【課題】従来よりもさらに加工品質を向上させることが可能なレーザ加工機用電源装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器１に対してレーザ発振用の高周波の電圧パルスを出力する電力変換用のインバータ１２の動作を制御する制御回路１５を備え、制御回路１５は被加工物の加工条件に応じて電圧パルスのキャリア周波数をパルス周波数変調制御するための情報をＬＵＴ１７から生成し、指令パルス発生回路１９はこのパルス周波数変調制御情報を反映させてパルス周波数変調された指令パルスを発生し、この指令パルスに基づいてゲートパルス生成回路２０からインバータ１２のスイッチング素子をオンオフ制御するゲートパルスを生成することでインバータ１２からパルス周波数変調された電圧パルスを出力する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【課題】稼動時の消費電力を正確かつ容易に測定できるガスレーザ装置を実現する。
【解決手段】入力された交流を直流に変換するＤＣ電源部２１およびＤＣ電源部２１から出力された直流を放電管２４内のレーザガスを放電励起する高周波電圧に変換するＲＦ電源部２２を有するレーザ電源装置２０と、入力された交流を放電管２４にレーザガスを送るブロワ２５を駆動する交流に変換する駆動装置２５とを備えるガスレーザ装置１は、ＤＣ電源部２１の出力電流値および出力電圧値とＤＣ電源部２１による入力電力から出力電力への変換効率とを用いてレーザ電源装置２０への入力電力の推定値を算出する第１の推計手段１１と、駆動装置２３の出力電流値を用いて駆動装置２３への入力電力の推定値を算出する第２の推計手段１２と、レーザ電源装置２０および駆動装置２３への各入力電力の推定値に基づいてガスレーザ装置１の消費電力値を算出する電力計算手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の電源がある場合にベース放電および最大注入電力を短時間で調整する。
【解決手段】複数の放電管（２１、２２）と対応する複数の電極（２３、２４）とを有するガスレーザ発振器における複数のレーザ電源（１１、１２）の指令装置（１０）は、複数のレーザ電源の指令を作成する指令作成部（５）と、作成された指令をバイアス指令、出力指令、オフセット指令およびゲイン指令とに分離する分離部（３６）とを具備し、バイアス指令および出力指令は複数のレーザ電源に対して共通であり、オフセット指令およびゲイン指令は複数のレーザ電源のそれぞれの放電管に少なくとも応じて定まり、さらに、複数のレーザ電源に対して共通のバイアス指令および出力指令を複数のレーザ電源に送信すると共に、複数のレーザ電源の放電管に少なくとも応じて定まるオフセット指令およびゲイン指令を複数のレーザ電源に対応してシリアルで送信する送信部（３７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、該マスタオシレータから出力された前記パルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータと前記増幅装置とを制御するコントローラとを備えてもよい。前記マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも１つの光シャッタと、を備えてもよい。前記コントローラが、前記光シャッタを通過したパルスレーザ光が前記増幅装置を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記光シャッタの開閉と前記増幅装置の放電とを制御してもよい。 （もっと読む）

【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置における待機時間中での無駄なエネルギ消費を抑える。
【解決手段】ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７におけるベース放電が行われている待機状態であらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＢに移行する制御を行う。省エネモードＢでは、ベース放電を停止させる。その後、さらにあらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＡに移行する制御を行う。省エネモードＡでは、ベース放電を停止させることに加え、レーザガス圧を低下させるとともに、温調器９における冷却水の設定温度領域を広くする。 （もっと読む）

【課題】高効率に高電圧短パルスを負荷に印加可能な高電圧パルス発生装置、及びこれを用いた放電励起ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】高電圧パルスを発生するパルス発生回路２４と、発生した高電圧パルスを圧縮するパルス圧縮回路２５とを備え、パルス発生回路２４及びパルス圧縮回路２５を構成する要素部品のうち、少なくとも一部が絶縁性冷媒に満たされた容器中に設置され、容器中に設置された要素部品と容器の外部に設置された要素部品との間が、電流導入端子４４を介して電気的に接続される高電圧パルス発生装置において、電流導入端子４４が、高圧側及び接地側の通電部材５７、５８を備え、前記高圧側及び接地側の通電部材５７、５８のうち少なくとも一方が面形状となっている。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器からの送信に異常があった場合のレーザ発振器の不所望な動作を防止する。
【解決手段】コントローラ１は、所定周期で変化する交番信号Ｓ２を生成し、この交番信号Ｓ２をレーザ発振器２に送信する交番信号送信回路１１，１３を有し、レーザ発振器２は、コントローラ１からの交番信号Ｓ２に対応して周期的に変化する戻り信号Ｓ３を生成し、この戻り信号Ｓ３をコントローラ１に送信する戻り信号送信回路２１，２６を有する。さらにコントローラ１は、レーザ発振器２からの戻り信号Ｓ３を監視し、戻り信号Ｓ３が異常であると判定すると、レーザ発振器２によるレーザ照射を停止するための停止制御信号Ｓ５を出力する監視回路１２，１５を有する。 （もっと読む）

【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、オシレータ及び増幅器にそれぞれ設けられ、オシレータ放電回路及び増幅放電回路にそれぞれ印加される充電電圧に基づいてトリガ信号からオシレータ放電及び増幅放電の開始までの総所要時間のジッタを補正する複数のジッタ補正回路と、オシレータ放電回路及び増幅放電回路の特性の変化に基づいて複数のジッタ補正回路をそれぞれ補正する複数のドリフト補正回路とを具備する。 （もっと読む）