【課題】低電圧駆動のできるＭＥＭＳスイッチ及びその製造方法が開示される。
【解決手段】開示されたＭＥＭＳスイッチは、その上面に信号ラインが形成された下部基板と、下部基板の上面に所定の間隔を隔てて設置され、その下面にメンブレイン層が形成され、その内部にキャビティが形成された上部基板と、キャビティの内部且つメンブレイン層の上面に設置されたバイメタル層と、メンブレイン層の下面に設置された発熱層と、発熱層の下面に形成され、信号ラインと接触もしくは離脱される接触部材と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 低電圧・低消費電力系の素子と一体的に形成することが可能な程度に低電圧化・低消費電力化した可動素子、ならびにその可動素子を内蔵するモジュールおよび電子機器を提供する。
【解決手段】 半導体基板１０上に、信号を伝送するための信号線路１１と、信号線路１１を機械的に継断するための継断手段１２と、熱アクチュエータまたは圧電アクチュエータのいずれか一つを含んで構成された、継断手段１２を切り替えるための切替手段１３と、ラッチ性を有する材料により構成された、継断手段１２の切り替え後の状態を保持するための保持手段１４とを備える。このような回路構成を選択することにより、実用に耐える程度の低電圧化と低消費電力化とを両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧で高速なスイッチング応答をすることができる電気機械スイッチを提供する。
【解決手段】MEMSスイッチである電気機械スイッチ本体１０は、シリコン基板２上に形成された第１アンカー１２及び第２アンカー１３にて両端を固定かつ装架された第１可動電極１４及び第２可動電極１６と、これら可動電極に対面した固定電極１８とを有し、第１可動電極１４と固定電極１８とにより低電圧駆動可能な第１の電気機械スイッチ２２が構成され、第２可動電極１６と固定電極１８とにより低電圧駆動でラッチ可能な第２の電気機械スイッチ２４が構成され、これらが並列接続された交互に駆動されることにより、第１の電気機械スイッチがオン状態であるとき、前記第２の電気機械スイッチはオフ状態で待機し、前記第１の梁の変位により前記第１の電気機械スイッチがオフ状態となった後、前記第２の電気機械スイッチがオン状態となるようにし、信号を高速で切り替えることができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシン技術を用いて高信頼性で低コスト化を図った長寿命のリレーを実現する。
【解決手段】 ２枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第１、第２の気体室と、これら第１、第２の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止した。 （もっと読む）

流体ベースのスイッチが開示される。一実施形態では、スイッチ(400)は、結合された第１(100)と第２(402)の基板であって、それらの間にいくつかのキャビティのうちの少なくとも一部を画定し、第１の基板がキャビティのうちの第１のキャビティ(406)内に画定された複数のくぼみ(102、104、106)を画定する、結合された第１(100)と第２(402)の基板と、それぞれが前記くぼみのうちの１つの中に付着された複数の電気接点(112、114、116)と、第１のキャビティ内に保持されるスイッチング流体(418)であって、前記スイッチング流体に加えられた力に応答して複数の電気接点の少なくとも１対を開閉する役をする、スイッチング流体(418)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持されてスイッチング流体に力を加える作動流体(410)とを含む。
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流体ベースのスイッチとその製作方法を開示する。一実施形態では、スイッチは、基板の間にいくつかのキャビティ(106、108、110)のうちの少なくとも一部を画定する、結合された第１の基板(102)と第２の基板(104)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に露出した複数の電極(612、614、616)と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持され、スイッチング流体に加えられた力に応答して複数の電極のうちの少なくとも１対の電極を開閉する役をするスイッチング流体(618)と、スイッチング流体の少なくとも一部に接触してスイッチング流体上の酸化物と反応する還元材料と、キャビティのうちの１つ又は複数の中に保持され、前記スイッチング流体に力を加える作動流体(620)とを含む。
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曲がったスイッチング流体キャビティ(816)の第１と第２の交差チャネル(134、136)を基板の間に画定する、結合された第１と第２の基板(102、104)を有するスイッチ(100)。スイッチング流体(818)は曲がったスイッチング流体キャビティ内に保持され、スイッチング流体に加えられる力に応答して第１と第２のスイッチ状態の間で移動可能である。第１のスイッチ状態では、交差チャネルのうちの第１のチャネル内に大部分のスイッチング流体が強制的に入り、第２のスイッチ状態では、交差チャネルのうちの第２のチャネル内に大部分のスイッチング流体が強制的に入る。
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基板、基板を作成する方法、基板を組み込んだスイッチを開示する。一実施形態において基板（１００）は、第１の層（１０１）、第１の層の上に蒸着された第１の電極（１１２）、第１の層に結合された第２の層（１０３）からなる。第２の層は第１の電極から第１の電極の反対側の第２の層の面まで延びるダクト（１０４）を画定する。ダクトの少なくとも一部に、液体電極（１２２）が充填される。
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【課題】 スイッチング流体と合金を形成しない材料からなる濡れ可能な表面を有するスイッチを提供することを課題とする。
【解決手段】 複数の空洞（106、108、110、112、114）をその間に画定する第１及び第２の基板（102、104）と、１つ又はそれ以上の空洞に堆積されている複数の濡れ可能な表面（116、118、120）と、１つ又はそれ以上の空洞内に保持されているスイッチング流体（122）であって、スイッチング流体に適用される力に応じて、少なくとも一対の濡れ可能な表面（116/118、118/120）を接続し、切断するように機能するスイッチング流体（122）とからなり、濡れ可能な表面が、スイッチング流体と合金を形成しない材料からなることを特徴とするスイッチ。 （もっと読む）

【課題】通算開閉回数が増加しても、接点同士が接着して接点が開離できなくなるのを防止できると共に、基板上に集積回路の一部として組み込みできるマイクロ接点開閉器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に形成された弾性変形可能な構造体２２と、この弾性変形可能な構造体２２上に形成された第１の接点電極１５と、第１の接点電極と離れた位置に形成された第２の接点電極１６と、この第２の接点電極１６を第１の接点電極１５に対して接触または開離させることができるマイクロ可動部１４と、このマイクロ可動部１４を駆動する駆動機構１７を備える。基板１０上に形成された構造体２２の下方に、構造体２２が弾性変形するための空間２０を形成する。前記第２の接点電極１６が第１の接点電極１５に接触するとき、第１の接点電極１５が押圧される方向に構造体２２が弾性変形する。 （もっと読む）