【課題】構造が簡単で且つ電圧分布を滑らかにすることができる加速管を備えた電子源又はイオン源を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によると、加速管は半導電性材料を有する。従って、高速管は、チップからアノード電極を経由して放出される電子線の電流の電流値と同一の電流が流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
電子線発生装置の絶縁体は真空中に設置されており、電子が表面に当たることにより帯電し、高電界を発生する。また、不純物の微粒子が絶縁体表面にあった場合には静電力により微粒子が移動する。これらが原因となり放電が発生し、電子線の加速電圧が不安定になる。
【解決手段】
陰極と陽極の間に電圧を印加することにより、陰極から電子線を発生する電子線発生装置であって、真空中に配置する絶縁体がセラミクスよりなる基材と基材の表面に形成された低抵抗膜よりなり、低抵抗膜の電気体積低効率が基材の百分の一以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カソードおよびアノード間の異常放電の発生率を十分に低下させる。
【解決手段】熱電子を放出するカソード２２と、カソード２２から熱電子が放出されている状態においてカソード２２との間に印加されているグリッド電圧の電圧値に応じた量の電子を放出するグリッド２３と、カソード２２との間にアノード電圧が印加されて電子を加速させるアノード２４と、加速された電子を集束して電子ビームＥＢを生成する集束部２５とを備えた電子ビーム蒸着装置用の電子ビーム照射装置６であって、アノード２４は、カソード２２に対向配置されたフランジ部（鍔状部）２４ａと、熱電子を集束部２５に向けて案内する筒状部２４ｂとが一体形成されて構成されると共に、フランジ部２４ａにおけるカソード２２側の一面２４ｓの算術平均粗さＲａが２．０μｍ以上７．３μｍ以下の範囲内となるようにショットブラスト加工されている。 （もっと読む）

【課題】カソードおよびアノード間の異常放電の発生率を十分に低下させる。
【解決手段】熱電子を放出するカソード２２と、カソード２２から熱電子が放出されている状態においてカソード２２との間に印加されているグリッド電圧の電圧値に応じた量の電子を放出するグリッド２３と、カソード２２との間にアノード電圧が印加されて電子を加速させるアノード２４と、加速された電子を集束して電子ビームＥＢを生成する集束部２５とを備えた電子ビーム蒸着装置用の電子ビーム照射装置６であって、カソード２２は、アノード２４側の一面２２ｓの十点平均粗さＲｚが０．１０μｍ以上０．２８μｍ以下の範囲内となるように研磨されている。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って安定して動作するパルス電子ビーム発生装置およびこの装置を用いたパルス電子ビーム成膜装置を得る。
【解決手段】パルス状の電子ビームを発生するためのパルス電子ビーム発生部（８a）と、絶縁材料で構成された中空のチューブであって、パルス電子ビーム発生部（８a）に連結され、発生させた電子ビームをターゲット表面に案内するためのガイドチューブ（８ｂ）とを備えるパルス電子ビーム発生装置（８）において、ガイドチューブ（８ｂ）の側面に、その長手方向と交差する方向に高さを有する絶縁材料のフィン（８ｃ）を、ガイドチューブ側面をほぼ一周するように設ける。 （もっと読む）

【課題】電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、信頼性の高い安定した電子線を与える電子源を提供する。
【解決手段】電子放射部を有する陰極が、絶縁碍子に設けられた２つの導電端子のそれぞれに接続された２本のフィラメントの先端で挟むように接合され、前記陰極の電子放射部とは異なる端部が絶縁碍子に固定されていることを特徴とする電子源であって、前記２本のフィラメントが陰極の中心軸に対して２回対称であることを特徴とする電子源、好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属部材を介して絶縁碍子に固定され、さらに好ましくは、前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とする前記の電子源。 （もっと読む）

【課題】 多くの手間と作業時間を必要とせず、エミッタ電極を精度良く位置決めできる荷電粒子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】 荷電粒子ビームを発生させるエミッタ電極を有するエミッタ電極ユニットと、エミッタ電極で発生した荷電粒子ビームを試料に偏向照射するための荷電粒子ビーム光学系と、エクストラクタ電極およびレンズを有する内臓ユニットを備えた荷電粒子ビーム発生装置において、内臓ユニットの上部にエミッタ電極位置決め手段を設け、荷電粒子ビーム光学系の光軸上で、エミッタ電極がエミッタ電極位置決め手段に位置決めされて脱着可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】端子間抵抗値の上昇を抑制し、安定して通電加熱できる電子放出源を提供する。
【解決手段】本発明は、希土類六硼化物からなる電子放出源チップと、それを把持し加熱するための炭素質部材からなるヒーターを有する電子放出源において、電子放出源チップとヒーターとの間隙の前記電子放出源チップ側の面が導電性物質で被覆されていることを特徴とする電子放出源である。他の発明は、導電性物質がカーボン、レニウム、炭化ホウ素、ホウ素化ジルコニウムの群から選ばれた１種以上を含有する導電性物質であることを特徴とする電子放出源である。 （もっと読む）

【課題】電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。
【解決手段】絶縁碍子に一対の導電端子を設け前記導電端子間に張ったフィラメントに電子放射部を有するチップを接合してなる電子源であって、チップの電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子に固定されていることを特徴とする電子源であり、好ましくは、チップの電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属ピンを介して絶縁碍子に固定され、さらに好ましくは前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とする前記の電子源。 （もっと読む）

【課題】電圧印加ユニットの耐電圧性を維持しつつ、軸方向及び径方向ともに小型化することである。
【解決手段】真空容器２と、その真空容器２内に設けられる電極８と、前記真空容器２の外壁２１に設けられ、外部から前記電極８に電圧を印加するための高電圧印加ユニット４と、を備え、前記高電圧印加ユニット４が、一端が大気側に、他端が真空側に設けられて、当該他端が前記電極に電気的に接触して電圧を印加する高電圧印加端子４１と、前記高電圧印加端子４１が貫通して設けられ、一端が大気側に、他端が真空側に設けられる絶縁性を有する絶縁体４２と、前記絶縁体４２が貫通して設けられ、前記真空容器の外壁２１に気密に取り付けられるフランジ部４３と、を備え、前記フランジ部４３から大気側及び真空側に突出した前記絶縁体４２の外側周面４２ａを非接触状態にして、さらに、前記絶縁体４２の外側周面４２ａに凹凸部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）