【課題】大きな電気機械結合係数、安定な温度特性、大きな表面弾性波伝播速度を有する圧電体積層体と、当該圧電体積層体を含む表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電体積層体１００は、基体１と、前記基体１の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第１圧電体層３と、を含み、第１圧電体層は、組成式（Ｋ_aＮａ_1-a）_xＮｂＯ₃で表され、該組成式において、０．１＜ａ＜１であり、１≦ｘ≦１．２である。 （もっと読む）

【課題】厚みすべりモードを利用した圧電共振子において、高い振動エネルギー閉じ込め効率を実現する。
【解決手段】圧電共振子１は、圧電基板１０と、第１の電極１１と、第２の電極１２とを備えている。圧電基板１０は、第１の方向に厚みすべり振動を励振する。圧電基板１０の第１の非励振部１０Ｂは、第１の溝形成部１０ｅを有する。第１の溝形成部１０ｅには、第１の溝１０ｃが第１の主面１０ａに第２の方向ｙに沿って延びるように形成されている。第１の溝１０ｃは、第１の溝形成部１０ｅの第１の方向ｘにおける両端において、励振部１０Ａの厚みすべり振動に伴う第１の溝形成部１０ｅの振動の第３の方向に沿った変位量が実質的にゼロとなる形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、酸化チタン膜６１を形成する工程と、酸化チタン膜６１上に白金膜６２を形成する工程と、白金膜６２上にビスマス、ランタン、鉄及びマンガンを含む圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を不活性ガス雰囲気中で焼成し結晶化することにより圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に電極８０を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】硝酸塩や溶媒としてのＰＲＴＲ対象物質を使用せず且つ廃液も生じさせずに製造できる鉛を含有しない圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】Ｂｉ^３＋、Ｆｅ^３＋及びＭｎ^３＋を含み、溶媒としてアセチルアセトン及び２−エチルヘキサン酸を含む圧電セラミックス膜形成用組成物とする。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、酸化チタン６１，６３と白金６２からなる第１電極６０と、第１電極６０上に形成され、鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、チタンをさらに含む液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】精密な周波数調整が可能な、積層型圧電薄膜フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層型圧電薄膜フィルタの製造方法は、基板７上に、下部圧電薄膜共振子２０を形成する工程と、下部圧電薄膜共振子２０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、周波数を調整した下部圧電薄膜共振子２０上に音響結合層３０を形成する工程と、音響結合層３０上に上部圧電薄膜共振子４０を形成して積層型圧電薄膜フィルタ１を形成する工程と、上部圧電薄膜共振子４０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】優れた特性を有し、且つ製造が容易で歩留りの高い、安価で小型化された圧電薄膜共振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１の第１の面上に形成された圧電薄膜１２と、該圧電薄膜１４を挟むように形成された下部電極１３及び上部電極１４とを有する圧電薄膜共振子１Ａであって、前記圧電薄膜１２が窒化アルミニウムで形成され、前記上部電極１４及び下部電極１３はそれぞれルテニウム又はルテニウム合金の層を含み、前記下部電極１３には、その下に形成された空隙１５に全体が露出しているとともに、前記下部電極より柔らかい材料による薄膜層１６が形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットを備える音響共振器、および前記共振器を製造する方法、切り替え可能な結合共振器フィルターへの応用を提供すること。
【解決手段】共振器は、少なくとも１つの圧電層（３０）と、この層の両側にある電極（２４、２６）と、永久電界を圧電層に印加するための電極間の少なくとも１つのエレクトレット層（３２）とを備える。この電界の強度は、所望の値だけ共振器の共振周波数をシフトするように決定される。圧電層は、電荷を含み、それ自体エレクトレット層を構成することができる。 （もっと読む）

本発明は、無機エレクトレットベースの電気機械デバイスおよびその作成方法に関する。前記デバイスは、少なくとも1つのエレクトレット層2Eを含む誘電性積層、および誘電性積層の2つの反対面18、22上の2つの電極16、20を含む。エレクトレットは、無機エレクトレットであり、また、電気機械結合を形成する恒久的な電荷を含む。エレクトレット層の厚さは、数ナノメートルから数十マイクロメートルまで選択することができるが、略1μm未満または略1μmに等しいことが好ましい。本デバイスは、特に遠隔通信の分野に使用される。
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【課題】スマートカット法で圧電複合基板を製造する際に、圧電基板の周囲の数箇所を固定治具で固定しても、圧電基板を問題なく剥離できる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスは、以下のようにして製造される。圧電基板の周囲の固定治具を取り付ける部位に凹部を形成し、複数の凹部のそれぞれに固定治具を取り付けて圧電基板を固定し、圧電基板のイオン注入面からイオンを注入して、圧電基板内にイオン注入層を形成し、圧電基板のイオン注入面に支持体を接合し、イオン注入層が形成された圧電基板を加熱して圧電基板から圧電薄膜を剥離し、圧電薄膜と支持体とからなる複合圧電基板を生成する。凹部がイオン非注入部となり、剥離する部分はイオンが注入されるので、薄膜の分離を確実に行うことができる。 （もっと読む）