【課題】他の実装用パッケージを必要としない安価なスイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも一方に外部電極を設けた二枚の基板９、１０を貼り合わせて内部に空隙部を形成し、この空隙部に、下部電極層２０、圧電体層２１、上部電極層２２を順に積層して形成した駆動部１６と、これら上部電極層２２、下部電極層２０および圧電体層２１の少なくとも一部からなる弾性体部１７を介して、前記空隙部内に両持ちで支持、懸架された第一の電極部１９と、この第一の電極部１９と一定の間隔で対向配置された第二の電極部２４を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型化が図れ、大容量の電流のオン／オフを確実に行えるようにしたＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】シリコン基板１は支持部２を有し、支持部２には板状の磁性体３の一端が固定されている。磁性体３の他端の内側には絶縁層３ａを介して第１の接点４Ａが設けられ、第１の接点４Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の接点４Ｂが設けられている。更に、磁性体３の内側には絶縁層３ａを介して第１の電極６Ａが設けられ、第１の電極６Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の電極６Ｂが設けられている。マグネット１１がＡ位置からＢ位置へ移動すると、その磁力により磁性体３が吸引され、更に、第１，第２の電極６Ａ，６Ｂに印加された直流電源（＋Ｂ）によって静電吸引力が磁性体３に生じるため、第１，第２の接点４Ａ，４Ｂは確実にスイッチオンになる。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動と高アイソレーションを両立する電気機械スイッチを提供する。
【解決手段】駆動部を構成する第１の梁１０６と、前記第１の梁１０６に対して結合部１０９を介して並置された接点部としての第２の梁１０７と、前記第１の梁１０６に対して第１のギャップを介して形成された、駆動電極としての第１の電極５と、前記第２の梁１０７に対して第２のギャップを介して形成された、接点電極としての第２の電極１０３とを具備し、前記第２のギャップが、前記第１のギャップよりも大きくなるように構成されている。この構成により、駆動部に発生した変位を、結合部を介して接点部に伝え、接点部を変位させることでスイッチングを行う。その結果、駆動部と接点部で異なるギャップを形成することができ、オフ時の電気的なアイソレーションと、駆動時のプルイン電圧を低電圧化することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明のアンテナ装置は、帯域幅の広い周波数帯域における送受信を実現することができるアンテナ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のアンテナ装置は、強誘電体材料を用いた容量可変キャパシタＣ２と、前記容量可変キャパシタＣ２と直列に接続されたキャパシタＣ１と、前記キャパシタＣ１と並列に接続されたスイッチと、前記容量可変キャパシタＣ２と前記キャパシタＣ１とに接続されたアンテナ素子ＡＮＴと、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】電極に電圧を印加することにより変形するアクチュエータにおいて、基板に実装するとき、基板との接合部分が剥離する可能性を低減し、基板上の配線とリード線を介して電極が電気的に接続されるとき、このリード線が切断される可能性を低減する。
【解決手段】アクチュエータ１０は、電極層１４，１６によりアクチュエータ層１２が挟まれたアクチュエータ本体１８と、アクチュエータ本体１８のアクチュエータ層１２が延長した延長部分２４と、延長部分２４の一部に電極層１４，１６が延長した延長部分２６，２８とを有する基板接合部３０とを備える。アクチュエータ本体１８の膜状又は板状の平面に対して垂直の方向から、基板接合部３０における電極層１４，１６の延長部分２６，２８を投影して見たとき、延長部分２６，２８は互いに領域が重なることなく異なる領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】動作電圧が低く、圧接力および引離し力が強いＭＥＭＳ装置を提供することを可能にする。
【解決手段】基板１と、基板上に設けられた支持部２と、基板上に設けられた固定電極１０と、第１の電極４と、第１の電極上に形成された第１の圧電膜５と、第１の圧電膜上に形成された第２の電極６とを有し、一端が支持部を介して基板上に固定され、支持部と固定電極とを結ぶ方向に延在しかつ第１の電極が固定電極に対向するように設けられたアクチュエータ３と、支持部と固定電極とを結ぶ直線上でかつ第１の電極に対向するように前記基板上に設けられたストッパ部９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】固定コンタクト電極に対する可動コンタクト電極の配向ばらつきを抑制するのに適したマイクロスイッチング素子及び当該マイクロスイッチング素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の素子Ｘ１は、固定部１１と、可動部１２と、接触部１３ａ’，１３ｂ’を有する電極１３と、接触部１３ａ’に当接する接触部１４ａ’を有する電極１４Ａと、接触部１３ｂ’に対向する接触部１４ｂ’を有する電極１４Ｂとを備える。本発明の方法は、基板上に電極１３を形成する工程、電極１３を覆うように基板上に犠牲層を形成する工程、犠牲層において電極１３に対応する位置に、第１凹部とこれより浅い第２凹部とを形成する工程、犠牲層を介して電極１３に対向する部位を有して第１凹部を充たす電極１４Ａを形成する工程、犠牲層を介して電極１３に対向する部位を有して第２凹部を充たす電極１４Ｂを形成する工程、及び犠牲層を除去する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】スティッキングを起こすことなくスイッチング動作を可能とするスイッチを提供することを目的としている。
【解決手段】基板２と、基板２上に配置した信号線路導体１と、信号線路導体１上を可動する可動電極部とを備え、可動電極部は、圧電体３と、圧電体３の表裏面に配置した駆動電極６Ａ，６Ｂと、圧電体３の表面に配置したスイッチ電極４とを有し、スイッチ電極４は圧電体３を介して信号線路導体１と対向させたり対向させなかったりする構成である。 （もっと読む）

【課題】注入口の周囲に余分な導電性流体が付着するのを防ぐことのできる接点開閉装置を提供する。
【解決手段】電性流体Ｌが収納されるとともに一対の接点５ａ，６ａが露設される収納室１ｄ及び一端側で収納室１ｄと連結するとともに他端側に導電性流体Ｌを収納室１ｄ内に注入するための注入口２ｆが設けられた注入用溝部２０を有する本体部１と、注入口２ｆを閉塞する閉塞板４と、収納室１ｄ内に収納された導電性流体Ｌを移動させ、一対の接点５ａ，６ａ間の導通状態を切り換える駆動手段であるアクチュエータ７とを備え、基板２の厚み方向に窪んだ窪み部９が注入口２ｆの周囲を囲むように形成されており、注入口２ｆと窪み部９との間には所定の間隔が空けられている。 （もっと読む）

【課題】注入口から導電性流体が流出するのを防止することができる接点開閉装置を提供する。
【解決手段】導電性流体Ｌが収納されるとともに一対の接点５ａ，６ａが露設される収納室１ｄ及び該収納室１ｄに導電性流体Ｌを注入するための注入口２ｆを有する本体部１において、収納室１ｄは、他の部分よりも容積の大きい空洞部１ａと、一端側が空洞部１ａと連結し他端側において接点５ａ，６ａが露出する導電性流体Ｌの流路部である第２チャンネル１ｃとを有し、第２チャンネル１ｃにおいて下方に突出する段部２０を基板２と一体に形成することで、第２チャンネル１ｃの上下方向の高さ寸法を空洞部１ａの上下方向の高さ寸法よりも小さくした。 （もっと読む）