【課題】荷電粒子線装置毎の異常および故障の偏りに応じて、荷電粒子線装置が使用できない時間を短縮できる異常対処装置を提供する。
【解決手段】真空中において荷電粒子線を応用する荷電粒子線装置１で検出された異常および故障に対応する対処を表示する異常対処装置２において、異常および故障の識別子に、次回発生しやすい順番を決定可能な順番データと、異常およびそれぞれに対応する対処とを関係付けて記憶する順位データベース６と、同時に複数の異常および故障が発生した場合に、発生した複数の異常および故障の識別子を抽出する異常項目抽出部１１と、抽出した識別子に基づいて、発生した異常および故障の順番データを抽出する順番データ抽出部１２と、抽出した順番データに基づいて決定される順番にしたがって、発生した異常および故障に対応する対処を抽出する対処抽出部１７と、抽出した対処を表示する表示部８とを有する。 （もっと読む）

低倍率基準画像と高倍率画像とを同一スクリーン上で組み合わせて、電子顕微鏡の高倍率画像に慣れていないユーザが、サンプル上のどこで画像が得られているかを容易に判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解できるようにする走査型電子顕微鏡装置を操作するためのユーザ・インタフェース。また、アーカイブ・スクリーンおよび設定スクリーンなどの他のスクリーンによって、ユーザが保存された画像を比較することおよび係るシステムの設定を調節することがそれぞれ可能になる。
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【課題】ＳＥＭを用いて試料を撮像するための撮像レシピの自動生成において、（１）検査を要する箇所が増大すると，撮像レシピの生成に膨大な労力と時間を要する。（２）生成された撮像レシピの正確さ，そして生成時間が問題となる。（３）作成時に予想できなかった現象により，作成した撮像レシピによる撮像あるいは処理が失敗する場合がある。
【解決手段】（１）観察するための撮像ポイントの点数，座標，サイズ・形状，撮像シーケンス，撮像位置変更方法，撮像条件，撮像シーケンスの一部又は全てをＣＡＤデータから自動で算出するようにした。（２）撮像レシピ生成のための，入力情報，出力情報の組み合わせを任意に設定可能にした。（３）任意の撮像ポイントにおける撮像あるいは処理に対する成否判定を伴い、失敗したと判定された場合，撮像ポイントや撮像シーケンスを変更して撮像あるいは処理を成功させるリリーフ処理を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置における制御対象デバイスの設定値の変更スピード（単位時間あたりの変更量）を動的に制御することにより、最適な設定値を探索するときの操作性を向上させること。
【解決手段】
グラフィックユーザーインターフェース３２は、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するスライダーを備える。マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化する。ユーザーがスライダー上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段３５により変更スピードの値に換算する。この換算値に基づいたコマンドをタイマー３７で設定した一定時間間隔でデバイス３１に送信する。マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス３１送信する処理を継続する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、顕微鏡像の像分解能を客観的判断のもとに評価できる像評価方法の提供にある。
【解決手段】画像の部分領域の分解能を、前記画像全体或いは前記画像の一部領域に亘って求め、前記画像全体或いは前記一部領域に亘って平均化し、前記画像全体、或いは一部領域の分解能評価値とすることを特徴とする像評価方法を提供する。このような構成によれば、顕微鏡の像分解能の評価において、評価者の主観が入り込まないので、像分解能の評価値に対して高い精度と良い再現性を達成できる。 （もっと読む）

【課題】遠隔操作により制御可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置が提供される。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１０は、コンピュータからのデータを携帯電話ネットワーク１４を介してショートメッセージサービス（ＳＭＳ）および／またはマルチメディアメッセージサービス（ＭＭＳ）メッセージの形式でモバイル装置１６，１８，２０に伝送させるように動作可能なインターフェイス２４を含む。荷電粒子ビーム装置１０は、携帯電話１４からＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取り、コンピュータにコマンドを実行させるように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】高電圧・大電流を扱うことができ、安定且つ精密な増幅が可能な演算増幅器、及び走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】差動対と、当該差動対にカスコード接続されたベース接地増幅回路と、アクティブ負荷を含む初段増幅部と、エミッタフォロア回路と定電流負荷回路を備えたインバータを含む２段目増幅部と、ソースフォロア回路又はエミッタフォロア回路を含む３段目増幅部を備えた演算増幅器。 （もっと読む）

【課題】電磁偏向システムの安定性及び切り替え精度の向上を図る。
【解決手段】寄生ダイオ−ドをもつパワーMOS-FET（Q1，Q2）を逆直列接続するとともに，扱う信号電圧より高いゲート電圧でオン駆動し低い電圧でオフ駆動することにより，オン抵抗の安定な誘導負荷電流の切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】機差の発生要因を簡便に推定し、この推定結果を元に走査電子顕微鏡装置を較正することで、複数台の装置間における計測寸法差を低減させ、より高精度な配線パターンの寸法管理を可能とする機差管理装置を提供することにある。
【解決手段】走査電子顕微鏡装置において、装置間での機差や経時変化による機差を管理するシステム及びその方法であって、標準ウエハを撮像して得られる２次電子画像データを基に装置間や経時変化による機差を計測し、ほぼ同時に各種装置状態を示す指標値を計測する計測手段１０、３０１ａ、３０１ｂ；１８、３０１ａと、該計測手段によって計測された前記機差と前記各種装置状態を示す指標値との関係を分析して機差発生要因を推定する機差要因分析部３０１ｃ、３０１ｅと、該機差要因分析部で推定された機差発生要因を表示して出力する出力手段３０２とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
走査電子顕微鏡の構成要素として用いられるマイクロプロセッサ，ＦＰＧＡ，ＣＰＬＤのメモリに記述されている制御内容を、メーカの開発拠点・サービスセンタに居ながらにして変更する。
【解決手段】
メーカの開発拠点・サービスセンタのメンテナンスコンピュータ６０から、データ通信回線８０を介して、通常のＳＥＭ制御手段４１との間で実行する観察作業に関わる操作機能や観察作業に関わる出力機能を実行するコンピュータ５０を経由して、走査電子顕微鏡装置本体１０のＳＥＭ制御手段４１をメンテナンスモードに設定する。その状態で、コンピュータ５０とＳＥＭ制御手段４１との間の制御コマンドによる通信を介して、装置本体制御系３０の所望の各部の制御内容を変更する。 （もっと読む）