【課題】 評価や実装等が容易で生産性が良く、出力ドリフトが小さく、安定した出力が得られ、さらに外部からの衝撃に対しても堅牢で、且つ２軸の角速度の検出が可能である安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成されたビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、ビーム３ａとビーム３ｄの接続部をビーム３ｅの一端で支え、ビーム３ｂとビーム３ｃの接続部をビーム３ｆの一端で支え、さらに、ビーム３ｅおよびビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、ビーム３ｇ、３ｈを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用振動子を用いる。 （もっと読む）

【課題】
小型薄型化及び低コスト化を図りつつ、出力変動を防止することができる角速度センサ及び電子機器を提供すること。
【解決手段】
ビーム部２３０が、中継基板部２２０が回路基板部２１０を弾性的に保持するように回路基板部２１０と中継基板部２２０とを架け渡しているので、外部応力の緩和と振動絶縁を行うことができ、出力変動を防止することができる。しかも、回路基板部２１０と中継基板部２２０とビーム部２３０とが１つの基板２００によって構成されているので、３点の部品を１枚の基板２００により構成することができ、小型薄型化及び低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】固定部２０と、固定部２０の北側に連結された北側振動腕２１と、固定部２０の南側に連結された南側振動腕２２とを備える。北側振動腕２１は、固定部２０の北側に連結されると共に固定部２０の北側に延在する北側検出腕２３と、北側検出腕２３の固定中央部２０Ａとは反対側の端部に連結された北側梁部２４と、北側梁部２４の両端にそれぞれ連結された一対の北側駆動腕２５および加重部２６とを有する。南側振動腕２１は、固定部２０の南側に連結されると共に固定部２０の南側に延在する南側検出腕２７と、南側検出腕２７の固定部２０とは反対側の端部に連結された南側梁部２８と、南側梁部２８の両端にそれぞれ連結された一対の南側駆動腕２９および加重部２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を傾けて固定することなく、角速度センサの検出軸と、実際の回転が加わる軸との角度が大きくても精度の良い角速度を検出可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】圧電振動片の振動を利用した角速度センサにおいて、角速度を検出する第１軸および該第１軸と直交する方向に設定された第２軸とを有し、第１軸の検出感度に対して第２軸の検出感度を１５〜５５％とした。このことで、本発明の角速度センサを取付角度が大きなナビゲーション装置に備えた場合、角速度センサの検出軸と、実際の回転が加わる軸との角度が４０°までの取り付けにおいて、±１５％以下の感度補正ですみ、この取付角度に起因する出力感度をソフトウェアに基づいた演算処理により補正をすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型で精度の高い圧電振動子と、その圧電振動子を用いた小型で精度の高い物理量センサーを提供することができる。また、生産効率に優れ、生産性の高い圧電振動子の製造方法を提供することができ、さらには、小型で精度の高い圧電振動子の製造方法を提供することができる。
【解決手段】基部と基部から突出する振動脚とを備えた圧電振動片を有し、この圧電振動片に電圧を印加するための電極を備えた圧電振動子において、圧電振動片の電極の上面に絶縁膜が形成されることを特徴とする。また、その製造方法は、圧電材料を加工し、圧電振動片を形成する振動片形成工程と、圧電振動片上に電極を形成する電極形成工程と、圧電振動片に電圧を印加して振動脚を振動させ振動脚の共振周波数を測定する振動測定工程と、電極の上面に絶縁膜を成膜して振動脚が所望の共振周波数になるよう調整する振動調整工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】外部からの歪みによる影響を受けることなく振動特性の安定化を図ることができる振動型ジャイロセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサ１０は、角速度を検出する振動素子１と、振動素子を支持する支持基板２と、支持基板２と電気的に接続され外部接続端子３を有する中継基板４と、支持基板２と中継基板４との間を電気的に接続する配線部材５とを備え、配線部材５は、支持基板２の周囲に複数配置された弾性材料からなり、中継基板４に対して、配線部材５の先端部を挿着して電気的機械的に接合される。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、弾性表面波伝搬経路に電導性溶液が接した場合でも正常に動作出来る簡易な構成の弾性表面波周回素子、及びこのような素子を複数使用して複数の溶液中の物質を同時に短時間で測定出来る溶液中の物質測定装置を提供することである。
【解決手段】この発明の１つの弾性表面波周回素子は：球形状の一部であり弾性表面波が周回可能な少なくとも１つの環状弾性表面波伝搬経路１２ａが基材１２の表面で水平面ＨＬから立ち上がっている。上記経路において鉛直方向の上半部の領域に弾性表面波励起検出手段１４が弾性表面波を励起周回させ周回後に検出する。基材表面の上記上半部が上記経路の除外領域を支持部材３６により支持されている。上記検出手段への溶液の接触が溶液接触阻止手段により阻止される。上記経路の一部が溶液に浸された後に上記検出手段からの弾性表面波検出信号を基に溶液中の物質測定手段２０が溶液中の物質を測定する。 （もっと読む）

【課題】センサ素子としての音叉状水晶片の配置精度を確実にして、角速度の検出精度を高めた角速度センサを提供すること。
【解決手段】少なくとも一対の音叉腕６が音叉基部５から長手方向に延出した音叉状水晶片１を有し、前記音叉腕には音叉振動を励振する駆動電極とコリオリの力に基づいた電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記音叉基部の一主面には前記駆動電極及び前記センサ電極から延出した引出端子を有するセンサ素子１を備え、前記音叉基部を平面視矩形状とした容器本体の長手方向の一端側の音叉用台座７に固着して、前記引出端子をワイヤーボンディングによって導出してなる角速度センサにおいて、前記音叉基部には第１嵌合部１０を設けて前記音叉用台座には第２嵌合部１１を設け、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部とを嵌合して、前記音叉状水晶片と前記容器本体との長手方向を一致させた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電定数の低下や基点電圧変動量の増加を抑制し、特性向上を図った角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】シリコン基板上には、チタンを主成分とするＴｉ層からなる第１密着層６８と、チタン白金を主成分とするＰｔ−Ｔｉ層からなる下部電極７２と、ランタン添加チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする配向制御層７８と、鉛を含有する圧電材料からなる圧電層８０と、タングステンを主成分とするＷ層からなる第２密着層７６と、金を主成分とするＡｕ層からなる上部電極７４とを積層した構成である。 （もっと読む）