や光信号の接続、切断を行うに十分な変位発生力と量を発現することが出来、小型、耐久性、信頼性の高いマイクロスイッチ用アクチュエータを提供すること。
【解決手段】マイクロスイッチ用アクチュエータ１０は、２本の脚部１５ａ，１５ｂと、その２本の脚部の一方の端部の側で挟まれてそれらを支持する股部１７と、を備える。２本の脚部のそれぞれにおいて、積層された複数の圧電層１４のうち最外層の一の圧電層１４が、正極及び負極の電極層１８，１９で挟まれず不活性部を構成し、他の圧電層１４が、正極及び負極の電極層１８，１９で挟まれて活性部を構成している。正極及び負極の電極層１８，１９間に駆動電圧を印加すると、活性部を構成する圧電層１４が圧電横効果に基づく変位によって伸縮し、（不活性部を構成する圧電層１４が変位を生じないことから）２本の脚部１５ａ，１５ｂが屈曲変位を生じる。 （もっと読む）

【課題】信号ラインのコンタクト構造を改善してコンタクト抵抗を減少させるとともに、挿入損失を減らすことができ、低電圧でも駆動が可能なＭＥＭＳスイッチが開示される。
【解決手段】本発明のＭＥＭＳスイッチは、基板と、基板の上面に設けられた固定信号ラインと、固定信号ラインの上面から所定の間隔を隔てて形成された可動信号ラインと、可動信号ラインの一端に連結され、可動信号ラインと固定信号ラインとを接触又は離脱させる少なくとも一つの圧電アクチュエータと、を含む。圧電アクチュエータは、第１電極と、第１電極の上面に形成された圧電層と、圧電層の上面に形成された第２電極と、第２電極の上面に形成され可動信号ラインの上面に連結された連結層と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、カンチレバーとＣＰＷ配線ラインが一つの基板に形成でき、前記カンチレバーが下方に駆動する圧電高周波マイクロマシンスイッチを提供することにある。
【解決手段】ＲＦ信号ライン１０２ａ，１０２ｂとキャビティ１０３ａを備えた基板１０１と、キャビティ１０３ａの上に位置し基板１０１に一端が固定されたカンチレバー１１０と、カンチレバー１１０が下方に駆動する時、ＲＦ信号ライン１０２ａ，１０２ｂと接触してＲＦ信号ラインを接続するための接続パッド１１１と、を含む高周波マイクロマシンスイッチ及びその製造方法が開示される。 （もっと読む）

【課題】熱駆動型の接点開閉装置に比較して接点を開閉する動作時間を短縮する。
【解決手段】導電性流体３を移動自在に収納する収納部２が設けられた半導体基板１と、収納部２内に露出する複数の接点４が設けられて半導体基板１の表面に接合される絶縁基板５と、半導体基板１の絶縁基板５との接合面と反対側の面に形成され半導体基板１を部分的に変形させて収納部２内で導電性流体３を移動させるアクチュエータ６とを備える。電圧を印加してアクチュエータ６にダイアフラム部１ｂを変形させると、空洞部２ａの容積が減少することで導電性流体３が溝部２ｂの先端側に移動して隣り合う接点４が導電性流体３を介して閉成される。 （もっと読む）

【課題】電気的接続の信頼性を向上させた接点開閉装置を提供する。
【解決手段】接点開閉装置は、一面に流体の流路となる溝部２及び液溜め部３が形成されたシリコン基板１と、溝部２及び液溜め部３内に移動自在に配置された導電性流体６と、溝部２及び液溜め部３を塞ぐようにしてシリコン基板１の一面に陽極接合されたガラス基板７と、ガラス基板７において溝部２に対向する部位にそれぞれ形成された複数のコンタクト１０ａ〜１０ｄとを備え、通電に応じて圧電アクチュエータ８がシリコン基板１に設けたダイアフラム４を押圧することによって溝部２内の導電性流体６を移動させ、コンタクト１０ａ…の間を導電性流体６を介して導通又は開放させる。ここで、シリコン基板１には、それぞれ各コンタクト１０ａ…の投影範囲を少なくとも含む複数の領域に、導電性流体６が表面張力によって入り込めない程度の深さの凹所２０を形成してある。 （もっと読む）

