単一ユニットに容易に製作することができる小型構造の利点を提供し、接点材料の高温で誘発される形態学的変化及び結果的な特性への悪影響とは無縁の、ＭＥＭＳ圧電スイッチ（１００）。高温で誘発される形態学的変化とは、無線周波数配線（１２５、１３０）及び短絡バー（１５０）の様な金属接点が、圧電層をアニールするのに必要とされる温度に、又は、誘電層の高温堆積が代わりに使用される場合はその間に遭遇する温度に、曝される時、製作の間に生じる変化を指す。 （もっと読む）

【課題】高信頼性のスイッチおよびそれを用いた電力変換器を提供する。
【解決手段】スイッチは、基板１、信号線２、支持台３、固定部材４、駆動部５、及び接触電極６を備える。基板１上の所定領域には、信号線２と支持台３とが設けられる。そして、支持台３上には固定部材４の一端が設けられ、この固定部材４は基板１に平行な状態で信号線２の位置まで延在している。また、固定部材４の他端の下側（基板１側）には、信号線２に対向する位置に駆動部５とさらにその下側に接触電極６が設けられる。接触電極６は、信号線２と所定の隙間を介して対向している。ここで、駆動部５は積層型圧電素子からなり、電圧が印加されると、電圧が印加されない状態から伸長もしくは収縮する特性を有する。接触電極６は、この駆動部５の伸縮方向に連動して変位する。 （もっと読む）

本発明は熱スイッチに関し、このスイッチは熱伝導性の均質な構成物により形成された一体的な単一部品からなる熱接続要素（１０）と、この熱接続要素の機械的破断によりこのスイッチを開くためのアクチュエータ（２０）とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電膜等の残留歪による反りの影響を抑制して、圧電駆動の変位量を再現良く、かつ高精度で制御可能な圧電駆動型ＭＥＭＳアクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１上に少なくとも一端が固定され、第１下部電極１３と第１上部電極１７と、それらに挟まれるように形成された第１圧電膜１４とからなる第１アクチュエータ１１と、第１アクチュエータに接続された第１作用部１２と、基板１上に少なくとも一端が固定され、第１アクチュエータと並行して配置され、かつ第１下部電極と同層となる第２下部電極２３と、第２下部電極上に形成され第１圧電膜と同層となる第２圧電膜２４と、第２圧電膜上に形成され第１上部電極と同層となる第２上部電極２７とを有する第２アクチュエータ２１と、第２アクチュエータに接続された第２作用部２２とを備え、第１作用部と第２作用部とで電気回路要素を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電アクチュエータをＲＦ信号ラインより先に形成する構造に改善し、従来のように基板の裏面を無理にエッチングする工程を解消するとともに、工程の制約性を解消する圧電型ＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】基板１０１と、基板１０１の上面に所定の間隔部Ｇを挟んで互いに対称に形成された第１固定信号ライン１０３及び第２固定信号ライン１０５と、間隔部に第１固定信号ライン１０３及び第２固定信号ライン１０５と同一線上に設置され、基板に一端が保持され上下駆動する圧電アクチュエータ１３０と、圧電アクチュエータ１３０の上面に少なくとも一側が連結され、第１固定信号ライン１０３又は第２固定信号ライン１０５のうちいずれか一つに一端が連結され、その他端が第１固定信号ライン１０３又は第２固定信号ライン１０５のうちいずれか一つと接触又は離脱される可動信号ライン１５０と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 圧電膜や上下の電極の残留歪に起因する反りを抑制して、圧電駆動の変位量を再現性良く、広い範囲で制御可能な圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】
本発明に係る圧電アクチュエータは、基板と、前記基板上に配置された固定電極と、前記固定電極に対向して配置され、前記固定電極とキャパシタを形成する作用部と、前記作用部から延在して配置され、前記基板上に固定された固定部とを備え、前記作用部から前記固定部にかけて圧電膜及び該圧電膜を挟む上下の電極とで構成された梁と、前記上下の電極に各々接続された配線と、前記配線に接続され、前記上下の電極に電圧を印加する電圧印加手段と、前記上下の電極と前記電圧印加手段との間に設けられた高インピーダンス素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】機械式リレーではリレーコイルが必須であるが、リレーコイルがあるため製作コストは高くなり、リレーの応答速度も遅くなっていた。また、電磁力で動作するものであるため、高磁場環境下においては使用に適しなかった。
【解決手段】リレー１の可動接点２を、イオン導電性高分子１１の両面に貴金属層１２，１３が接合されたところの細長い板状のイオン導電性高分子・貴金属接合体で構成する。そして、固定接点３と共に、含水絶縁液５を満たした容器４内に収容封入する。可動接点２の固定端の上下面に設けた端子電極６，７に電圧を印加すると、可動接点２は下方に屈曲し、固定接点３にオンする。リレーコイルを必要としないので製作コストは安く、電磁力で動作させていないので、高磁場環境下でも使用可能である。可動接点２の屈曲の応答速度は速いので、リレーの応答速度も速いものとなる。固定接点３と接触する部分に電気接点材のメッキ層１４を形成すれば、耐磨耗性が良くなる。 （もっと読む）

【解決手段】電気スイッチ要素、特にリレーは、アクチュエータ（５）、スイッチコンタクト（２）、及びスイッチ機構（７）を有する。スイッチ機構は、アクチュエータの駆動運動（６）をスイッチコンタクトのスイッチング運動（４）に変換するので、スイッチコンタクトは、相手コンタクト（３）との接触及び接触解除をもたらす。駆動運動が小さいリフトで実行することができるアクチュエータの場合に大きなリフトのスイッチング運動を形成するために、スイッチ機構は、アクチュエータを介して互いに接続された少なくとも２本の回転レバー（８）と、少なくとも１個のコンタクトリテーナ（１０）とを有する。コンタクトリテーナは、２本の回転レバーを縦方向（１５）に沿って接続し、縦方向に対して横断する方向に撓むことができるように構成される。
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【課題】圧電力によって下向き駆動される接続パッドをＲＦ信号ラインとレイヤを共有して製造するが、ＲＦ信号ラインを製造した後に製造することで、再構成アンテナの性能を向上させることのできる下向型ＭＥＭＳスイッチの製造方法及び下向型ＭＥＭＳスイッチが開示される。
【解決手段】第１及び第２空洞部は基板上に形成され、第１及び第２アクチュエータは第１及び第２空洞部の上部に形成され、第１及び第２固定ラインは基板の上面に第１及び第２空洞部と交差しないように形成され、接続パッドは第１及び第２固定ラインの表面から一定の距離を隔てた位置に配置され、第１及び第２アクチュエータの駆動時、第１及び第２固定ラインと接触可能な形に形成される。 （もっと読む）

【課題】上部電極と下部電極の間のギャップを犠牲層の厚みを厚くすること以外の方法で広くすることにより、上部電極が下部電極にクーロン力により張り付く誤動作を防止することができる機構デバイスを得ること。
【解決手段】絶縁材料で形成された基板１０１と、基板１０１上に形成された下部電極１０３と、基板１０１上に形成され、下部電極１０３の対向位置に配置され、磁性体１０５を具備する片持ち梁構造部１０４を有する上部電極１０２とを備え、基板１０１の周縁に箱状のガラスパッケージ１１１の開口端部を取り付け固定し、ガラスパッケージ１１１で上部電極１０２と下部電極１０３とを覆い、ガラスパッケージ１１１の上部に磁石１１２を取り付けるようにしたものである。 （もっと読む）