【目的】ユーザのアクセス制限が可能な描画装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、データアクセス可能なユーザを識別する識別子を含む複数の描画データを記憶する記憶装置１４２と、描画データ毎にユーザＩＤと識別子とを相関させた相関リストを記憶する記憶装置１４０と、外部からユーザＩＤを入力し、記憶装置１４０に記憶された相関リストを参照して、対応する識別子を取得するアクセスコントロール制御ユニット１１０と、取得された識別子の描画データを第１の記憶装置から読み出し、読み出された描画データを用いてデータ処理を行なう描画データ処理ユニット１２０と、データ処理されたデータに沿って、荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する描画部１５０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】二次元走査に要する時間を短縮することができ、Ｓ／Ｎ比の良い高分解能の画像を取得することができ、ビーム照射による試料の帯電の影響を低減できる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射し走査する手段と、電子線の照射により試料から放出される二次電子を検出する検出器と、検出器からの信号をサンプリングし、サンプリングデータ３６を生成するサンプリング手段３０と、サンプリングデータ３６を合成処理し、合成サンプリングデータ３９を生成する合成手段３３と、合成サンプリングデータ３９から試料の像の画素データ４０を生成する生成手段３４とを備える。サンプリング手段３０は複数備えられ、合成手段３３は、複数のサンプリング手段３０〜３２が生成した複数のサンプリングデータ３６〜３８を合成処理し、合成サンプリングデータ３９を生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は簡単に目的の薄膜試料片が観察視野に入るように多軸ステージ移動することができる電子顕微鏡における薄膜試料位置認識装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を出射する電子線源２１と、電子線の電流量を調整する照射レンズ系２２と、試料２３を保持する試料台２４と、該試料台２４を動作させる多軸ステージ２８と、該多軸ステージ２８の移動を制御する制御ユニット３１と、試料２３を透過した電子を拡大結像する結像レンズ系２５と、電子線の軌道を修正するアライメント偏向器と、前記レンズ系のレンズやアライメント偏向器を制御する制御ドライバと、前記制御ユニット３１を制御するコンピュータ３０と、拡大結像した像をＣＣＤカメラを用いてデジタル情報として取得する手段２６と、前記デジタル情報をコンピュータ３０に記憶する手段３３と、前記デジタル情報をコンピュータで演算する手段３２と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置で撮像された試料の画像を、受像処理装置に伝送する際の欠落やデータ化けを、高速性を損なわずに検出できる仕組みを提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置で撮像された試料の画像又はその一部画像の識別子を生成する。一方、受像処理装置は、受信データに基づいて試料の画像又はその一部画像に対応する識別子を生成し、別に受信した識別子と比較する。二つの識別子が一致しなければ、画像の欠損やデータ化けが発生したと判定する。 （もっと読む）

【課題】ＧＵＩ上に散在する機能を、一箇所に集約することで操作性向上を図った場合、集約する作業自体が手間となってしまう。また、どの機能を集約すればよいかが分らず、集約による操作性向上の恩恵を受けることが難しい。また、不適切な操作（誤操作含む）による、装置や試料に対するトラブルが懸念される。さらに、管理者はＰＤＣＡサイクルによる、プロセス改善を図ることが困難であった。
【課題手段】上記の課題を解決するために、荷電粒子線装置の装置条件を設定する機能を複数表示する操作画面を備えた荷電粒子線装置において、前記操作画面上に、カスタムウィンドウを設け、当該カスタムウィンドウ中に、前記操作画面上に表示された機能を表示することを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。また、カスタムウィンドウ中に設けられた機能に制限を設けた。さらに、カスタムウィンドウ中の機能を使用した時間を記録する記録装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】
半導体パターンの広範囲の撮像領域（ＥＰ）を複数の撮像領域（ＳＥＰ）に分割し，ＳＥＰをＳＥＭを用いて撮像した画像群を画像処理により繋ぎ合せるパノラマ画像合成技術において，繋ぎ合せの手掛かりとなるパターンが少なくても全画像が繋がるＳＥＰを決定すること，およびそのようなＳＥＰを決定できなくてもユーザの要求項目をなるべく満たすＳＥＰを決定することである。
【解決手段】
一部のＳＥＰ間の重複領域に繋ぎ合せの手掛かりとなるパターンが含まれなくても全画像が繋がるケースがあることに着目し，ＳＥＰ配置の最適化により前記ケースを抽出することで全画像が繋がるＳＥＰを決定できるケースが増える。また，そのようなＳＥＰを決定できなくても，複数のＳＥＰ配置の候補とユーザの要求項目を可視化した情報を表示・ＳＥＰを選択させることでユーザの要求項目をなるべく満たすＳＥＰを容易に決定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡に関し、大気圧での気体と固体の反応過程の観察が実現できる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を出射する電子線源１と、該電子線源１から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、試料近傍に設けられたガス導入装置１２と、試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置３５と、画像を記録及び表示する画像出力装置と、これら各構成要素を制御するコンピュータ５０とを搭載した電子顕微鏡において、前記コンピュータ５０は、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】走査コイルに駆動電流を供給するハーフブリッジ回路に印加される正負電圧のバランスを安定化させることにより、電子線走査の安定化、高精度化を図る。
【解決手段】直流電源１８の正極とＧＮＤとの間、ＧＮＤと負極との間に電解コンデンサ３３、３４を設け、通常状態では±ＶCC／２をハーフブリッジ回路３０に印加する。例えば電解コンデンサ３３の両端電圧が下がり、電解コンデンサ３４の両端電圧が上がると、ＭＯＳＦＥＴ４１がオンしたときに電解コンデンサ３４からトランス４２の１次巻線Ｌ１に電流が流れ、同一巻線数の２次巻線Ｌ２に同電圧が生起される。そして、リアクトル４３、ダイオード４４を介して電解コンデンサ３３に電流が流れ込み、電解コンデンサ３３は充電される。その結果、電解コンデンサ３３、３４のそれぞれの両端電圧は速やかにＶCC／２に戻る。 （もっと読む）

概して、一態様において、本開示は、試料を撮像する方法及びシステム、例えば荷電粒子を用いて試料を撮像する方法及び装置を特徴とする。 （もっと読む）