【課題】露光装置の指令によりレーザ運転の全時間に対するパルスレーザ光の発振時間が変化しても、ビームダイバージェンスの大きさとビームポインティングの角度変化を基準レベル以内に収めることができるＭＯＰＯシステムを有する露光装置用のレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光装置用のレーザ装置において、ＭＯＰＯシステムの発振段と増幅段の間に、出射されたレーザ光のビームダイバージェンスの大きさおよびビームポインティングの角度変化を基準レベル以下に収めるような拡大率に設定されたビームエキスパンダを設ける。 （もっと読む）

本発明は、ダイオードレーザ（３１）を備えるポンプ光源（２８ａ）の駆動方法に関するものであり、前記ダイオードレーザ（３１）は、レーザ装置（２６）を光学的にポンピングするためのポンプ光（２８ａ）を形成する。本発明によれば、ポンプ光源（３０）が第１の動作モードでは、ダイオードレーザ（３１）が所定の目標温度をとるように制御される。この目標温度は、レーザ装置（２６）のレーザアクティブな固体（４４）の吸光係数が最大値となる領域にある。前記ポンプ光源（３０）は、前記第１の動作モードに続く第２の動作モードで、前記レーザ装置（２６）のレーザアクティブな固体（４４）に反転分布を生じさせるポンプ光（２８ａ）を形成するように制御される。前記ポンプ光源（３０）は、前記第２の動作モードに続く第３の動作モードで、前記レーザ装置（２６）でレーザモードを活性化するようなポンプ光（２８ａ）を形成するように制御される。第３の動作モードでの制御持続時間は、第２の動作モードでの制御持続時間よりも短く、および／または第３の動作モードでの制御電流（ｉ）は、第２の動作モードでの制御電流（ｉ）よりも大きい。
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【課題】高い性能を維持することが可能なレーザ光学装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光出射部と、レーザ光出射部より出射されたレーザ光を受光するレーザ光受光部と、レーザ光出射部より出射されたレーザ光をレーザー光受光部に導く集光光学ユニット３と、集光光学ユニットを移動させるアクチュエータ８，９と、レーザ光受光部に導入されたレーザ光の強度を検出する強度検出部と、強度検出部で検出されたレーザ光の強度に基づいて集光光学ユニットによって導かれるレーザ光がレーザ光受光部の入射面内の中心に向かうようにアクチュエータの作動を制御する制御部７と、を有するレーザ光学装置において、アクチュエータは、圧電素子と、該圧電素子の励振により微小振動を発生し、集光光学ユニットに直接または間接的に摩擦力が働くように接触している振動体と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ＡＳＥ光の累積により受信端で波長多重信号の各信号光レベルが相対的に小さくなることを防止して、ＡＳＥ光によらず一波長あたりの信号光レベルを一定に制御する。
【解決手段】 光増幅部１１の出力を光波長分離部で各信号光に分離し、各信号光のレベルに応じた電気信号を光／電気変換部１６〜１８で得て、演算部１９へ入力する。演算部１９において、各信号光のレベルから平均値を算出して、この値が一定になるように出力制御部２０を介して光増幅部１１に対してフィードバック制御をかける。信号光以外の波長を分離する光波長分離部１２により出力された信号光レベルにより、出力制御が行われるので、ＡＳＥ光レベルの影響を受けることがない。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高いエネルギー、例えば、従来の技術において取り扱うことのできる短パルスレーザー光のエネルギーの数１０倍〜数１００倍程度の高いエネルギー（具体的には、例えば、数１０ｍＪ〜数１００ｍＪである。）の短パルスレーザー光のパルス幅を圧縮する。
【解決手段】２枚の平板を所定の間隙を開けて平行に配置して２枚の平板間に中空コアを形成しかつ中空コア内に希ガスを存在させるとともに中空コア内を短パルスレーザー光が伝搬するようにした中空導波路の中空コア内に、線状に集光された短パルスレーザー光の線状の延長方向が、中空コアの線状に集光された短パルスレーザー光の入射側端面における間隙方向と直交する自由方向に沿うように、線状に集光された短パルスレーザー光を入射して、該入射した短パルスレーザー光を中空コア内で伝搬させて該入射した短パルスレーザー光のスペクトル幅を拡げる。 （もっと読む）

【課題】希土類イオンを添加した固体レーザ媒質を備えた固体レーザ発振装置において、蛍光スペクトル帯域をより有効に活用する。
【解決手段】固体レーザ発振装置１の共振器内に、固体レーザ媒質11の蛍光スペクトルにおける最大ピークの波長の光を少なくとも一部吸収および／または反射し、該最大ピークの波長以外のスペクトル波長の光との強度差を小さくする光フィルタ15を備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化による発振波長の変動を十分に抑制する。
【解決手段】固体レーザ筐体２０の内部の気体圧力と外気圧に差があると、箱体２０ａの壁の薄肉部２１が変形して固体レーザ筐体２０の体積を変化させ、固体レーザ筐体２０の内部の気体圧力を外気圧と等しくする。
【効果】環境温度に変化があっても、固体レーザ筐体２０の内部の気体圧力が変化せず、屈折率も変化せず、従って光路長も変化しないため、発振波長が変動することがなくなる。 （もっと読む）

【構成】 ２本のNd:YAGロッド４，４の間に、PMMAからなる熱レンズ効果の補償片６を挿入する。補償片６は筒状の治具１０の内部に封入し、治具１０の両端にロッド４，４を固定する。
【効果】 固体レーザーの熱レンズ効果を補償できる。 （もっと読む）

【課題】 雑音指数の改善およびコストの低減が可能な光増幅器を提供する。
【解決手段】 入力端１１に入力した被増幅光は光増幅媒体２０において光増幅されて出力端１２から出力される。出力端１２から出力される光のレベルは出力光モニタ部４０により検出される。制御部５１は、出力光モニタ部４０により得られた出力光レベルが一定となるように、励起部３０により光増幅媒体２０に供給される励起エネルギを調整して、ＡＬＣ制御が行う。制御部５１は、出力光モニタ部４０により得られた出力光レベルに基づいて、入力端１１に入力する光のレベルを監視する。また、制御部５１は、出力光レベルと第１基準出力光レベルとを対比して、出力光レベルが第１基準出力光レベルより低下したと判断したときに、励起部３０により光増幅媒体２０に供給される励起エネルギの最大供給量を低下させて、出力光レベルを第１基準出力光レベルより更に低下させる。 （もっと読む）

【課題】 パルス波形の整形を容易かつ確実に行うことを可能としたファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ファイバレーザ１から出力された光を位相変調部２に導いて、所望の位相変調を付与することで、ファイバレーザ１内における位相分散を補償し、パルス圧縮を行う。位相変調部２で付与する位相変調量は、出力光を光分岐部３で分岐し、そのパルス幅をパルス幅評価装置４で評価して、位相変調部２を制御する位相変調量制御部５へと導くことで、フィードバック制御を行うことにより、調整される。 （もっと読む）