【課題】収納部内に注入する導電性流体の位置が制御しやすくかつ気泡が残り難くする。
【解決手段】収納部２は空洞部２ａ、溝部２ｂ、注入用溝部２ｃ並びに注入口２ｄで構成され、さらに空洞部２ａは、溝部２ｂとの連結部位に向かって徐々に縮径する形状（本実施形態では平面視略菱形）に形成されている。つまり、空洞部２ａが溝部２ｂとの連結部位に向かって徐々に縮径する形状に形成されているため、導電性流体３の移動方向に直交する方向の断面積の変化が従来例に比較して緩やかとなる。その結果、注入口２ｄから注入される導電性流体３が空洞部２ａから溝部２ｂに移動する際の抵抗の変化も緩やかになるので、導電性流体３の位置（先端の位置）が制御しやすくかつ気泡が残り難くなる。 （もっと読む）

【課題】熱駆動型の接点開閉装置に比較して接点を開閉する動作時間を短縮する。
【解決手段】導電性流体３を移動自在に収納する収納部２が設けられた半導体基板１と、収納部２内に露出する複数の接点４が設けられて半導体基板１の表面に接合される絶縁基板５と、半導体基板１の絶縁基板５との接合面と反対側の面に形成され半導体基板１を部分的に変形させて収納部２内で導電性流体３を移動させるアクチュエータ６とを備える。電圧を印加してアクチュエータ６を駆動すると、アクチュエータ６の先端部が突部１０を押圧してダイアフラム部１ｂを変形させて空洞部２ａの容積が減少することにより、導電性流体３が溝部２ｂの先端側に移動して電極パッド８₁，８₂と接続されている接点４が導電性流体３を介して閉成される。 （もっと読む）

【課題】応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供する。
【解決手段】接点開閉装置は、シリコン基板１と、シリコン基板１に設けた溝部２及び液溜め部３を覆うようにしてシリコン基板１に被着されたガラス基板７と、溝部２に対向するガラス基板７の部位に設けられた２つのコンタクト１０ａ，１０ｂと、通電に応じて液溜め部３の裏側に形成されたダイアフラム４を押圧する圧電アクチュエータ８と、圧電アクチュエータ８に通電していない状態でコンタクト１０ａ，１０ｂ間に介在するようにして溝部２内に配置された導電性流体６と、溝部２内で導電性流体６の両側に配置された非導電性流体５ａ，５ｂとを備える。圧電アクチュエータ８に通電すると、ダイアフラム４が液溜め部３側に撓められ、液溜め部３内の流体５ａが溝部２側へ移動するので、コンタクト１０ａ，１０ｂ間に導電性流体６が介在しなくなり、接点間がオフになる。 （もっと読む）

【課題】導電性流体が収納部に収納しやすい接点開閉装置を提供する。
【解決手段】収納部２は、ダイアフラム部１ｂの変形に伴って容積が減少する空洞部２ａと、導電性流体３の移動方向に直交する断面の面積が空洞部２ａよりも狭く且つ一端側で空洞部２ａに連結するとともに他端側に複数の接点４が露出する溝部２ｂと、導電性流体３の移動方向に直交する断面の面積が空洞部２ａよりも狭く且つ溝部２ｂよりも広く又一端側で空洞部２ａに連結するとともに他端側に導電性流体３を収納部２内に注入するための注入口２ｄが設けられた注入用溝部２ｃとを有する。注入用溝部２ｃの断面積を溝部２ｂの断面積よりも大きくしているため、導電性流体３が収納部２に収納しやすいものである。 （もっと読む）

【課題】熱駆動型の接点開閉装置に比較して接点を開閉する動作時間を短縮する。
【解決手段】導電性流体３を移動自在に収納する収納部２が設けられた半導体基板１と、収納部２内に露出する複数の接点４が設けられて半導体基板１の表面に接合される絶縁基板５と、半導体基板１の絶縁基板５との接合面と反対側の面に形成され半導体基板１を部分的に変形させて収納部２内で導電性流体３を移動させるアクチュエータ６とを備える。電圧を印加してアクチュエータ６を駆動すると、アクチュエータ６先端の突部１０でダイアフラム部１ｂを押圧して変形させ、空洞部２ａの容積を減少させるので、導電性流体３が溝部２ｂの先端側に移動して電極パッド８₁，８₂と接続されている接点４が導電性流体３を介して閉成される。 （もっと読む）