流体ベースのスイッチが開示される。一実施形態では、スイッチ(400)は、結合された第１(100)と第２(402)の基板であって、それらの間にいくつかのキャビティのうちの少なくとも一部を画定し、第１の基板がキャビティのうちの第１のキャビティ(406)内に画定された複数のくぼみ(102、104、106)を画定する、結合された第１(100)と第２(402)の基板と、それぞれが前記くぼみのうちの１つの中に付着された複数の電気接点(112、114、116)と、第１のキャビティ内に保持されるスイッチング流体(418)であって、前記スイッチング流体に加えられた力に応答して複数の電気接点の少なくとも１対を開閉する役をする、スイッチング流体(418)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持されてスイッチング流体に力を加える作動流体(410)とを含む。
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導電性液体（１２６）を支持する２つの濡れ性の電気接点（１１８、１２０）を有する電気リレー。アクチュエータ（１３０、１３２、または１４０）の作用により、濡れ性のないスイッチフィンガー（１１４）が、電気接点間の第１の位置と第２の位置の間で動かされる。第１の位置では、スイッチフィンガーにより、接点（１１８、１２０）間の空隙に導電性液体（１２６）によるブリッジが形成され、接点間に電気回路が形成される。第２の位置では、スイッチフィンガーにより、導電性液体が２つの体積に分離され、接点間の電気回路が切断される。スイッチフィンガーは梁部材（１１２）の自由端に配置され、梁部材（１１２）は圧電素子（１３０、１３２、または１４０）の作用によって屈曲される、すなわち曲げられる。
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各電気接点が導電性液体(126)を支持する２つの濡れ性の電気接点(118,120)を有する電気リレー。濡れ性のスイッチフィンガー(114)はアクチュエータ(130,132,140)の作用により、曲げられていない位置から第１の位置及び第２の位置へ動かされる。第１の位置においてスイッチフィンガー(114)は導電性液体(126)に接触し、接点とスイッチとの間を導電性液体で濡らすことにより、接点間に電気回路を形成する。第２の位置においてスイッチフィンガー(114)は第１、第２の接点とスイッチフィンガーとの間を導電性液体(126)で濡らすことがなく、第１の接点と第２の接点との間の電気回路は切断される。スイッチフィンガー(114)は圧電素子(130,132,140)の作用によって偏向すなわち曲げられた梁部材の自由端に配置される。
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曲がったスイッチング流体キャビティ(816)の第１と第２の交差チャネル(134、136)を基板の間に画定する、結合された第１と第２の基板(102、104)を有するスイッチ(100)。スイッチング流体(818)は曲がったスイッチング流体キャビティ内に保持され、スイッチング流体に加えられる力に応答して第１と第２のスイッチ状態の間で移動可能である。第１のスイッチ状態では、交差チャネルのうちの第１のチャネル内に大部分のスイッチング流体が強制的に入り、第２のスイッチ状態では、交差チャネルのうちの第２のチャネル内に大部分のスイッチング流体が強制的に入る。
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基板、基板を作成する方法、基板を組み込んだスイッチを開示する。一実施形態において基板（１００）は、第１の層（１０１）、第１の層の上に蒸着された第１の電極（１１２）、第１の層に結合された第２の層（１０３）からなる。第２の層は第１の電極から第１の電極の反対側の第２の層の面まで延びるダクト（１０４）を画定する。ダクトの少なくとも一部に、液体電極（１２２）が充填される。
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流体ベースのスイッチとその製作方法を開示する。一実施形態では、スイッチは、基板の間にいくつかのキャビティ(106、108、110)のうちの少なくとも一部を画定する、結合された第１の基板(102)と第２の基板(104)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に露出した複数の電極(612、614、616)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持され、スイッチング流体に加えられた力に応答して複数の電極のうちの少なくとも１対の電極を開閉する役をするスイッチング流体(618)と、スイッチング流体の少なくとも一部に接触してスイッチング流体上の酸化物と反応する還元材料と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持され、前記スイッチング流体に力を加える作動流体(620)とを含む。
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【課題】 スイッチング流体と合金を形成しない材料からなる濡れ可能な表面を有するスイッチを提供することを課題とする。
【解決手段】 複数の空洞（106、108、110、112、114）をその間に画定する第１及び第２の基板（102、104）と、１つ又はそれ以上の空洞に堆積されている複数の濡れ可能な表面（116、118、120）と、１つ又はそれ以上の空洞内に保持されているスイッチング流体（122）であって、スイッチング流体に適用される力に応じて、少なくとも一対の濡れ可能な表面（116/118、118/120）を接続し、切断するように機能するスイッチング流体（122）とからなり、濡れ可能な表面が、スイッチング流体と合金を形成しない材料からなることを特徴とするスイッチ。 （もっと読む）

【課題】 保護対象箇所を充分に保護しつつウエットエッチングを行うのに適した方法、および、当該方法を利用して製造することのできるマイクロ可動素子を、提供する。
【解決手段】 本発明のウエットエッチング方法は、被加工構造体の保護対象箇所に沿って延びる溝部を被加工構造体に形成する工程と、保護対象箇所および溝部を覆い且つ当該溝部に一部が入り込むエッチング液耐性保護膜を被加工構造体上に形成する工程と、被加工構造体に対してエッチング液を作用させる工程とを含む。本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、ベース基板と、ベース基板に接合している固定部１１と、固定部１１から延出してベース基板に沿って延びる可動部１２と、ベース基板とは反対の側において可動部１２上および固定部１１上にわたって設けられた圧電駆動部１５とを備える。可動部１２および／または固定部１１には、圧電駆動部１５に沿って延びる溝部１７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧で高速なスイッチング応答をすることができる電気機械スイッチを提供する。
【解決手段】MEMSスイッチである電気機械スイッチ本体１０は、シリコン基板２上に形成された第１アンカー１２及び第２アンカー１３にて両端を固定かつ装架された第１可動電極１４及び第２可動電極１６と、これら可動電極に対面した固定電極１８とを有し、相対的に弱いばね力の第１可動電極１４と固定電極１８とにより低電圧駆動可能な第１の電気機械スイッチ２２が構成され、相対的に強いばね力の第２可動電極１６と固定電極１８とにより低電圧駆動でラッチ可能な第２の電気機械スイッチ２４が構成されることにより、低駆動電圧により第１可動電極１４が高速で変位して第１の電気機械スイッチが高速でオンし、第２可動電極１６が復元力により高速に固有振動して第２の電気機械スイッチが高速でオフし、戻ってきた第２可動電極１６を低駆動電圧でラッチして、第２の電気機械スイッチがオンする。 （もっと読む）

【課題】 低電流値で確実に回路遮断することができる超小型のヒューズを提供する。
【解決手段】 略コ字形状の枠部３，４の一対を対向配置した支持枠４と、この支持枠４の内側の空間に配置され支持枠４の各両端２ｂ，２ｃ，３ｂ，３ｃと連結する振動体７と、支持枠４の一部に形成され振動体７を揺動させるための圧電部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂと、振動体７の近傍に支持枠４と連結するよう配置され配線パターン２１に流れる電流値に応じて振動体７に接近するように変形する基板部２０とを備え、圧電部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂに周期的電圧が印可された際に振動体７は振動し、配線パターン２１に流れる電流が所定の値を越えた際に、基板部２０が振動する振動体７と接触して破壊することで、配線パターン２１に流れる電流を遮断する。 （もっと読む）