【課題】ネットワークに大きな負荷をかけずに検査画像を通信でき、遠隔コンソールで、色ずれなく操作画面と動画像を表示及び処理できるようにする。
【解決手段】操作画面の情報をビットマップ情報として通信するのではなく、グラフィカルユーザーインターフェースのＩ部品レベルでの情報としてウィンドウの生成やマウスの移動などのイベント情報を通信する。また、操作画面のイベント情報の通信と動画像の通信を分離すると共に、操作画面情報の圧縮方法と動画像情報の圧縮方法を別にする。更に、半導体検査装置の状態、操作者の操作、検査すべきパターンに応じて、動画像情報を必要な部分だけを選択して通信する。 （もっと読む）

【課題】 手動によって装置稼働を停止させることなく、高電圧漏れ電流を自動測定する。
【解決手段】 高電圧漏れ電流測定装置は、電子銃２からエミッション電流を流出させる装置において、電子銃２を駆動する電子銃駆動回路３と、電子銃２の駆動源を構成する高電圧電源４から電子銃駆動回路に流入する電流を測定する電流計５と、電子銃駆動回路３を制御する制御回路１０とを備える。制御回路１０は、電子銃駆動回路３を制御して、電子銃２からエミッション電流を流出させない測定モードとし、この測定モードにおける電流計の電流値を高電圧漏れ電流として取得する。 （もっと読む）

【課題】
周囲の温度変化によってオペアンプの利得が変化し、複数のオペアンプを搭載した回路基板の入力に対する出力がふらつかないようにする。又、この回路基板を荷電粒子線装置に搭載して、入力に対する出力を高精度化する。
【解決手段】
制御手段に備えた増幅回路は、所定の温度範囲で温度に対する抵抗値変化率が第一の正値方向の双曲線特性を有する第一の抵抗と、温度に対する抵抗値変化率が第一の特性とは逆の負値方向の双曲線特性を有する第二の抵抗とを電気的に接続し一体化した抵抗体を有して、光軸ずれ量を減らすオペアンプ増幅を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子顕微鏡に関し、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、鍵を用いて高圧のオン／オフを行なう第１のスイッチと、前記鍵を共通に用いて操作室のオン／オフを行なう際に動作する第２のスイッチと、操作室の開閉を行なう際に動作する第３のスイッチとを設け、これら第１のスイッチから第３のスイッチまでは論理積動作により高圧電源又はフィラメントを制御するようにした構成において、前記第１のスイッチから第３のスイッチまでのうち、少なくとも２個のスイッチを用いて前記高圧電源又はフィラメントを制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの自己磁界がアクティブ磁場キャンセラーに及ぼす影響を回避して、電子線露光装置における環境磁界のキャンセルを良好に行う。
【解決手段】 電子線露光装置１を、電子ビーム１５により生じる自己磁界を偏向器２０の偏向量に応じて決定し、磁気センサ６０により検出された環境磁界からこの自己磁界を差し引いた磁界成分を求め、この磁界成分を打ち消す消去磁界を、電子線露光装置１内に発生させる。 （もっと読む）

【課題】測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
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