【課題】測長ＳＥＭの測定エラーの要因で、装置の稼動状況に最も負荷を与えている修正すべきレシピの順位付けと測定エラーのシーケンス検知を容易に視覚的に判断できるエラー要因抽出の表示方法及びその表示システムを提供することにある。
【解決手段】ビジュアル情報管理部１１０は、測長ＳＥＭから取り込んだログ情報等から、エラー率分布やエラー内訳グラフ、相関グラフなどのエラー要因抽出グラフを作成する。ビジュアル情報制御手段１１８のグラフ表示処理部１１８Ａは、エラー率算出処理部１１８Ｂによって求めた総処理数におけるロット或いは測定点エラー率からエラー率分布を作成する。強調表示処理部１１８Ｃは、入力手段１２０のパラメータで指定された管理レシピをグラフ上に強調表示する。等高線表示処理部１１８Ｄは、グラフ上でエラー数の面内分布を等高線で表示する。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンを観察できる試料観察方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料観察方法は、電子ビームを用いて試料のパターンを観察する。この方法は、試料に電子ビームを照射し、電子ビームの照射によって生じるミラー電子を検出し、検出されたミラー電子から試料の画像を生成する。電子ビームを照射するステップは、両側にエッジを有する凹パターンに電子ビームが照射されたときに照射電子が凹パターンにてＵターンしてミラー電子になるようにランディングエネルギーＬＥが調整された電子ビームを試料に照射する。好適な条件は、ＬＥＡ≦ＬＥ≦ＬＥＢ＋５[ｅＶ]である。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子源の異常放電を正確に検出可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源１２と、該荷電粒子源１２に加速電圧を印加する加速電圧源３と、
コアＣにギャップＧを有し前記加速電圧源３と荷電粒子源１２間に1次側巻き線が接続されたトランス３０と、
該トランスの２次側巻き線Ｎ２に流れる電流又は発生する電圧に基づいて１次側巻き線Ｎ１に流れる電流を検出する１次側電流検出回路と、
該１次電流検出回路の出力に基づいて放電を検出する放電検出回路を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム条件が変化するごとにエネルギー幅や分解能等を測定することなく、これらのパラメータを容易に把握することが可能な電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子銃と、当該電子銃から放出される電子の条件を調整する調整素子と、当該調整素子条件を設定する設定装置を備えた電子顕微鏡において、前記設定装置によって設定される調整素子条件に対する前記電子銃から放出される電子のエネルギー幅、或いは分解能に関する情報、或いは前記調整素子条件と前記エネルギー幅、或いは分解能との関連式を記憶する記憶媒体と、前記設定装置による前記調整素子条件の設定に基づいて、前記記憶された、或いは前記関連式に基づいて演算されるエネルギー幅、或いは分解能に関する情報を表示する表示装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡の実機の機能を可視化して制御する操作装置に関し、小中校、高等学校、大学等における教育用ＳＥＭや、ＳＥＭ操作の初心者用シミュレータ等として用いたり、電子線状態を実験パラメターとして問う場合が多い表面解析分野などに用いたりすることを目的とする。
【構成】走査型電子顕微鏡の実機の機能および電子線ビームの軌道を可視化した実機模式図上に表示された機能の形状あるいは表示された電子線ビームの位置を調整する操作手段と、操作手段により機能の形状あるいは表示された電子線ビームの位置が調整されたときに調整後の状態を表示する表示手段と、検出された調整後の調整された形状あるいは調整された位置に対応して、実機の機能に対する電圧あるいは電流を算出する算出手段と、算出手段によって算出された電圧あるいは電流を実機の該当機能に供給する実行手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
プロセッサエレメント（ＰＥ）に対する耐故障性を有する外観検査装置を提供すること。また、検査を中断することなく故障状況が表示される外観検査装置を提供すること。
【解決手段】
接続されたＰＥの状態に応じてＰＥへの画像分配制御を行う画像分配制御部３２を有し、画像分配制御部３２は、ＰＥの接続状態を監視するＰＥ状態監視部３８と、接続されたＰＥの数に応じて処理負荷値を各ＰＥに割振るテーブル設定部３６と、処理負荷値に応じて画像検出速度を設定する検出速度設定部３１とを備える外観検査装置。また、検査状態や処理速度、接続されているＰＥ数を表示するモニタを備えた外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線照射による帯電の影響を回避しつつ、視野ずれの抑制を実現するのに好適な試料像形成方法，荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、試料上に荷電粒子線を走査し、試料から放出された二次信号に基づいて画像を形成する試料像形成方法において、複数回の走査で得られる複数の画像を合成して合成画像を複数形成し、当該複数の合成画像間の位置ずれを補正して画像を合成し、更なる合成画像を形成することを特徴とする試料像形成方法、及びこの方法を実現するための荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、プロセス変動等によるレシピのエラー発生要因を速やかに特定する走査電子顕微鏡に用いられるレシピの診断装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、走査電子顕微鏡を動作させるレシピの診断装置であって、当該レシピにその条件が設定されるパターンマッチングの一致度を示すスコア、当該パターンマッチング前後の座標ずれ、或いはオートフォーカス前後のレンズの変動量に関する情報等の推移を、表示装置に表示させるプログラムを備えた診断装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】試料の変換操作方法及びシステムに関し、遠隔地から操作感覚に合った動きをさせることができる試料の遠隔操作方法及びシステムを提供することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡側に設置されたパソコン１と遠隔地側に設置されたパソコン２と、これらパソコン間を接続するネットワーク３と、遠隔地側のパソコン２に接続された、移動量に応じたパルスを発生するパルス発生器１０と、該パルス発生器の出力をカウントレートに変換するパルスカウント回路１１と、変換したカウントレートを前記ネットワーク３に送信するカウントレート送信手段と、電子顕微鏡側に設けられたカウントレート受信手段と、受信したカウントレートをパルスに変換するパルス発生回路２０と、変換されたパルスをモータ駆動制御回路４に入力して、該モータ駆動制御回路の出力で電子顕微鏡の試料ステージを駆動する駆動手段６と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】加速電圧に含まれるリップルを小さくする。
【解決手段】 位相制御手段１４からの位相制御信号により三相交流電源からの各相電圧の大きさをそれぞれ制御する制御素子１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ、各制御素子を介した相電圧を直流電圧に変換して負荷に印加する交流直流変換回路１５、交流直流変換回路１５の出力を検出する検出回路１８、負荷に印加する電圧を設定する加速電圧設定回路１９、各相電圧間の各相間電圧を直流電圧に変換する相間電圧検出回路２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃ、基準相間電圧設定回路３４、基準相間電圧と相間電圧検出回路２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃからの電圧と検出回路１８からの出力と加速電圧設定回路１９の出力とに基づいて位相制御手段１４を制御する信号を出力する制御手段を備えた。 （もっと読む）