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国際特許分類[H01S3/13]の内容

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【課題】レーザ光源を露光光源とする場合に、レーザ光のスペクトルの状態の露光パターン又は結像性能に対する影響をより正確に評価する。
【解決手段】レーザ光LBを出力するレーザ光源16の評価方法において、露光本体部10側の分光計8でレーザ光LBのスペクトルを計測することと、分光計8による計測結果からレーザ光LBの中心波長を求めることと、そのスペクトル及び中心波長から、レーザ光LBの各波長におけるその中心波長からのずれ量と光強度とに対応する波長オフセットの情報を求めることと、を含む。 (もっと読む)


【課題】光出力を正確に制御して長期的に安定した運用が可能な構成のレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光をモニタ光と出力光とに分離する部分反射ミラー57と、部分反射ミラー57からのモニタ光の強度を検出する光出力モニタ装置60と、光出力モニタ装置60の検出値に基づいてレーザ光源の出力を制御して部分反射ミラー57からの出力光の強度を制御する制御部80と、所定の校正時期において部分反射ミラー57からの出力光の強度を検出するパワーメータ装置72とを備え、制御部80は、パワーメータ装置72の検出値に基づいて光出力モニタ装置60の出力を校正するようになっている。 (もっと読む)


【課題】電磁波を発生させ且つ電磁波の周波数の精度を向上させる。
【解決手段】波長可変光源11、12と、波長固定光源13と、波長固定光源13の出力L3を分波する分波器14と、波長可変光源11の出力であるレーザ光L1と分波器14の出力であるレーザ光L3とを合波する合波器15と、合波器15の出力であるレーザ光を光電変換する光電変換器16と、波長可変光源12の出力であるレーザ光L2と分波器14の出力であるレーザ光L3とを合波する合波器17と、合波器17の出力であるレーザ光を光電変換し目的の電磁波*0を出力する光電変換器18と、光電変換器18の出力である電磁波の周波数fPM_ES4を測定する周波数測定器19と、波長可変光源11、12にそれぞれ周波数fTLS1_w-meter、fTLS2_w-meterを設定する周波数設定回路110とを設ける。 (もっと読む)


光学的撮像のためのスキャニング・パルス・レーザシステムに関し、コヒーレント・デュアル走査型レーザシステム(CDSL)とその幾つかのアプリケーションを開示する。具体例の様々な代替構成が示されている。少なくとも1つの実施例では、CDSLは、2つの受動モード同期ファイバ発振器を含んでいる。或る実施例では、高効率CDSLは1つのレーザだけ備えて構成している。少なくとも1つの実施例は、時間変動する時間遅延を伴ったパルス対を生成するコヒーレント走査型レーザシステム(CSL)を含んでいる。CDSL、高効率CDSL、又はCSLは、光学的撮像、顕微鏡検査、顕微鏡分光、及び/又はTHz撮像の1つ又は複数のための撮像システムに配置できる。
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ダイオード励起の、イッテルビウムドープガラスレーザまたはイッテルビウムドープガラスセラミックレーザが提供される。光ポンプと、ガラスまたはガラスセラミックの利得媒質と、波長変換素子と、および出力フィルタとを含む、レーザ光源が提供される。利得媒質は、イッテルビウムドープガラスまたはイッテルビウムドープガラスセラミックの利得媒質を含み、さらにこの利得媒質を特徴付ける吸収スペクトルは、その吸収スペクトルの別個の波長部分に沿って夫々配置される、最大吸収ピークと準最大吸収ピークとを含む。ポンプ波長λを利得媒質の最大吸収ピークよりも準最大吸収ピーク近傍で同調させるように、光ポンプおよび利得媒質が構成される。さらなる実施形態が開示および請求される。
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【課題】 レーザ光の強度をモニタリングできると共に、励起光が出力されることが抑制できるファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ファイバレーザ装置100は、増幅用光ファイバ30と、増幅用光ファイバ30から出力するレーザ光が入力する第1光ファイバ40と、第1光ファイバ40から出力するレーザ光が入力するロッド状のGRINレンズ50と、GRINレンズ50に設けられる光フィルタ55と、光フィルタ55で反射されるレーザ光が入力する第2光ファイバ60と、第2光ファイバ60に入力する励起光を熱に変換する熱変換素子67と、第2光ファイバ60から出力するレーザ光の強度に応じた電気信号を発生する受光素子70とを備え、第2光ファイバ60のクラッド62の外径は、第1光ファイバ40のクラッド41の外径以上とされることを特徴とする。 (もっと読む)


シードソースとシードソースに結合されている光増幅器とを有している光学システムからの出力パルスは、シードソースからのシード信号のパワーを制御することによって制御できる。シード信号は、シード信号が1つまたは2つ以上のパルスバーストを示すように最小値と最大値との間で変化させることができる。各パルスバーストは1つまたは2つ以上のパルスを含んでもよい。パルスバースト内の連続しているパルスの間、または連続しているパルスバースト間のパルス間期間中に、シード信号のパワーを最小値よりも大きく且つ最大値よりも小さい中間値に調整することができる。中間値はその期間に続くパルスまたはパルスバーストが所望の挙動を示すように光増幅器内の利得を制御するように選択されている。
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【課題】光部品の挿入損失の個体差によらず光の強度を安定させること。
【解決手段】利得監視部110は、自装置の入力光に対する出力光の利得を監視する。増幅部121は、利得監視部110によって監視された利得が目標利得と一致するように可変の増幅量により入力光の強度を増幅する。可変減衰部130は、入力光を減衰させる。損失監視部140は、可変減衰部130による入力光の損失を監視する。取得部150は、増幅部121における自装置固有の利得偏差を取得する。補正部160は、損失監視部140によって監視された損失を、取得部150によって取得された利得偏差により補正する。設定部170は、補正部160によって補正された補正損失に基づいて、増幅部121における利得の変動量に対する増幅量の制御比率を設定する。 (もっと読む)


【課題】光伝送装置の種々の光学要素の相対的位置関係のずれを補償して上記装置に所望の目的を達成させることができる簡易な構成の光伝送装置を提供することである。
【解決手段】光伝送装置10は、主光軸MAと基端12aと末端12bとを含む主光学系12と、主光学系に計測光ビームKBを投入し主光学系の主光軸MAに沿い伝送される主光ビームMBから独立して上記主光軸と平行に上記計測光ビームを伝送させ主光軸に沿った所定の位置から上記計測光ビームを主光学系から離れさせる副光軸KAを形成し主光学系から離れた後の計測光ビームの位置の変化により上記主光軸の位置ずれを計測する計測光学系14と、計測光学系により計測された上記主光軸の位置ずれに対応して上記主光軸の位置ずれを解消するよう主光学系を制御する位置ずれ補正制御系16と、を備えたことを特徴としている。 (もっと読む)


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