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国際特許分類[H01S3/106]の内容

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【課題】発振スペクトル分布が狭いレーザ光を実現可能なモード同期レーザ光源装置を提供する。
【解決手段】
注入電流Iが注入されてキャリアが生成されかつキャリアの消費によりレーザ光Pのパルスを増幅すると共にキャリアの密度変化によりレーザ光Pのパルス強度に依存する自己位相変調と等価な位相変調を生じる半導体光増幅器1と、半導体光増幅器1から射出されるレーザ光Pのパルスの発振波長を可変とする掃引用変調部3と、掃引用変調部3により変調されたレーザ光Pのパルスを半導体光増幅器1に帰還させてレーザ発振現象を生じさせるリング共振器6と、異常分散領域で用いられかつリング共振器6を導波中のレーザ光Pのパルスの波長に依存してレーザ光Pのパルスの帰還時間を変化させる分散補償器5とを有する。 (もっと読む)


【課題】出力されるレーザー光のエネルギー分布はフラットで、周辺部にエネルギーが分散することのないレーザー光束を得ることができるレーザー発振器を得る。
【解決手段】半導体レーザーからの波長808nmの光を波長1064nmの光に変換するYVO4結晶40と、YVO4結晶40を挟んで対向して配置された全反射ミラー30および部分透過ミラー60を有してなるレーザー共振器10を備え、全反射ミラー30は波長808nmの光を透過し波長1064nmの光を全反射する反射面を備え、部分透過ミラー60は波長1064nmの光のうち一部のみを透過し残りを反射する反射面を備え、全反射ミラー30と部分透過ミラー60はともに平面ミラーであり、先端部のエネルギー分布が平坦なレーザー光を出力する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光源ユニットにおいて、所望の波長系列でパルスレーザ光を出射する。
【解決手段】レーザロッド51を挟んで対向する一対のミラー53、54を含む光共振器内に、Qスイッチ55と、複屈折フィルタ56とが挿入される。複屈折フィルタ56は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。回転制御部60は、出射すべきパルスレーザ光の波長系列に含まれる波長の数に応じた所定の回転速度で複屈折フィルタ56を回転させる。発光制御部61は、フラッシュランプ52からレーザロッド51に励起光を照射した後、複屈折フィルタ56の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでQスイッチ55をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 (もっと読む)


【課題】レーザ光源ユニットにおいて、複屈折フィルタの回転速度を上げることなく、複数の波長を高速に切り替える。
【解決手段】レーザロッド51を挟んで対向する一対のミラー53、54を含む光共振器内に、Qスイッチ55と、複屈折フィルタ56とが挿入される。複屈折フィルタ56は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。駆動手段57は、複屈折フィルタ56を、回転変位に対する透過波長の変化特性の不連続点を含む所定の範囲で往復回転運動させる。発光制御部59は、フラッシュランプ52からレーザロッド51に励起光を照射した後、複屈折フィルタ56の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでQスイッチ55をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 (もっと読む)


【課題】レーザ光源ユニットにおいて、所望の波長系列でパルスレーザ光を出射する。
【解決手段】レーザロッド51を挟んで対向する一対のミラー53、54を含む光共振器内に、Qスイッチ55と複屈折フィルタ56とが挿入される。複屈折フィルタ56は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。トリガ制御回路30は、出射すべきパルスレーザ光の波長系列に含まれる波長の数に応じた所定の回転速度で複屈折フィルタ56を回転させる。また、トリガ制御回路30は、フラッシュランプ52からレーザロッド51に励起光を照射した後、複屈折フィルタ56の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでQスイッチ55をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 (もっと読む)


【課題】 波長掃引の高速化と、発振スペクトル線幅の狭小化と、を同時に達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体を備えた光共振器と、前記光利得媒体より放出された光を波長に応じて分散させる分散素子と、前記分散素子を経た特定の波長の光を反射または透過する波長選択部と、を有する光源装置であって、前記光利得媒体より放出された光が前記光共振器内を一往復する間に前記波長選択部で複数回の波長選択がなされ、該複数回の波長選択により得られた重複した波長帯域の光を出射させる光源装置。 (もっと読む)


【課題】レーザ光源ユニットにおいて、複数の波長のパルスレーザ光を切り替えて出射する。
【解決手段】レーザロッド51を挟んで対向する一対のミラー53、54を含む光共振器内に、Qスイッチ55が挿入される。波長選択手段56は、透過波長が相互に異なる複数のバンドパスフィルタを含み、複数のバンドパスフィルタを光共振器の光路上に選択的に挿入する。トリガ制御回路30は、光共振器の光路上に挿入されるバンドパスフィルタが所定の切替え速度で切り替わるように、波長選択手段56を駆動する駆動手段57を制御する。また、トリガ制御回路30は、フラッシュランプ52からレーザロッド51に励起光を照射した後、波長選択手段56が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した透過波長のバンドパスフィルタを前記光路上に挿入しているタイミングでQスイッチ55をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 (もっと読む)


【課題】構造の簡素化が図られた多光周波数発生光源を提供する。
【解決手段】多光周波数発生光源は,光共振器と,前記光共振器内に配置され,発生する光周波数が互いに異なり,かつ光学的,電気的に結合されない複数の微少発光体を含む発光部材と,前記光共振器内に前記発光部材と共に配置され,複数または単一の光周波数を選択するための光学部材とを具備する。 (もっと読む)


【課題】高出力ビームが得られ、エネルギー効率に優れたレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、全反射ミラー11,部分反射ミラー12およびブリュースターウィンドウ13を含むレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光を時間的に分配するための音響光学素子21と、ウィンドウ14,ミラー15,16および偏光回転ミラー17を含むレーザ増幅器などで構成される。レーザ光は、レーザ増幅器内に配置された放電励起ガス2を複数回通過する。 (もっと読む)


【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するEUV光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、(i)短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、(ii)レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも1つのCOレーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、COレーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも1つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 (もっと読む)


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