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国際特許分類[H01L21/56]の内容

国際特許分類[H01L21/56]に分類される特許

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【課題】ワークに供給された顆粒樹脂から樹脂粉が飛散し難くハンドリング性がよくメンテナンスコストを低減させた樹脂モールド装置を提供する。
【解決手段】樹脂供給部は、ワークW上に顆粒樹脂70を供給する顆粒樹脂供給部B2を備えており、顆粒樹脂供給部B2から顆粒樹脂70を供給されたワークWをプレス部Cまで移送する風防が設けられたワーク移送機構B3が、ロボットの移動範囲(搬送エリア11)とプレス部Cとの間に併設されている。 (もっと読む)


【課題】一括封止法の途中で得られる一括封止基板の反りを防止又は軽減する。
【解決手段】本発明は、基板上に複数の半導体素子が搭載され、その素子搭載面を一括封止した封止部を設けた一括封止基板であって、前記封止部は、少なくとも一つの半導体素子を含む個片化単位間の境界の少なくとも一部領域に当該境界と平行に延びるリブを有しており、当該リブが、封止材によって当該封止部と一体成形されている。 (もっと読む)


【課題】被供給部の水平面内に樹脂を偏りなく供給することのできる技術を提供する。
【解決手段】搬送ハンド6A(樹脂供給装置)は、同一水平面内で仕切られて配置された鉛直方向に貫通する複数のキャビティ用孔41aを有し、複数のキャビティ用孔41aにキャビティ内樹脂35がセットされるセット部41と、セット部41下側に設けられ、複数のキャビティ用孔41aの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部43とを備えている。この搬送ハンド6Aは、水平面内の一定方向に複数のキャビティ用孔41aに対してキャビティ用シャッタ部43を開いていき、キャビティ用シャッタ部43を閉じて複数のキャビティ用孔41aにセットしたキャビティ内樹脂35を落下させてキャビティ31a(被供給部)へ供給していく。 (もっと読む)


【課題】ノンリード型の半導体装置の品質の向上を図る。
【解決手段】半導体チップ2を樹脂封止する封止体と、前記封止体の内部に配置されたタブ1bと、タブ1bを支持する吊りリード1eと、それぞれの被接続面が前記封止体の裏面の周縁部に露出した複数のリードと、半導体チップ2のパッドと前記リードとをそれぞれ接続する複数のワイヤとからなり、吊りリード1eにおける前記封止体の外周部に配置された端部は、前記封止体の裏面側において露出せずに前記封止体によって覆われており、したがって、樹脂成形による吊りリード1eのスタンドオフは形成されないため、吊りリード切断時に、前記封止体の裏面の角部を切断金型の受け部の吊りリード1eの切断しろより十分に広い面積の平坦部によって支持することができ、レジン欠けの発生を防止してQFN(半導体装置)の品質の向上を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】寸法精度良くダイシングすることができるモジュール部品の製造方法、モジュール部品の製造装置及びモジュール部品集合体を提供する。
【解決手段】モジュール部品の製造方法は、回路基板の第一の面に複数の電子部品及び樹脂層が配置されたモジュール部品集合体の加工工程S01と、前記モジュール部品集合体を加熱する加熱工程S02と、前記加熱された前記モジュール部品集合体をダイシングするダイシング工程S06とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
電子部品製造用粘着テープを密封樹脂封止工程以後に、追加的な加熱工程なしに常温でのディテーピングが可能であり、また、ラミネーション工程条件の要求特性をいずれも満足させ、既存の電子部品の製造工程に使われた粘着テープの粘着剤残渣及び密封樹脂漏れの限界を改善しうる電子部品製造用粘着テープを提供する。
【解決手段】
耐熱基材と、耐熱基材上に粘着剤組成物が塗布された粘着剤層とを含む電子部品製造用粘着テープであって、粘着剤組成物は、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、熱硬化剤、エネルギー線硬化型アクリル樹脂及び光開始剤を含み、粘着剤層は、熱硬化及びエネルギー線によって硬化されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電解めっき法を用いて形成される外部端子を有する半導体装置の製造において、欠けのない封止体を形成することのできる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウエハの表面が第1ステージの表面と対向するように、第1温度(例えば80〜100℃)に加熱された第1ステージの表面上に半導体ウエハを配置して、半導体ウエハの裏面に接着剤を貼り付けた後、半導体ウエハに第1温度よりも高い第2温度の熱処理を施す。さらに、半導体ウエハおよび接着剤を切断領域に沿って切断して複数の半導体チップを取得した後、第3温度(例えば40〜80℃)に加熱された第2ステージの表面上に母基板を配置して、母基板の上面に接着剤を介して半導体チップを固定する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で安価な小型の樹脂封止装置を提供する。
【解決手段】上金型21と、中間金型22と、前記上金型21とで前記中間金型22を挟持する下金型23とを備え、前記上金型21と前記中間金型22とで基板を挟持するとともに、前記中間金型22の貫通孔内に配置された電子部品を樹脂材料で樹脂封止する樹脂封止装置であり、前記下金型23を、前記上金型21に対向する成形位置と、側方に位置する非成形位置とに移送する移送手段と、前記中間金型22を保持したままの状態で上下動できるとともに、前記中間金型22を所定の高さ位置で保持できる中間金型保持手段40と、前記下金型23単体で樹脂供給位置に移送できるとともに、前記中間金型22を載置したままの状態で前記下金型23を基板供給位置に移送できる制御手段54と、を備えた構成とする。 (もっと読む)


【課題】銅を主成分とするボンディングワイヤを備えた樹脂封止型半導体装置の開封処理において、ボンディングワイヤが切断されないようにする。
【解決手段】封止樹脂の一部が除去されてボンディングワイヤの一部又は全部が露出している状態の半導体装置に対して、濃硫酸又は発煙硫酸を用いて保護膜形成工程が行なわれる。保護膜形成工程により、露出している部分のボンディングワイヤの表面に保護膜が形成される。その半導体装置に対して、硝酸成分を含む溶解液を用いた封止樹脂の除去処理が行なわれる。 (もっと読む)


【課題】回路基板が薄くとも、パッケージ反りを抑制することができる半導体パッケージを提供する。
【解決手段】(A層)弾性率が5GPa以上25GPa以下である薄膜層2、(B層)弾性率が0.1GPa以上1GPa以下である封止層3、(C層)回路基板層4、を順番に有し、A層2の厚みが1〜200μmであり、B層3の厚みが100〜600μmであり、C層4の厚みが1〜100μmであり、パッケージ反りが235μm以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


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